Рентгеноэлектронный анализ многофазных оксидных систем, страница 4
Описание файла
PDF-файл из архива "Рентгеноэлектронный анализ многофазных оксидных систем", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "аналитическая химия" из 3 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. .
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 4 страницы из PDF
ед.3,53,02,52,01,51,00,50,0238236234232230228226228226228226Энергия связи, эВе. Облучение t=20 мин., Е=1 кэВИнтенсивность, отн. ед.3,02,52,01,51,00,50,0238236234232230Энергия связи, эВж. Облучение t=45 мин., Е=1 кэВИнтенсивность, отн. ед.3,02,52,01,51,00,50,0238236234232Энергия связи, эВ230Рис. 6. Рентгеноэлектронные спектры поверхности молибдена до (а) и после облучения низкоэнергетическими ионами кислорода.– 17 –4. Количественное рентгеноэлектронное определение фазового состава поверхности окисленного молибденаРазработанная методика математической обработки спектров была апробированапри исследовании многофазных оксидных систем молибдена.
В силу линейной зависимости аналитического сигнала от концентрации атомов, фазовый состав рассчитывается поформуле:ni =Ii∑I,iiгде ni – содержание i-го компонента ; Ii – интенсивность пика i-го компонента, в рассматриваемом случае пика M o 3d5/2 в свободном состоянии и в виде оксидов.Результаты количественного фазового анализа приведены в Таблице 2.Таблица 2. Фазовый состав образцов молибдена после ионной имплантации кислорода.Время облучения, мин.Фазовыйсостав, %00,515102045Mo100,084,278,039,216,97,05,6MoO20,08,913,438,548,645,242,2MoOx0,04,95,45,69,614,818,8MoO30,02,03,216,824,933,033,4Графически зависимость фазового состава поверхности от времени облучения ио-Доля компонента, ат. %нами кислорода представлена на рис.
7. Как видно из этого рисунка, фазовый состав по-1008060MoMoO240MoOxMoO320001020304050Время облученияРис. 7. Зависимость фазового состава поверхности молибдена от времени облучения ионами кислорода по данным РФЭС.– 18 –верхности существенным образом зависит от времени облучения; с увеличением времени(t>20 мин.) состав меняется слабо, что, возможно, свидетельствует об установлении межфазного равновесия при бомбардировке ионами кислорода [9, 10, 16-18].Таким образом, разработанная методика позволяет с точностью ±0,5% определятьфазовый состав поверхности.– 19 –Выводы1. Разработана методика математической деконволюции рентгеноэлектронныхспектров для определения количественного фазового состава многокомпонентных систем.2.
Проведена апробация разработанной методики на примере многофазных оксидных системах молибдена, полученных методом ионной имплантации низкоэнергетических ионов кислорода.3. Показано, что наилучшей аппроксимацией спин-дублетных рентгеноэлектронных спектров является смесь гауссовой и лоренцевой составляющих.4. Подобраны параметры аппроксимации (вклады гауссовой и лоренцевой составляющих) спектров M o 3d-уровня.5. Изучено изменение фазового состава поверхности молибдена от времени облучения низкоэнергетическими ионами кислорода.– 20 –Список литературы1. Основы аналитической химии. Кн. 2.
М етоды химического анализа. Учеб. для вузов/Под ред. Золотова Ю. А. М .: Высшая школа, 1999. С. 258–264.2. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии./Под ред. Бриггса Д. и Сиха М . П. М .: М ир, 1987. 600 С.3. М етоды анализа поверхности/Под ред. А. Зандерны.М .: М ир, 1979. 582 С.4. Фоменко В. С., Подчерняева И. А.
Эмиссионные и адсорбционные свойства веществ иматериалов. Справочник/Под ред. Самсонова Г. В.М .: Атомиздат, 1975. 320 С.5. Powell C.J., Jablonski A., Tilinin I.S., Tanuma S., Penn D. R.// J. Electron Spectrosc.Relat. Phenom. 1999. V. 98-99. P. 1–15.6.
Алов Н.В./ Тез. докл. I нац. конф. по применению рентгеновского, синхротронного излучения, нейтронов и электронов для исследования материалов (РСНЭ-97). М оскваДубна, Россия, 1997. C. 461.7. Harper J. M . E., Cuomo J. J., Kaufman H. R.// J. Vac. Sci. Technol. 1983. V. 21. № 3. P.737-756.8. Kelly R.// Rad. Effects. 1982.
V. 64. № 1-4. P. 205-220.9. Алов Н. В., Леонов М . П.// Физика и химия обработки материалов. 1986. T. 6. № 6. C.94-97.10. Алов Н. В., Петров Г. Б., Григорьев Г. А.// Доклада Академии наук СССР. 1987. V. 294.P. 623-626.11. M urali S.// J.
Electron Spectrosc. Relat. Phenom.1997. V. 83. P. 143–150.12. Seah M . P. // Ibid. 1995. V. 71. P. 191–204.13. Seah M .P., Spencer S. J., Bodino F., Pireaux J. J.// Ibid. 1997. V. 87. P. 159–167.14. Werfel F., M inni E.// Solid State Physics. 1983. V.16. № 31. P. 6091-6100.15.
Bauer E., Poppa H.// Surf. Sci. 1979. V. 88. №1. P. 34.16. Alov N.V./ 11. Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA 11). Leipzig, Germany, 2000. Book of Abstracts. P. p.46.th17. Alov N.V./ 16 International Conference on X-ray Optics and M icroanalysis (ICXOM XVI).Vienna, Austria, 2001. Book of Abstracts. P.
65.18. Alov N.V./ 9th European Conference on the Applications of Surface and Interface Analysis(ECASIA 01). Avignon, France, 2001. Book of Abstracts. P. 123.– 21 –.
