Откачной пост с прямоточной линией откачки
Откачной пост с байпасной линией откачки
Откачной пост для получения
безмасляного сверхвысокого вакуума
Схема откачного поста «вакуум в вакууме»
Схема откачного поста с
газонаполненной рабочей камерой
Схема карусельного полуавтомата
последовательного действия
Карусельный полуавтомат с золотником
в области высокого вакуума
Карусельный полуавтомат с золотником
в области высокого вакуума
Карусельный полуавтомат с золотником
в области низкого вакуума
Карусельный полуавтомат с золотником
в области низкого вакуума
Откачной пост ЛВО
Конвейерная линия вакуумной
обработки
Тренировка ЭВП
IЭ,
мА
t1=1100°C
t2=1150°C
t3 =900°C
t, ч
Изменение эмиссионной способности оксидного катода от
времени при различной температуре.
IЭ, мА
800
900
1000 1100 T, °С
Зависимость максимальной эмиссионной способности
катода от температуры активирования.
Тренировка ЭВП
T, °С
1150
1100
1050
1000
0%
100%
100% BaO
0% SrO
Зависимость максимально благоприятной температуры
активирования от состава двойного оксида