Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Основы изобретательстваУстройство для нанесения фоторезиста вращениемУстройство для нанесения фоторезиста вращением
5,0051
2017-12-222017-12-22СтудИзба
ДЗ: Устройство для нанесения фоторезиста вращением
Описание
Устройство для нанесения фоторезиста вращением
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к нанесению фоторезиста на пластины для последующей фотолитографии.
МПК: H05K — закрепление токопроводящей схемы
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к нанесению фоторезиста на пластины для последующей фотолитографии.
МПК: H05K — закрепление токопроводящей схемы
Формула изобретения
Устройство для нанесения фоторезиста вращением, содержащее центрифугу с приводом вращения, держатель пластин, установленный на валу центрифуги, и резервуар с фоторезистом, отличающееся тем, что резервуар снабжен шлюзовой камерой в виде полого кольца со сквозными каналами во внутренней стенке, при этом шлюзовая камера расположена концентрично резервуару на общем с ним основании, а резервуар установлен на валу центрифуги.
Характеристики домашнего задания
Предмет
Учебное заведение
Просмотров
250
Покупок
1
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
343,24 Kb
Список файлов
- Устройство для нанесения фоторезиста вращением
- Заявка.rtf 183,12 Kb
- ПАТЕНТ.docx 340,86 Kb
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать