Курсовая работа: Установка двухстороннего совмещения и экспонирования на базе ЭМ-576
Описание
Расчетно-пояснительная записка к курсовому проекту
по теме:
«Установка двухстороннего совмещения и экспонирования на базе ЭМ-576»
Москва, 2005
Оглавление
1.Введение……………………………………………………………………………….…...3
2.Описание процессной модели……………………………………………………….……4
2.1.Разделение технологии на процессы…………………………………………………4
2.2.Описание функций установки…………………………………………………….…..6
3.Описание комплексной принципиальной схемы………………………………………..7
3.1.Механический интерфейс установки……….………………………………………..8
3.2.Энергетический интерфейс установки……………………………………………….9
3.3.Информационный интерфейс установки…………………………………………….9
4.Выбор стандартных компонентов………………………………………………………...10
4.1.Клапан электромагнитный…………………………………………………………….10
4.2.Клапан-натекатель……………………………………………………………………..11
4.3.Датчик давления термопарный………………………………………………………..11
4.4.Блок подготовки воздуха………………………………………………………………11
4.5.Распределитель…………………………………………………………………………12
4.6.Насос вакуумной системы……………………………………………………………..13
5.Технические задания на оригинальные узлы…………………………………………….14
5.1.Блок питания……………………………………………………………………………14
5.2.Блок ключей…………………………………………………………………………….14
5.3.Блок нормализации сигналов………………………………………………………….14
5.4.Блоки ключей управления пневмораспределителем ,УФ лампой, двигателями…..14
5.5.Персональный компьютер……………………………………………………………..14
6.Расчёт и описание интерфейсных схем……………………………………………………17
6.1.Блок нормализации сигналов…………………………………………………………..17
6.2.Блок ключей для управления клапанами и натекателем……………………………..19
Заключение……………………………………………………………………………………21
Список использованных источников………………………………………………………..22
1.Ведение
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических, электронных и программных компонентов оборудования САУ. Проведена разработка системы автоматического управления установки двухстороннего совмещения и экспонирования сконструированной на базе установки ЭМ-576.
Установка предназначена для двухстороннего совмещения и экспонирования кремниевой пластина. У установки имеется вакуумная , пневматическая, электрическая, механическая системы. С целью упрощения процесса и увеличения скорости цикла необходима централизованная система автоматического управления.
Для двустороннего совмещения сначала необходимо совместить рамки-шаблонодержатели с зафиксированными (при помощи вакуума) на них шаблонами, Далее между ними помещается заготовка, происходит выравнивание поверхностей ,зажим заготовки между шаблонами с целью создания статичной совмещённой системы .Следом идёт операция экспонирования.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка двухстороннего совмещения и экспонирования на базе ЭМ-576
- 4лист.cdw 109,88 Kb
- 4лист.dwg 79,35 Kb
- zapiska.doc 964 Kb
- Лист1.cdw 132,41 Kb
- Лист1.dwg 91,23 Kb
- Лист2.cdw 64,41 Kb
- Лист2.dwg 46,81 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- лист3.cdw 126,43 Kb
- лист3.dwg 69,81 Kb
Начать зарабатывать