28_avt_svid_EAD_1456837 (1033197), страница 2
Текст из файла (страница 2)
К моменту заклинивания парциальное давление водорода увеличивается в три раза. Амплитуда колебаний меняется более сложным образом. После наработки 5,12 10~ циклов амплитуда колебаний растет одновременно с ростом 20 Давления водорода. Далее наступает стабилизация колебаний (Фиг.2). Используя полученные зависимости, определяют, место отказа и устанавливают возможность определения време- 24 ни наступления отказа. Для исследуемего ввода движения отказ наступает через 0„96 10э оборотов входного вала после начала роста парциального давления водорода и амплитуды его 30 колебания. После .замены зубчатых колес и подшипников испытания продолжают,Периодичность регистрации контролируе" мых параметров сохраняется прежней, 35 При наработке 8,437 10~ оборотов входного вала регистрируют увеличение парциального давления азота и амплитуды его колебаний, После этого измерения проводят непрерывна.
Частота пульсаций давления совпадает с частотой вращения входного вала. Общая картина изменения парциальиого давле« ння азата иллюстрируется фиг.3.Одновременно с увеличением' парциального давления азота увеличивается общее давление в системе. От момента обнару~ения пульсаций парциальнога давления азота до падения давления в системе да 5 !О ' Па 50 передача нарабатывает 1.2 !О' ци ов. Таким образом, по появлению пульсаций давления азата с частотой циклического нагружения сильфана 9 определяют момент раскрытия микротрещины на снльфоне и устанавливают воэможность прогнозирования падения давления в системе да допустимого значения, определяемого требованиями технологического процесса. !456837 Формула изобретения 1.
Способ диагностики технического состояния циклически нагруженных элементов вакуумного оборудования, заключающийся в том, что регистрируют частотный спектр параметров их колебаний,по которому путем сопоставления частот спектра с частотами циклического нагруження элементов судят о техническом состоянии элементов, ~» у~ос ююиьв ~н ае~4к"'яе ®алые ~ь еАимуы 1т я' л я71 ась.грЬ1 гозяеюз,Р аз ,4~Ье,,Р Мрелчс фэВмуе Составитель А.Грунина Редактор В.Вугренкова Техред И.Верес Корректор И,Иуска Заказ )476/41 Тирах 788 Подписное ВИИИПИ Государственного комитета ло изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж-35, Раущская наб., д.
4/5 Производственно-полиграФическое предприятие, г. Унгород, ул. Проектная, 4 . .5 Предлагаемый способ диагностики позволяет установить момент возникновения деФекта !симптома отказа) на ранней стадии и, контролируя интенсивность развития деФекта, предсказать момент выхода из строя диагностируемого элемента вакуумного оборудования. Это позволяет концентрировать ремонтные работы во времени и снизить простои оборудования из-за ремонтов, а также практически полностью использовать ресурс работы элемантов и предотвратить потери обрабатываемых на оборудовании иэделий эа счет прерывания цикла их обработки нз-эа отказа. 6 о т л и ч а ю щ и й с я тем>что, с целью повьэзення точности прн раннем диагностирования технического состояния элементов вакуумного оборудова ния, в качестве параметров колебаний используют амплитуду и частоту калебаннй ПарЦиального давлення характерных газов, выделяющихся при разрушении циклически нагруженных элементов в вакуумированном объеме.
2. Способ по .1, о т л и ч а ющ и й с я тем> что, с целью повыщення точности, частотный спектр пар- 16 цнального давления характерных газов регистрируют масС-спектрометрическим методом, 3. Способ по п.1, о т л н ч а ющ н й. с я тем, что, с целью повыще- 28 ния точности при диагностике состояния элементов в виде пар трения, в качестве характерного газа используют водород. 4. Способ по д.1, о т л и ч а ю- 28 щ и й с я ' тем, что, с целью повьпзения точности прн диагностике состояния гибких герметизирукщих элементов, в качестве -характерного газа исполь" зуют азот. ~ Ъ, Ф Ф П: Ф й к Ы О, о Ф а а о Д ы Я Ф3 Я ~а о Ф О Я Ф ) с~ и о Ф 3 О о о о ~С Э .-1 в Ъ, Я ж Я 2 О Б Ю о Д И 4 д О о 3 и О с О Ф 4 и р, Ф о «'Ю 2 а.
Я 3 О м ~й О > В Ы Ф О у й б = -г *6 Д ~Ф б ~- б у л~ р~ !й Ж о О .й О. И .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
