ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ
НАНОЛИТОГРАФИИ
Выполнила: Янчелик А.Э.
Группа : МТ 11-82
Руководитель: Сидорова С.В.
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
СТМ литография;
АСМ анодно-окислительная
литография;
АСМ силовая литография.
Другие специфические виды
(электростатическая зарядовая
литография, литография с помощью
зонда ближнепольного оптического
микроскопа и др.)
СТМ ЛИТОГРАФИЯ
АСМ АНОДНО-ОКИСЛИТЕЛЬНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Пример локального анодного
оксидированияс помощью
проводящего АСМ зонда
Пример растровой
и векторной литографий
АСМ СИЛОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Статическая силовая литография
Динамическая силовая литографи
ВЫВОДЫ
Дешевизна и доступность данного
метода
Структура в десятки нанометров
Одновременно получать
информацию о морфологии и
свойствах поверхности
Создание ферромагнитной
нанопроволоки
Спасибо за внимание!