Задача: Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииВариант 1: W = 5z = 1,95335295476376λ =

Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографии

Вариант 1:
W = 5
z = 1,95335295476376
λ = 0,405

Задание:
Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W - ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, λ - длина волны актиничного излучения

Структура домашнего задания.
1.Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)

2.Краткое описание последовательности выполняемых этапов.

3.Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:
3.1.Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.
3.2.Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)
3.3.Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.
3.4.Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.
3.5.Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка
3.6.Проанализировать суть параметра, его получение и его влияние на результат расчета.

4.Программное обеспечение

5.Иллюстрации
5.1.Расчетная схема
5.2.Входное распределение интенсивности (на объекте)
5.3.Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.

При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.

Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.

Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.

Маткадовское решение этого варианта