ДЗ: Кремниевый датчик давления с внешней и внутренней защитой от перегрузок

Название изобретения - Кремниевый датчик давления с внешней и внутренней защитой от перегрузок
Область техники, к которой относится изобретение: Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерению давления электрическими методами на основе пьезорезисторного эффекта в полупроводниках.
Формула изобретения
Датчик измерения разности давлений, содержащий корпус, в котором выполнены две полости, заполненные несжимаемой электроизоляционной жидкостью, и загерметизированные воспринимающей давление профилированной мембраной,
расположенной с зазором относительно корпуса, между полостями в корпусе
герметично закрепленную разделительную мембрану, в каждой из полостей имеется отверстие для подвода воспринимаемого давления P1 и P2 к обеим сторонам кремниевого чувствительного элемента, отличающегося тем, что в нем со стороны жесткого центра сформировано углубление в стеклянном пьедестале, а с планарной стороны сформирован упор из стекла размещенного на выступах из поликремния.