Курсовая работа: Установка нанесения тонких пленок
Описание
РАСЧЕТНО-ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА
к курсовому проекту «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий»
на тему:
«Установка нанесения тонких пленок»
Москва 2007 г.
Введение. Описание интерфейсов установки. 5
Описание программы управления установкой. 11
Техническое задание и техническое предложение на систему управления установкой. 16
Описание комплексной принципиальной схемы ФС. 21
Описание датчиков и исполнительных элементов установки и ее САУ. 32
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.
Тема проекта:____ «Установка нанесения Ti покрытия» ____
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель машины..................................................1 л.
- Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Графические работы в объеме 5 листов выполнены на ПК с помощью программы АСКОН КОМПАС v.7Plus. Записка выполнена с использованием программного продукта Microsoft Word.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.
Задачи проекта состоят в:
- распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнении технической документации на электронные компоненты.
В проекте разработана система управления вакуумной установкой нанесения титанового покрытия.
Курсовой проект выполнен в следующем объеме: процессная модель (алгоритм работы системы управления установкой); комплексная принципиальная схема (КПС) установки, включающая разработку КПС механической части и КПС систем пневмоавтоматики, энергообеспечения и управления; схема соединений элементов установки; экран монитора персонального компьютера. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и отражены принципы построения САУ установки, даны расчеты и описания.
Введение. Описание интерфейсов установки.
Целью данного курсового проекта является разработка системы автоматизированного управления экспериментальной вакуумной установкой нанесения титанового покрытия. Необходимо автоматизировать процесс нанесения покрытия на изделия.
Установка является экспериментальным стендом по нанесению титанового покрытия в вакууме методом электронно-лучевого испарения. Рабочая камера установки представлена на рис.1.
Рис.1
Рабочая камера 1 предназначена для напыления тонких пленок активного слоя на подложки (мишени) из молибдена в высоком безмасляном вакууме (~10 –6 Па) при t до 650°С. Она представляет собой вертикальный цилиндрический корпус, сваренный из нержавеющей стали, оснащенный 12 фланцами. На нижнем фланце располагаются привод вращения подложкодержателя 2, привод перевода карусели (не показан), привод заслонки 3, токоввод для устройства нагрева. К одному боковому фланцу присоединяется электронно-лучевой испаритель 4, к другому – крепится ловушка-экран 5, охлаждаемая жидким азотом. Загрузочный фланец служит для загрузки подложек. Имеется также фланец, присоединяющий камеру через угольник к системе вакуумной откачки.
Заслонка 6 предназначена для перекрытия потока напыляемого материала в момент достижения заданной толщины пленки.
5 смотровых окон служат для размещения пирометров контроля температуры подложек при нагреве, напылении, контроля температуры навески в ЭЛИ и окно для наблюдения за процессом.
Для удобства чистки внутренних поверхностей стенки камеры защищены сменными экранами.
Внутри камеры крепится плита с установленным на ней пятипозиционным карусельным механизмом 8 с подложкодержателями 7, на одной позиции находится четыре подложки. Узел вращения карусели 8 предназначен для перемещения подложек на позицию напыления, а также для обеспечения равномерного вращения подложек во время нанесения с целью получения заданной равномерности толщины покрытия.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка нанесения тонких пленок
- 1.cdw 153,75 Kb
- 2_1.cdw 112,5 Kb
- 2_2.cdw 76,88 Kb
- 2_3.cdw 74,78 Kb
- 3.cdw 229,04 Kb
- 4.cdw 76,92 Kb
- 5.cdw 179,53 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 6,53 Mb
Начать зарабатывать