Другое: давлемеры

Распознанный текст из изображения:

обо по

б

Распознанный текст из изображения:

'Цт. МЕТРаН-100

41:

Принцип действия датчиков основан нз

Т., использовании пьезорезистивного эффекта в

(! ь гетероэпитаксиальной пленке кремния, выращенной на

~,',-') поверхности монокристаллической пластины из

кч~:,яскусственнога сапфира. Чувстви~ел~ный элемент с

~~;;:,г ианокристаллической структурой кремния на сапфире

ь:::( является основой всех сенсорных блоков датчиков

%".::,г семейства "Метран".

х-": ' При деформации чувствительного элемента под

у,'-,. воздействием входной измеряемой величины (например,

,,':;.:давления или разности давлений) изменяется

ья!8 электрическое сопротивление кремниевых

":.:-..*. льезорезлсторов мостовой схемы на поверхности это~о

яу чувствительного элемента

Электронное устроиство датчика преобразует

1',, электрический си~пал от тензопреобразователя в

;": стандартный аналоговый си~пал постоянного тока и/или

в цифровой сигнал в стандарте протокола НАВТ, или

цифровой сигнал на базе ин~ерфейса В5485

э В памяти сенсорного блока (АЦП) хранятся в

;( цифровом формате резул~таты калибровки сенсора во

у;;:: всем рабочем диапазоне давлений и температур. Эт

данные используются микропроцессором для расчета

'.: коэффициентов коррекции выходного сигнала при работе

датчика

Цифровой сигнал с платы АЦП сенсорного блока

,:;::" вместе с коэффициентами коррекции поступает на вход

~:;;1 электронного преобразователя, микроконтроллер

Тз):. которого производи~ коррекцию и линеаризацию

р!::. характеристики сенсорного блока. вычисляет

:1':" скорректированное значение выходного сигнала датчика

и далее;

- для датчиков с кодами МП, МП1, МП2, МПЗ

передает его в цифро-аналоговый преобразователь

~~', '(ЦАП), который преобразует его в аналоговый выходной

сигнал или цифровой в стандарте НАВТ (коды МП2, МПЗ),

('

- для датчиков с кодами МП4, МП5 при помощи

";:.,-.драйвера В5485 по запросу выдает значения давления(в

заданном формате) в цифровую линию связи

Для лучшего обзора жидкокристаллического

индикатора (ЖКИ) и для удобного доступа к двум

отделениям электронного преобразователя последний

может быть повернут относительно измерительного блока

от установленного положения на угол не болев 90' против

часовои стрелки

(г.

принцип деиствия

ИНДИКАЦИЯ

Индикаторное устройство установлено в корпусе

!4';:, .электРонногО Ппеобразователя (датчики с кодами МП1,

$:. МПЗ, МП5).

Индикаторное ус~ройство для датчиков с кодом

;!2 МП выполнено в виде о~дел~ного устройства (выносной

,(:". индикатор ВИ) и подключается к датчику с немощною

рваьема

В режиме измерения давления на дисплее

встроенного или выносного индикатора, НАВТ-

:;:::,.'коммуникатора отображается значение измеряемого

:*' давления в установленных при настройке единицах

15,

',','. измерения или в ',Ь от калиброванного диапазона

измерений.

РАБОТА С ДАТЧИКОМ МЕТРАН-100

Работа с да~чиком Метран-100 (коды МП, МП1) осущес~вляе~ся с помогцью кнопочных переключателей, расположенных под крышкой электронно~о блока

Рабов с датчиком Метран-100 (коды МП2, МПЗ) осуществляется по цифровому каналу связи с помоцтью управляющих устройс~в, поддерживающих НАРТ-протокол, и конфигурационных программ Кнопочные переключатели отсутствуют.

Рабо~а с датчиком Метран 100 (коды МП4. МП5) осуществляешься по цифровому каналу связи диет анцион но с помощью модема В5485(В8232 и конфигурационной программы (СР-Маэ(ег Кнопочные переключатели отсутствую~

Цифровой сигнал от датчиков Меч ран-100 (коды МП2, МПЗ) может приниматься и обраба~ыват~ся любым НАВТ-устройсгвом, поддерживающим НЯВТ-протокол

Все команды НАРТ-протокола можно раздели~~ на 3 ~оуппы: "универсальные". "общие" и "специальные"

Универсальные команды поддерживаются всеми НЯВТ-совместимыми устройствами.

Общие крманды применяются для широкого класса приборов

Для датчиков Метран-100 реализованы гри специальные команды две команды для калибровки сенсора и команда расширеннои диагностики состояния датчика Доступ к специальным командам возможен тол~ко при наличии специального драйвера

НАВТ-коммуникатор Метран-650 взаимодействует с датчиками Метран-100 в полном обьеме команд

НАРТ-коммуникатор НСЗ75 работает с датчиками Метран-100 через Оепепс Мепц когда датчик воспринимается коммуникатором как абстрактное устройство, поддерживающее НЯВТ-протокол независимо от его функционально~ о назна ~ения Конфигурацией ашная программа Н-Маэ1ег разработана ПГ "Метран" и предназначена для проведения настройки параметров и калибровки датчиков Метран-100 (коды МП2, МПЗ).

ДИАГНОСТИКА

При включении и в процессе измерения давления датчик выполняет диа~ нос гику своего состояния В да гчике автоматически проверяется:

- состояние микропроцессора,

- наличие связи с платой ЯЦП;

- наличие связи АЦП с гензопреобразователем

состояние энергонезависимои памяти платы АЦП и платы процессора.

При обнаружении неисправности устанавливается определенный по конструкторской документации уровень выходного сигнала (мА) Для да~чиков с кодами МП4 МП5 информация о возникновении ноиспраяности предоставляется по запросу по цифровой линии связи.

Цепь для подключения контрольного прибора датчиков с кодами МП1, МП2, МПЗ, МП4 выведена на клеммы "тест" (максимал~ному выходному току 20 мА или 5 мА соответствует напряжение 200 мВ) Измерение производи~ся волыметром.

За более полной информациеи о работе датчиков Метран-100 обращайтес~ к документу "Датчики давления Метран-100. Руководство по эксплуатации"

Распознанный текст из изображения:

З(1-,')„р

! 6Ед'

(1О.8)

где Š— модуль Юнга (Н/лг'), а г — коэффициент Пуассона. Максимальное меха

ническое напряжение в пластине тоже является линейной функцией давления

Зг р

тах

4~

(10.9)

В уравнениях (10.5)-(10.6) и (10.8)-(10.9) предполагается, что разрабатываемый датчик давления будет измерять отклонения мембраны илн пластины. Поэтому далее необходимо выбрать метод преобразования полученного отклонения в электрический сигнал, Это можно выполнить несколькими способами, некоторые из которых будут рассмотрены в следующих разделах.

где р — плотность материала мембра(гы. При значптельпой толщине мембрайы; когда ее отношение Оф <100, речь уже идет'о тонкой пластине (рис. 10.3А).' Вблн такую пластину закрепить между двумя зажнмными кольцами, в системе появится значительный гистерезис, вызванный силами трения между кольцами и плас.тиной Поэтому пластину и поддерживающие компоненты лучше изготавливать в виде монолитной конструкции.

Для пластины, также как и для мембраны, максимальное отклонение линей но связано с давлением:

> =д' гз',+ зг,гт,,

'6Ж:: ..::' ..: ' (1одо)

Я

эффипиенты в продольном и поперечном направ-

; где я и я — пьзорезистивные коэффипиен

ном нап авлениях. Пьезо-

.' лениях, а'~ и а — напряжения и

тацией кремниевого кристалла.

иенты оп еделяются ориента

а ию <110>, а также для

и ионного резистора р-типа, имеющего ориентацию

в " ф -типа с ориентацией поверхности <100>,

евой квадратной диафрагмы и-тн

: по ' ',',, эффициенты можно найти из аппроксимацион-

';"!:)показанных на'рис.'10.4, эти коэффициенты

-;=': ного соотношения [71

1

(1О. 11)

2

ионально приложенному механическому на-

;": Изменение сопротивления пропорцион

, оженному давлению. Резисторы располагаютпряжению, и, следовательно, приложе

ся на диафрагме так, что

, чтобы их продольные и поперечные коэффициенты тензооложные знаки, тогда изменения значений ре-

,:: чувствительности имели протнвополо

зисторов также будут иметь разные знаки.

М~, 5Л,

1 2,г (гт — гт )

(10.!2)

10.5. Пьезорезистивные датчики

В состав датчиков давления обязательно входят два компонента: пластина (мембрана) известной площади А и детектор, выходной сигнал которою пропорционален приложенной силе Г(уравнение (10.! )). Оба эти элемента могут быть изготовлены из кремния. Датчик давления с.кремниевой диафрагмой состоит нз самой диафрагмы и встроенных в нее диффузионным методом пьезорезистивйьгх преобразователей в виде резисторов [5[. Поскольку монокристаллический кремний обладает очень хорошими'характеристиками упругости, в таком датчике отсутствует ползучесть и гистерезис даже при высоком'давлении. Коэффициент тензочувствительности кремния во много раз превышает аналогичный "коэффициент тонкого металлического проводника [6]. Обычно гензорезисторы включаются по схеме моста Уитстона. Максимальное выходное найряжение таких датчиков обычно составляет несколько сот милливольт, поэтому на их выходе, как' правило, ставятся усилители сигналов. Кремниевые резисторы обладают довольно сильной температурной чувствительностью, поэтому всегда при разработке датчиков на их основе необходимо предусматривать цепи температурной компенсации.

Когда к полупроводниковому резистору номинала А прикладывается мехаНнческое напряжение, вследствие пьезорезистивного эффекта его сопротивление меняется на величину з)1[71:

При включении резисторов в полумостовую у р

р схем и п и подаче на нее напряжения возбуждения Е, выходной сигнал будет равен выражению

!

= — Егг44(о, — гт„)

(10.13)

(10.14)

1 да, 1 дп4

[>г а дТ гг,„дТ

(10. 15)

Поскольку коэффициент дггы !дТимеет отрицате

вствительность также будет отрицательнои, чт чувств

температуры чувствительность падает

Существует несколько методов изготовления В одном из способов [8! используется подложка из поверхности <100>, на которой методом ионной н

льное значение, температурная

о означает, что при увеличении

кремниевых датчиков давления. кремния и-типа с ориентацией мплантации бора формируются

"ти ч вствительность датчика к

Взяв частные производные от г' л можно най у

;=,-:.!;:-:;., давлению а и его температурный коэффициент Ь .

,. ут

1 д~'.„, и д[Є— о,„)

Е др 4 др

Распознанный текст из изображения:

° ИИИИИИИ аи ииииии тих

0 !'

е!Р ЯЕ ОЬ !Е9 00! '09! 'ОЯЕ

08=-Йз' ен

лэннеиф

о чьэооь(

эЬЕЯ! 'ЬЕЯ(!

0'!'

еО» ! !9 !О! !9! ('ЯЕ .'ОЬ

(О-ЯЬЯЕ

'ЯЬЯЕ

еО» ЯЕ 'ОЬ Е9 '00! !09! !*ОЯЕ

Ь'0

(О-ЯЬЯЕ

+ЕЬЯ!

'ЕЬЯ!

еЫм ЯГ О!':Е9 00! '09! 'ОЯЕ

(О-ЯОЯЕ

(О-ЯОЯЕ

О!

Ь*О

е(Р ЯЕ 'ОЬ Е9 00! 09! 'ОЯЕ еО» !' Е 9 О! '9! 'ЯЕ 'ОЬ

9ЬЯЕ

9ЬЯЕ

(ЬЯ!

(О-ЯЕЯЕ

!'ЯЕЯЕ

Яг'О

(О-ЯЕЯЕ

+ЕЕЯ!

'ЕЕЯ!

Я еО» Ь 'Е'9 .'0(,(9! '.ЯЕ .'О!

еО» Ь Е 9 0(:9! ЯЕ ОЬ

ЯЕ'0

(ЕЯ!

ИЕА)»дд)) (

ьндо!)А) ьн

.П» "00 !

ИАЕАООЖИЗ ИМИНАЕ()'

Нд!АВЕМ

ОЗОМОди

ецм яЕ

ОЬ Е9 '00! 09(:ОЯЕ ООЬ ОЕ9

(Эх)96Ь!

ЕО.Ь6ЬЕ

9!

ЕО-Ь6ЬЕ (О-Ь6ЬЕ

е(Р Е'9

0! 9! ЯЕ О!' Е9 00! (09!

еЫИ Е9 0

:0'! !9 ! Я'Е 'Ь 'Е 9 'О! '9!

(Эх)ЯОЬ!

(Э»).09Ь!

60-Ь6ЬЕ

9!

ОЯЬЕ

09ЬЕ

ОЯЬЕ

е!)Л (0 9(0

ЯЕ 0 'О!''0 'Е9'0 '0'! '9'! - Я Е

(Э)(),ОЯЬ!

ОЯ г

ОЯ г

еим О!

9! .ЯЕ !О! Е9:00! (09! .*ОЯЕ

(ОЕ).ЬЬЬ!

ОЬ

е()м яЕ

ОЬ !*Е9 '00! !09! 'ОЯЕ 'ООЬ 'ОЕ9

(Ое)ЕЬЬ!

ОЬЬЬ

9!

е()м О!

9! ЯЕ:О!' Е9:00! '09! -.ОЯЕ

(ЭЮ,ОЬЬ! (Эх) ЬЕЬ!

ОЬЬЕ

еО» 9'!

Я'Е 'Ь Е9 ! 9! ЯЕ,.ОЬ

ОЬ

е(Р 0! '9! ЯЕ !ОЬ (ЕЕ' О! 09!

(ОЧ()ЕЕЬ!

9!

еим 9'!

Я'Е 'Ь Ф'9~0!'(аР 'ЯЕ '.,ОЬ

(ОЕ),ОЕЬ! 7

ОЕЬЕ

(О-Ь6ЬЕ

ОЕЬЕ

(ЭЕ)ЕЕЫ (ЭЮ ОЕЬ!

ОЕЬЬ

е!Р Ь .'Е'9:О! .'9! .'ЯЕ 'ОЬ 'Е9

е!)»

Е9'0 *0'! 9' Я';0'! 'Е'9 'О!

ОЕЬ

О!

О!

ОЕЬЕ

ОЕЬЕ

ОЕ

(0)А).6(Ь! О) -'

ф) Ь

О(ЬЕ

е(Р 9! 0 ЯЕ 0 Ь О;09 О 0'! '9'!

О(ЬЕ

0(ЬЕ

0(ЬЕ

е!)м О!'О

'9 ! '0 'ЯЕ'0 '!''0 'Е9'0 '0' ! '9' ! 'Я Е

еи ЬО'О

'Е90'0 '0! 0 9! 0 !ЯЕ 0 О!' 0

Ос

(0)())(Ь!

О(ЬЕ

0(ЬЕ

О!

0(ЬЯ

0(ЬЯ

О!'0

0(Ь!

)Щ-ОО (-нее(»д(А) ииндидеМ и»оонеее( иминАеЕ(

ЕЕ- дгЕ- чьэоон неехэе( бифиед ьевоеея

ЯЬ-

неВАэе(

ЬЬ-

неОАэь»

ЕЬ-

неэАа(Ч

00!

не!(»эд(

чиэ)(о(А)

еиь(

Нд

иинаоэиеи

воиэеэео хинхеав иь,)

деид

нерву( 'Оифнед ииоао во»инееа инэао!ч а!ч!»аннах»еЕ

! ~чоиидех эинэжиоеоН~

()() 1-НЕЙ д)А) 00 !-!

е!))Ч ЯЕ ээиод эн иинаеалеи ионэвэби !чинхоэв о иинанноиои ион!»оАе в ьо»ЭЕ»ОАь!че

ОА! ! иьэео»» минАец я()ь( 'ь!))м лаев» о во»ни!ее а!чобм 'иинаньооои нонна»е в ьоч»емоАРчв»А»он и»ни!ею- (ру)

.е оиб !»о 'ееАооо о»онана»инвеоА амвоне»оА еэд ежеАно!ч ьне ннаненеенеабо и »чнвх(д!чвь»

ио»!чбм»о ~чнобомо оо аив»оиэюеов ен !чнэо»)»оен +ьья! '+чья! '+ьея! '+еея! иэьэеон и»ин!е)( д'

ь оий но 'еыАооо оюнчьэАинвебА ио»ване»оА о еже!ион ьье !чнеленеен))абаз

и,.е„е!)эМып <чно»)о»о оо виндаве!( эивмоиаюеов ен !чнэобмоен ьья! 'Еря! 'ьея! 'Еея! вол иминАе(( в, '(

д-! оиб,ьнвооА ьинэоанеи ьье ьинаьвее е»инАее аоод!чв ион а!вне о!»имохдодн

о!н„эьэбеео в ннаеэвиои и»оомеиж ьнвооА ьинэоэ!чеи ьи11 д)(-ООРнео»эу( во»ил!ее и»вонеиА ~чиэх0 „,.

эинэьвее аонноечдеи ээнодеб эо!чэемоАное-ончьэеэвн - день

ееемес ьиневооеьюо

эиооо эинвиво»о»еи ен ьонмениниои иинэоэх»еи !чоиэевбн х»инхоэв хачнчве!чио»е!ч и!чннэнан»о о иман!в)( „,

е()Ь( ОЬ ээнод эн иинаввх»еи их»еиэоэвн ининхеэв о

иинэньонои нонеобоиои» в ьоАэемоАо!чв ОА! ! ииаеон мин»е(( О! идем» эиненэ!»ион.ло ~чеэоо ивен»ежАО»о эоА!еоэоиэ! оо

нина~ анелю эднчьэАиниооое - (дь ьинаньооои ах»оом) иинэннонои !чонеобоьоим в ьочАемоАачв »А»он иминее)) .

Распознанный текст из изображения:

° $ ' ° ° ° ° Э ° $ °

МетРан-100 . М

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ПАРАМЕТРЫ

таблина 1

Заменяемые модели датчиков серий Сапфир, Метран

Ряд верхних пределов измерений

Базовая

модель

Сапфир-22М Метран-22 Метран-43 Метран-45

Датчики избыточного давления Метран-100-ДИ

0,40; 0,25; 0,16; 0,10; 0,06; 0,04 кПа

5110

1110

5110

5120

2110

5!20

2110

2110

2110

40, 25; 16, 10; 6; 4; 2,5; 1.6 кПа

1131*(АС)

3131

2120,2130 2120,2130

5130

3131

40; 25, 16, 10; б;4; 2,5;1,6кПа

3133

3133

1133

250; 160: 100, 60; 40; 25, 16, 10 кПа

1141*(АС)

3141

2140

2140

3141

3143

1143

3143

1150*(АС)

2150

2!50

2150

3196

2151

2151

1151*(АС)

2! 51

3156

1152

3156

1163

3153

3!53

1 1 60*(АС)

2160

2160

3196-01

2160

16, 1О; б; 4; 2,5: 1,6, 1,0; 0,6 МПа

1161*(АС)

2161

2161

3163-0!

2161

16; 10; 6; 4, 2,5; 1,6; 1,0 МПа

3163

3163

1170*(АС)

100; 60; 40, 25; 16; 10, 6; 4 МПа

2170

3196-02

2170

1! 71(АС)

3173-01

2171

2171

2171

1172

3173

3173

40; 25; 16; 10, б; 4 МПа

3175

1173

3175

Датчики абсолютного дав

2030

2030

2030

кПа

250, 160; 100; 60; 40; 25 кПа

2040

1040*(АС)

2040

2040

1050*(АС)

2,5, 1,6, 1,0; 0,60; 0,4; 0,25 МПа

2050

2050

2050

1051*(АС)

2,5, 1,6; 1,0; 0,60, 0,4, 0,25 МПа

2051

2051

2051

1 060*(АС)

16; 10; 6, 4; 2,5; 1,6 МПа

2060

2060

2060

16; 10, 6; 4; 2,5, 1,6 МПа

1061*(АС)

2061

2061

2061

датчики разрежени

н-100-ДВ

я Метра

0,40; 0,25; 0,16; 0,10; 0,06; 0,04 кПа

1210

5210

5210

2,5; 1,6; 1,0; 0,6: 0,4, 0,25, 0,16; О,!0 кПа

1211(АС)

5220

2210

2210

5220

1212*(АС)

1,6; 1,0; 0,6; 0,4; 0,25; 0,16 кПа

2210

22!О

2210

40; 25, 16; 1О; 6,0; 4,0; 2.5, 1,6 кПа

1231*(АС)

3231

2220, 2230 2220, 2230

3231

5230

40; 25; 16, 10; 6,0; 4,0; 2,5, 1,6 кПа

1233

3233

3233

1 241 *(АС)

100; 60; 40, 25; 16; 10 кПа

3241

2240

2240

3241

100, 60; 40; 25; 16; 10 кПа

3243

1243

3243

женив М

ДИВ

Датчики давления-разре

етран-100

— 0,315; 0,2; 0,125, .0,08; . 0,05; в0,0315 кПа

1310

5310

5310

в) к

5320

2310

1311(АС)

2310

5320

1312*(АС)

е0,8; в0,5; е0,315, 0,2, 0,125: 0.08 кПа

2310

2310

23!О

. 20, .12,5, =8; 5; =3,15, 2 =1,25. 0,8 кПа

1331*(АС)

2320; 2330

3331

2320, 2330

5330

3331

1341*(АС)

3341

2340

2340

3341

1350"(АС)

2350

2350

2350

1351*(АС)

235!

3341-01

2351

2351

Модель

Метран

-100

1111(АС)

1 1 1 2*(АС)

2,5; 1,6; 1,0; 0,60, 0,40: 0.25: 0,16; 0,10 кПа

1,6; 1,0: 0,60; 0.40; 0,25; 0,16 кПа

250: 160; 100; 60; 40; 25, 16; 10 кПа

2,5, 1,6, 1,0, 0,6; 0.4; 0,25; 0,16; 0,10 МПа

2,5; 1,6, 1.0; 0,6; 0,4; 0,25; 0,16; 0,10 МПа 2,5; 1,6; 1,0; 0,6; 0,4; 0,25; 0,16; 0,10 МПа

1,0; 0,6; 0,4; 0,25,' 0,16 МПа

16; 10; б; 4; 2,5; 1,6; 1,0, 0,6 МПа

100, 60; 40; 25; 16; 10; 6; 4 МПа

40; 25; 16, 10; б; 4 МПа

. 1,25, 0,8; е0,5! е0,315, 0,2; . 0,125, =0,08,

ь0,05 кПа

(-100; 150).(-100; +60); =50, 31,5, 20, .12,5; .8; 5 кПа

(-100 кПа; т 2,4 МПа); (-100 кПа, ' 1,5 МПа), (-100; 900); (-100; 530), (-100; 300); (-100, 150), (-100, 60); (-50; 50) кПа

3141-01 3153-01 3156-01

Распознанный текст из изображения:

Емкость Са (пф) пьезокристалла определяется по соотношению Со = 8,9 с 5гфг, (ЗЗ) '"

где е — относительная диэлектрическая проницаемость; И вЂ” толгцина кристалла, м; 5 —,'::, площадь пластины, ма.

Пля наиболее распространенного пьезоэлектрического матерна-.",:;г ла — кварца 1сэ = 2,2 10 "Кл!Н и е = 4,5.

В тензометрических преобразователях используется:, явление изменения сопротивления проволочных и полупроводнико-:::.'; вых резисторов при их деформации. Относительное изменение сопро-,'::;~ тивления 25 Й линейно зависит от изменения длины Ь 1

п1И2=1слп И=) лН5Ес, (34):;:,

где Ь вЂ” коэффициент тенэочунсгнительности (0,5...2,5); Р— приложенное к площади о ';„',.

д

деформационное усилие, ки; Еп — модуль упругости, Гпа.

Обычно тензометрические датчики наклеивают на упругие элемен- ':; ты пружинных манометров и включают в мостовые измерительные:,' схемы (рис. 25, б),

В емкостных преобразователях (рис. 25, е) использовано .";; явление изменения емкости плоского конденсатора при изменении'":."; расстояния между его обкладками под действием давления.

Тепловые вакуумметры используют для измерения небольших.,';,.' давлений и глубокого вакуума (от 10 до 100 Па). Пействие их, как и '-',:,:,'

40

рис. Ю. Электрические преоаразэнатели данлениэп

а — пьезоэлектрические; б — тенэометрическне; е — емкостные.

Распознанный текст из изображения:

Рнс. 24. леформатптонные мтнометръп

а — пружинный; б — сильфониъ~й; в — трубчато-пружинный: !—

измерителъный элемент; 2 — указателы 3 — шкала; 4 — рычат.

Распознанный текст из изображения:

р с. 2а. Пол анко ый д фмашжсетрт

! — поплавок; 2 — указатель; 3 — шкала; 4-

рычаг.

Рнс. 23. Уравновсадеввые дифматкнаетрьп

а — колокольньгй: ! — колокол; 2 — пружина;

3 — разделительная емкость; 4 — сосуд; б— кошцевой: ! — полое кольцо„ 2 — траверса с призмой; 3 — опора; 4 — рабочий груз; 5— указатель шкальг; 6 — перегородка; 7 — сОединительные трубки.

Распознанный текст из изображения:

Мембрана

Ставней корпус ОН раопопоыена в центре передовых технопогнй