РасчГазовыдКинПар (1033168)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Методика расчета газовыделения кинематических элементов вакуумного технологического оборудования.

Методика предназначена для инженерного расчета потока газовыде­ления из кинематических элементов внутрикамерных устройств сверхвы­соковакуумного оборудования, определяющего в этом оборудовании на­ряду с другими потоками газовыделения (за счет десорбции, газопрони­цаемости, диффузии, натекания) предельный и рабочий вакуум.

Приводимые расчетные зависимости охватывают механизмы, специфи­ческие для сверхвысоковакуумного оборудования:

- волновую герметичную зубчатую передачу вращения;

- планетарно-резьбовую передачу поступательного движения;

- подшипник качения,

т.е. механизмы потенциально обладающие малым газовыделением ввиду малых скоростей скольжения в точке контакта.

Кроме того рассмотрен наиболее общий случай фрикционной пары- -опора скольжения типа “вал-втулка”.

Порядок расчета газовыделения из кинематических пар внутрика­мерной оснастки производится в следующей последовательности:

1. Определяется узел трения, условия контакта.

2. Рассчитываются скорость скольжения трущихся материалов, удель­ная нагрузка в контакте по данным табл.1.

3. Определяется соответствие величин фактических контактных усло­вий интервалам значений и рассчитывается номинальная площадь контакта по данным табл.2.

4. По уравнениям табл.2 прогнозируется величина потока газов из узла трения, =q• .

5. В соответствии с каталогом материалов внутрикамерной оснастки по данным табл.3 прогнозируется поток газов со стороны стацио­нарных поверхностей.

6. Определяется суммарный поток газов в вакуумированный техноло­гический объем:

,

где: - суммарный поток газов;

- поток газов из зон трения внутрикамерных механизмов (динамическая оснастка);

- поток газов из материалов внутрикамерной оснастки (не участвующих в процессе трения), образующийся в результате проте­кания технологических операций (распыление материалов, сварка, термическое воздействие при обезгаживании и др.), •S;

- натекание газов через металлические уплотнители и диф­фузия через тонкие оболочки, =1,3• •Па/ •с.

Примеры расчета

Пример 1

Определить поток газов из опоры скольжения карусели установки ва­куумного напыления при следующих эксплуатационных и геометриче­ских параметрах узла трения: внутренний радиус втулки ; радиус вала ; частота вращения вала n=60 об/мин; нормальная нагрузка N=12 Н; высота втулки = м; материал вала азотированная сталь 38ХМЮА ( • ); материал втулки бронза БрОЦС 6-6-3 ( • ); коэффициент Пуассона µ=0,3.

1. Рассчитывается скорость скольжения

м/с

1. Рассчитывается удельная нагрузка в контакте (см. Табл.1, п.1)

Мпа

1. Проверяется соответствие расчетных значений и Р указанным в табл.2 диапазонам скоростей и нагрузок. Соответствуют.

2. Определяется номинальная площадь контакта (см. Табл.2, п.1)

1. Рассчитывается величина потока газов (см. С.2, табл.2, п.1)

(10,6-0,2•0,063-4,6•90+0,6• +3,9•0,063•

•90)• •1,3• =5,8• •Па/с

Пример 2

Определить поток газов из гибкой волновой зубчатой передачи ГВЗП 42 в вакуумированный объем при следующих контактных условиях и геометрических параметрах: делительный диаметр жесткого колеса =4,385• м; выходной момент =5,3 Н•м; число зубьев в зацеплении в долях от числа зубьев жесткого колеса ( =144) =0,15; модуль зубьев m=3• м; полная глубина захода зуба =0,562• м; относительная глубина захода зуба /m; длина зуба В=8• м; угол зацепления = ; угол зоны зацепления на входе и выходе = ; максималь­ная деформация зубчатого колеса =4• м; частота вращения дви­гателя .

2. =8,3Мпа

3. Значения и Р соответствуют указанным в табл.2 данным.

4. =0,35• •В• =0,35•144•8• •0,562• =2,3•

5. =(0,023•8,3+53,48•0,33+1,07•8,3•0,033)• •2,3• • =3,2• •Па/с

Пример 3

Определить поток газов из планетарного резьбового ввода поступа­тельного движения при следующих условиях: скорость поступательного движения =5• м/с; угол профиля резьбы ведомого элемента в основном нормальном сечении = ; осевая нагрузка =50 Н; половина угла профиля резьбы = ; шаг резьбы =1,75• м; средний радиус резьбы винта =6• м; число заходов резьбы винта =3; модуль упругости стали 40Х13 Е=2• Н/ ; длина контакта =8,7• м.

1. =5• м/с

2. =311 Мпа

3. Значения и Р соответствуют указанным в табл.2 данным

b=1,128• =2• м

=4• •8,7• =3,5•

1. =(1170•5• +0,026•311+0,12•5• •311)• •3,5• • =5• •Па/с

Пример 4

Определить величину потока газов из подшипника серии 100 в ва­кууме при нагрузке N=80 Н и скорости вращения вала n=2000 об/мин. Геометрические параметры: диаметр вала d= м; внешний диаметр подшипника D=2,6• м; радиус желоба кольца =2,56• м; диа­метр шарика =4,76• м; модуль упругости Е=2• Н/ .

1. =1м/с

2. =540 Мпа

3. Рассчитанные значения , Р соответствуют диапазону и Р для (см. Табл.2, п.4)

4. ==1,9•

5. =(3,9-27,7•1-0,007•540+0,06•1•540)•1,9• = =9,1• •Па/с

Таблица 1

Формулы для расчета скоростей скольжения ( ), удельных нагрузок (Р)

Таблица 1 (продолжение)

Таблица 1 (продолжение)

Таблица 2

Диапазоны контактных условий ( и Р), расчетные зависимости для номинальной площади контакта ( ) и потока газов с единицы площади (q)

Таблица 3

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов лекций