Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Основы изобретательстваИспользование титана в качестве геттераИспользование титана в качестве геттера
2017-12-222017-12-22СтудИзба
ДЗ: Использование титана в качестве геттера
Описание
Название изобретения: Использование титана в качестве геттера
Область техники, к которой относится изобретение: Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к газопоглощающим веществам, пригодных для улучшения и поддержания вакуума в устройствах.
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Область техники, к которой относится изобретение: Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к газопоглощающим веществам, пригодных для улучшения и поддержания вакуума в устройствах.
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Характеристики домашнего задания
Предмет
Учебное заведение
Просмотров
158
Покупок
1
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
329,75 Kb
Список файлов
- Использование титана в качестве геттера.docx 345,48 Kb
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать