Главная » Просмотр файлов » К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы

К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 59

Файл №1062200 К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы) 59 страницаК.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200) страница 592017-12-28СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 59)

Е табл. 2.5.10 приведены харахтериспгки СОз-лазеров с диффузионным охлаждением рабочей смеси, в табл. 2.5.11 - бмстропроточных с продольной прокачкой газа, в табл. 2.5.12 - быстропроточных с поперечной прокачкой газа, в табл. 2.5.13 - импульсно- периодических С(~-лазеров. ЛАЗЕРНОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ 167 2.5.13. Характеристики импулмпо-периодических.СОТ-лазеров (Россия).

2.5Л4. Характервстикн техиологичеевик установок па основе твердотельных лазеров Пнбепш импувьса, Дж, нвв МОЩНОСТЬ, Вт Частота оледо- НУВЬСОВ, Гп Модель установки Область првменешш ность вмпульса, мо 0,5 - 0,7 Сверление отверстий в алмазных филь ерах и других материалах "Квант-12" 20 Шовная сварка "Квант-15" 15 Дж Сварка, газолазерная резка, термо обработка, сверление 1,5 - 4 "Квант-17" 4 - 20 Дж 10 Герметизация корпусов интегральных схем "Квант-18" 8- 130 Дж 8-10 Термоупрочнение, свар- Кристалл-6" 0 5 - 4 Дж Стекло с не одином Смрленне и фрезерова- нне "Кристалл-8" ' Стекло с неодимом 0,1 - 0,2 0,1 Дгк Подгонка талстопленоч- ных резисторов 20 "Корунд" (50 70)10-г Стекло с неодимом 0,5 Дж 10 Сверление "Квант-20" 60 Вт Резка, сварка Непрерыв- ный "Квант-50" 125 Вт Резка, термоупрочнение, сварка Твердетельвме технологические лазеры.

Основной особенностью лазеров этого класса яшшется возможность достижении значительной удельной мощности генерации за счет высокой концентрации активных часпщ. В. качестве активной среды в таких лазерах используются и различные кристаллы и стекла, легированные ионами переходных метазлов. Наибольшее распространение получили неодимовые лазеры на стеклах и аллюмонтгриевом гранате (АИГ), легированных ионами неодима, которые позволюот получать непрерывное излучение, а также импульсно- периодический ракнм с частотой повторения до 1000 Гц. К числу наиболее распространенных относятся установки серий "Кристалл", 'ТОС", "Коруьш" - на стекле с неодимом; 'ТОР", "Луч", "Искра" — на рубине; "Квант", "Л'ПГ, "ЛТН" - на АИГ.

В табл. 2.5.14 даны характеристики и области применения ряда установок с твердотельными технологическими лазерами. В табл. 2.5.15 приведены некоторые харакшристики импульсно-периодических установок на АИГ. Области применения лазеров на АИГ: )Чбг+ распределяются следующим образом; электронная промышленность — 55 % (отжиг, подгонка, пайка, герметизация и пр.), авиационная промышленность - 20 %, автомобильная промышленность - 15 %, другие отрасли - 10 %. В табл. 2.5.16 примдены характеристики технологических лазеров на АИГ: )Чбг+, работающих в непрерывном режиме, а в табл.

2.5.17 — в импульсно-периодическом режиме. 168 Глаза 25. РЕНТГЕНОВСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ ЛУЧИ В ЭЛЕКТРОННОМ МАШИНОСТРОЕНИИ 2.5.15. Хараатернствки вмнульсно-иериодвчесаих уеиюовок иа АИГ (России) 2.5.16. Хармпервствки теиюлотических лазеров ва АИГ, работающих в вепрермвиом ремвме 2.5Л7. Характеристики техиолозическвх лазеров мз АИГ, рработ вю ви у - р омр Модель лзэсра Назначение, особенности 102 - 104 8$-384 20 6,35 Сварка 102- 104 58-525123 25 16 102 - 104 1 - 300 К1.8322 50 Сверленне, резка 102 - 104 8$-550 60 200 18 0„26 Маркировка 5 102 3 10з 400-12 14 Универсальное 102 М8-35 15 100 Резка, сварка 100 10 200 10 15 70 2-10 К1.5-522 85 300 10 Г.АХ-606А КЬ8-322 Частота следования импузьсоа, Гп Джоельность импульса, мкс Диаметр луча, мм Расходи- мссть, мрзд Ислользуетса оптическое волокно ЛАЗЕРНОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ 169 2.5.18ь Характеристики техволегвчесввх лазеров ва азоте с длиной волны 337 вм (Россия) Техволепшескве лазеры ва азате.

Зги лазеры нашли широкое применение в технологии микроэлектроники блиодаря своим уникальным характеристикам: короткой длине волны (337 нм), которая позволяет фокусировать излучение в шпио малых размеров и обрабатывать элементы с размерами порядка долей микрометра, малой длительности импульса излучении (10 нс) в сочетании с высокой импульсной мощностью (0,01 - 1 МВт), чта позволяет испарять слои меиллов, не затрагивая подложку, на которую они наносятся, а это весьма существенно для многих применений. Характеристики некоторых лазеров на азоте приведены в табл. 2.5.1К На базе лазеров на азоте, вьпгускаемых отечественной промышленностью, разработан ряд технологических установок. Так, лазеры ЛГИ-21 применяются в установках типа "Кварц" для подстройки монолитных фильтров, кварцевых резонаторов, а также при исследованиях, оптимизации и изготовлении мелких партий гибридных интегральных схем с пленочными резисторами.

Такие установки недороги, скорость обработки пленочных покрьпий на них составляет несколько миллиметров в секунду, а производителъносп, — сотни операций в час. Для подгонки резисторов применяются полуавтоматические установки типа "Кварц-5" с использованием лазера ЛГИ-505. Скорость обработки пленки 10 - 30 мм/с, производительность - 4 - 5 тыс. резисторов / ч. На базе этой установки разработанм установки для подгонки талстопленочных резисторов АМЦ- 0662 с ЧПУ и установка прецизионной подгонки АМЦ-0663.

Лазеры ЛГИ-505 применяются в технологических установках для корректировки размеров пленочных элемегпов (лазерных ретушерах) ЗМ-551А. Производительносп 10— 20 шаблонов в час. Лазеры ЛГИ-504 нашли применение в лазерных генераторах изображений ЭМ-5009А. На подобных установках можно получать первичные шаблоны для изготовления БИС с высокой степенью шпеграции размером 40 х 40 мм в течение 50 - 60 мин.

Кроме того, применяются для диагностики, накачки лазеров на красителях н других целей. Технологическое ебарудевавве ва эксвмервых лазерах. Наиболее перспективны дги технологических установок эксимерные лазерные источники с длиной волны от 0,157 мкм (Рз) до 0,353 мкм (Хер). С точки зрения производительности наиболее перитективны импульсные лазерные источники с широкоапертурными объекпшами высокого разрешения юи проекционной лазерной обработки и системы совмещения (позиционирования) лазерного луча с точностью не хуже 0,1 мкм. Лазерные процессы эффективны при плотности энергии излучения 0,05 — 0,1 Дж/смз. При обработке подложек диаметром 100 — 200 мм для технологических установок требуются эксимерные лазеры с частотой повторения импульсов 10 - 100 Гц и средней мощностью 100 - 200 Вт.

Применение эксимерных лазеров в качестве источника УФ-излучения в фотолитографии при нанесении изображения на фоторезист как через шаблон, так и при прямой записи обеспечивает разрешение 0,25 мкм, что соответствует современным требованиям к СБИС. Благодаря локальноати и быстроте обработки лазерная технология обеспечивает ускорение перечисленных технологических процессов и повышение качества продукции по сравнению с традиционными способами. Предполагается использование эксимерных лазеров прн производстве СБИС в трех направлениях: химическое осаждение пленок из газовой фазы и травление подножек, осуществляемое благодаря выаокой энергии фотона лазерного излучения; увеличение разрешающей способности в фотолитографии до 0,2 мкм при использовании лазера на Рз (двина волны 157 нм).

Прн этом короткая длина волны излучения эксимерного лазера позволяет фокусировать его Губ Глава 2.5. РЕНТГЕНОВСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ ЛУЧИ В ЭЛЕКТРОННОМ МАШИНОСТРОЕНИИ излучение в пятно диаметром менее 1 мкм, что дает возможносп выполнять локальное осаждение или удаление пленок при сканировании лазерного луча; осущеспиенне управления поверхностными процессами опюпа, легиро ванна и окисления полупроводниковых материалов. 2.5.5. Твхнологня н ОБОРудОВАниВ для Бьгпггой теРмнческой ОВРАБОтви Быстрая термическая обработка (БТО) в качестве промышленной технологии в электронном мюпиностроении яюшется альтернативой технологичеоким операциям, осуществляемым в диффузионных печах, которым свойственны следующие недостатки: большие габаритные размеры; неэффективность индивидуальной обработки полупроводниковых пластин и невозможность встраивания в автоматическую линию, .кластерное, оборудование и т.ы.; большие тепловая инерция и длнтельносп термического цикла; трудность решения технологических и конструкторских проблем реализации процессов, требуюших рабечих температур до 1600 К.

Особенно цеяесо образно применение БТО при производстве СВИС и УБИС. Так, чтобы увеличить плотность ражещеиня элементов на одном кристюше, необходимо уменьшить размеры ююментов до долей микрометра и по горизонтали, и ло вертикали. Это требует создания тонких диэлектрических слоев и неглубоких Р-л-переходов. Однако это противоречит необходимости поддержания высокой температуры в процессе роста оксндной пленки и при отжиге после окисления для того, чтобы получить тонкие диэлектрические слои с заданными электрическими характеристиками.

Преимущества БТО заюпочаются в следующем; индивидуальной обработке пластин; широком диапазоне длительности термическогб цикла (1 — 600 с); высокой скорости нагрева пластин (30— 300 'С / с и выше); широком диапазоне рабочих температур (200 - 1400 'С); высокой чистоте процесса благодаря возможности использования реактора с "холодной стенкой"; измерении температуры непосредственно у пластины; обеспечении воспроизводимости технологического процесса и равномерности обработки по пластине; малой занимаемой производспюнной площади; малой стоимости и достаточно высокой производительности; максимальном экономическом эффекте при обработке малых партий пластин; небольшом объеме камеры дпя обработки, что позволяет быстро менять рабочие газы и обеспечивает возможность проведенги последовательных операций технологического процесса в одной и той же камере.

Характеристики

Тип файла
DJVU-файл
Размер
25,91 Mb
Тип материала
Высшее учебное заведение

Список файлов книги

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6552
Авторов
на СтудИзбе
299
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее