Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технические наукиАнализ принципа формирования плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыленияАнализ принципа формирования плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыления
2017-12-212017-12-21СтудИзба
НИР: Анализ принципа формирования плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыления
-12%
Описание
Инженерный практикум. Отчёт: «Анализ принципа формирования плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыления»
Содержание
Введение. Тонкоплёночные газовые сенсоры на основе опаловых матриц .. 3
1. Анализ принципа формирования металлической плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыления.... 4
2. Составление патентной заявки на изобретение «Получение газовых сенсоров на основе опаловых матриц» ......................................................................... 9
3. Многопозиционная вакуумная технологическая установка ............................. 11
Результаты............................................................................................................................... 14
Выводы ..................................................................................................................................... 14
Список используемой литературы. ..................................................................................... 15
Введение
Тонкоплёночные газовые сенсоры на основе опаловых матриц
Интерес к опаловым матрицам − правильным кубическим упаковкам наносфер SiO2 с тонкопленочными покрытиями вызван уникальностью свойств синтетического опала и практически неограниченной номенклатурой материалов тонких пленок, диапазоном толщин отдельных слоев и многослойных структур (от десятков ангстрем до единиц микрометров), а также другими достоинствами технологии получения тонких пленок. Велико разнообразие областей применения 3D-нанокомпозитов на основе опаловых матриц: элементы оптических систем, магнитной памяти, систем усиления, генерации и управления, счетчики элементарных частиц, полупроводниковые наноэлектронные устройства, а также газовые сенсоры и т.д.
Газовые сенсоры представляют собой развивающуюся область технологии с недостижимыми для других датчиков возможностями диагностики, например, химических, биологических веществ. Такие датчики легко миниатюризируются, а их конструкции могут видоизменяться.
Существует несколько типов газовых сенсоров, основанных на различных свойствах. Традиционная технология изготовления тонкопленочного газочувствительного элемента в качестве заключительного этапа включает в себя операцию модификации структуры пленки с целью увеличения площади ее поверхности Установлено, что особое влияние на электрофизические и газочувствительные характеристики сенсора оказывают микроструктура материала пленки, метод ее формирования и микрорельеф поверхности. Если в качестве подложки при создании резистивного тонкопленочного газового сенсора использовать матрицу синтетического опала, которая будет играть роль рельефообразующей основы, то необходимость в модификации поверхности пленки отпадет.
Рис. 2 Плёнка, полученная резистивным методом на опале со временем испарения 0,5 мин..
Содержание
Введение. Тонкоплёночные газовые сенсоры на основе опаловых матриц .. 3
1. Анализ принципа формирования металлической плёнки на опаловой матрице методами термического испарения и магнетронного распыления.... 4
2. Составление патентной заявки на изобретение «Получение газовых сенсоров на основе опаловых матриц» ......................................................................... 9
3. Многопозиционная вакуумная технологическая установка ............................. 11
Результаты............................................................................................................................... 14
Выводы ..................................................................................................................................... 14
Список используемой литературы. ..................................................................................... 15
Введение
Тонкоплёночные газовые сенсоры на основе опаловых матриц
Интерес к опаловым матрицам − правильным кубическим упаковкам наносфер SiO2 с тонкопленочными покрытиями вызван уникальностью свойств синтетического опала и практически неограниченной номенклатурой материалов тонких пленок, диапазоном толщин отдельных слоев и многослойных структур (от десятков ангстрем до единиц микрометров), а также другими достоинствами технологии получения тонких пленок. Велико разнообразие областей применения 3D-нанокомпозитов на основе опаловых матриц: элементы оптических систем, магнитной памяти, систем усиления, генерации и управления, счетчики элементарных частиц, полупроводниковые наноэлектронные устройства, а также газовые сенсоры и т.д.
Газовые сенсоры представляют собой развивающуюся область технологии с недостижимыми для других датчиков возможностями диагностики, например, химических, биологических веществ. Такие датчики легко миниатюризируются, а их конструкции могут видоизменяться.
Существует несколько типов газовых сенсоров, основанных на различных свойствах. Традиционная технология изготовления тонкопленочного газочувствительного элемента в качестве заключительного этапа включает в себя операцию модификации структуры пленки с целью увеличения площади ее поверхности Установлено, что особое влияние на электрофизические и газочувствительные характеристики сенсора оказывают микроструктура материала пленки, метод ее формирования и микрорельеф поверхности. Если в качестве подложки при создании резистивного тонкопленочного газового сенсора использовать матрицу синтетического опала, которая будет играть роль рельефообразующей основы, то необходимость в модификации поверхности пленки отпадет.
Рис. 2 Плёнка, полученная резистивным методом на опале со временем испарения 0,5 мин..
Характеристики НИР
Предмет
Учебное заведение
Просмотров
105
Покупок
0
Размер
10,82 Mb
Список файлов
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать