Автореферат (Спектроскопия фотоотражения полупроводниковых структур на основе арсенида галлия и фосфида индия), страница 2

P aыo –aco йe pю с –132 c–paтс нщ, х –o М Сс cЮe , 50 pс cyто o х с 7 –aыЮс н.C oжe p н aцс e жс cce p е aп с сBoааeй eцчч cзo pМyЮс po х aтщ aо –yaЮчтo c–ч, нe Юч срpaо –с Сe cо aЦмтaСс Мo c–ч paыo –щ. Π pс х o йЦ–cЦ o cтo х тщe рo Юo ю e тс Ц, х щтo cс Мщe тa мaгс –y.P e зe pa–с х тo с мЮo ю e тo co йe pю aтс e paыo –щ.Е epаaн ЛЮaх a Цх ЮЦe –cЦ o ымo pтo ф.

B Ч 1.1 o рс cщх ae –cЦ є ззe о – дpaтнaВ e Юйщэ a, о o –o pщф Цх ЮЦe –cЦ o cтo х o ф Мe –o йa cрe о –po cо o рс с дO . B Ч 1.2paccМa–pс х aъ –cЦ йх a –с рa cрe о –po х дO : тс мо o рo Юe х o ф с cpe йтe рo Юe х o ф. B Ч 1.3o рс cщх aъ –cЦ o cтo х тщe Мe –o йщ aтaЮс мa Мтo Лo о o Мрo тe т–тщx cрe о –po х дO :aтaЮс м Мo йyЮЦ с мМe тe тс Ц о o є ззс нс e т–a o –paю e тс Ц, зaмo Сyх c–х с –e ЮчтщфaтaЮс м, aтaЮс мcpe йтe рo Юe х щx cрe о –po х c рpс Мe тe тс e М рpe o ыpaмo х aтс Ц дypчe .B Ч 1.4 с мЮo ю e тщo cтo х тщe –pyйтo c–с cрe о –po cо o рс с зo –o o –paю e тс Ц.B уo paн ЛЮaх a рo cх Цгe тa Мe –o йс о e є о cрe pс Мe т–a.

B Ч 2.1 co йe pю с –cЦo рс caтс e o cтo х тщx o р–с Сe cо с x cx e М, с cрo Ючмye Мщx йЮЦ pe Лс c–paнс с cрe о –po хдO .B Ч 2.2 рpe йЮaЛae –cЦ Мe –o йс о a pe Лс c–paнс с cрe о –po х дO c рpс Мe тe тс e Мйх o фтo ЛoМo тo x po Мa–o pa, рo мх o ЮЦъ гaЦ Мс тс Мс мс po х a–ч х o мйe фc–х с eтao ыpaмe н мo тйс pyъ гe Лo с мЮyСe тс Ц, с мacх e –о y зo –o рpс e Мтс о a pacce ЦттщММo йyЮс pyъ гс М с мЮyСe тс e М. P e Лс c–paнс Ц cрe о –po х o cyгe c–х ЮЦЮacч c рo Мo гчъ6Мo тo x po Мa–o pa M Я P -6, х о o –o pщф ыщЮa х Мo т–с po х aтa йo рo Ютс –e ЮчтaЦ х x o йтaЦгe Юч. M o йyЮЦнс Ц o –paю e тс Ц o cyгe c–х ЮЦЮacч Юс ыo He-Ne Юaмe po М тa йЮс тeх o Ютщ632.8 тМ (Мo гтo c–ч 1 МB –) Юс ыo yмо o тaрpaх Юe ттщМс cх e –o йс o йaМс –с рaCЯ В c йЮс тaМс х o Ют 470 тМ, 530 тМ, 590 тМ с 650 тМ.

M o гтo c–ч с мЮyСe тс Цcх e –o йс o йo х тe рpe х щэ aЮa 1 МB –. M o йyЮЦнс Ц o cyгe c–х ЮЦЮacч Мe x aтс Сe cо с Мрpe pщх a–e Юe М.Э ac–o –aМo йyЮЦнс сco c–aх ЮЦЮa370У н.Cрe о –pщpe Лс c–pс po х aЮс cч рpс о o Мтa–тo ф –e Мрe pa–ype .Taо о aо с мМe тe тс Ц о o є ззс нс e т–a o –paю e тс Ц DR/R рpс зo –o Мo йyЮЦнс сco c–aх ЮЦъ – 10-5 - 10-4, –o йЮЦ pe Лс c–paнс с cрe о –po х дO тaМс ыщЮ paмpaыo –aтМaЮo э yМЦгс фзo –o ycс Юс –e Юч.дo –o ycс Юс –e Ючрpe йc–aх ЮЦe –co ыo фрpe o ыpaмo х a–e Юч »–o о - тaрpЦю e тс e Д c тyЮe х щМ cМe гe тс e М тa зo –o йс o йe сйo рo Ютс –e Ючтo ф о o ppe о нс e ф aМрЮс –yйтo -Сac–o –тo ф x apaо –e pс c–с о с .B о aСe c–х e o ыo cтo х aтс Ц рpe йЮaЛae Мo ф o р–с Сe cо o ф cx e Мщ рpс х o йЦ–cЦcрe о –pщ дOo ыpaмнo х ,мape Лс c–pс po х aттщeє о cрe pс Мe т–aЮчтo фcс c–e Мщ.мape Лс c–pс po х aттщxхΠ o о aмaтo ,o р–с Сe cо o фcx e МeхpaмтщxС–oхcо o тзс Лypaнс Цxcрe о –paxрpс Мe тe тс e МдO ,йх o фтo ЛoМo тo x po Мa–o pa yЮyСэ ae –cЦ co o –тo э e тс e »cс ЛтaЮ/э yМД с yМe тчэ ae –cЦ э с pс тacрe о –paЮчтщx Юс тс ф.

Є –o cх Цмaтo c yМe тчэ e тс e М х o мйe фc–х с Ц тa o ыpaмe нмo тйс pyъ гe Лo с мЮyСe тс Ц.Π apaЛpaз 2.3 o рс cщх ae – o co ыe ттo c–срpo ЛpaММтo Лoo ыe cрe Сe тс Ц,paмpaыo –aттo Лo йЮЦ aтaЮс мa cрe о –po х дO .BЧ 2.4 рpс х e йe тope Лс c–paнс сcрe о –po хo рс caтс eє о cрe pс Мe т–aЮчтo ф yc–aтo х о со o Мыс тaнс o ттo Лopacce Цтс Цcх e –a.йЮЦCрe о –pщpe Лс c–pс po х aЮс cч х Лe o Мe –pс с o ыpa–тo Лo pacce Цтс Ц тa aх –o Мa–с мс po х aттo фyc–aтo х о e тa ыaмe йх o фтo Лo Мo тo x po Мa–o pa Я дC-12. Cрe о –paЮчтo e paмpe э e тс eco c–aх ЮЦЮo 2 cМ -1. B o мыyю йe тс e pacce Цтс Ц o cyгe c–х ЮЦЮo cч Ar+ Юaмe po М тaйЮс тax х o Ют 488.0 с 514.5 тМ. B o с мыe ю aтс e cс Ючтo Лo paмo Лpe х a o ыpaмнo х ,Мo гтo c–ч х o мыyю йaъ гe Лo с мЮyСe тс Ц тe рpe х щэ aЮa 100 МB –. Cрe о –pщpe Лс c–pс po х aЮс cч рpс о o Мтa–тo ф –e Мрe pa–ype .7B уpeусeб ЛЮaх e paccМa–pс х aъ –cЦ o co ыe ттo c–с дO Юe Лс po х aттщx InP сGaAs.B Ч 3.1 рpe йc–aх Юe тщpe мyЮч–a–щс ccЮe йo х aтс Ц с o ттo -Юe Лс po х aттo Лo InP.H aМс с ccЮe йo х aЮс cч o ыpaмнщ InP c o pс e т–aнс e ф рo х e px тo c–с (100).

Π o cЮeМe x aтс Сe cо o ф рo Юс po х о ссx с Мс Сe cо o Лo–paх Юe тс Ц рo Юyрpo х o йтс о o х щeрЮac–с тщс МрЮaт–с po х aЮс cч с o тaМс ыe pс ЮЮс Ц c є тe pЛс e ф 100 о є B с йo мo ф 1013 cМ 2. Я aЮe e o ыpaмнщ рo йх e pЛaЮс cч –e pМс Сe cо o Мy o –ю с Лy х –e Сe тс e 10 ce о yтй рpс–e Мрe pa–ypax o –300 ·Cйo 800 ·C.B cрe о –pe дO тe o –o ю ю e ттo Лo o ыpaмнa (pс c.

1) cрe о –paЮчтщe Юс тс с хo ыЮac–сзyтйaМe т–aЮчтo Лoо paЦрo ЛЮo гe тс ЦInPo –cy–c–х yъ –.Π pс–e Мрe pa–ypax o –ю с Лa o – 300 ·C йo 700 ·C х cрe о –pax тaыЮъ йaъ –cЦ Юс тс с ,cх Цмaттщe c зyтйaМe т–aЮчтщМ рe pe x o йo М InP Eg=1.34 є B с рe pe x o йo М Мe ю йyмo тo ф рpo х o йс Мo c–с с o –гe рЮe ттo ф рo ймo тo ф х aЮe т–тo ф мo тщEg+Dso=1.44 є B хcс Юy cрс т-o pыс –aЮчтo Лoх мaс Мo йe фc–х с Ц.Мe peyх e Юс Сe тс Ц–e Мрe pa–ypщpac–e –o –ю с Лaс т–e тcс х тo c–чє –с xЮс тс фyМe тчэ ae –cЦэ с pс тa.ыщ–чΠoссxЄ –oМo ю e –cх Цмaтocх o cc–aтo х Юe тс e Мpaмpyэ e ттo фс МрЮaт–aнс сP с c.

1. Cрe о –pщ зo –o o –paю e тс Ц InP с МрЮaт–с po х aттo Лoс o тaМс Be+ c йo мo ф 1013 cМ А2 с рo йх e pЛтy–o Мy 10ce о yтйтo Мy –e pМс Сe cо o Мy o –ю с Лy рpс –e Мрe pa–ypax o –300 йo 800 °Cхx o йeс o тo хо pс c–aЮЮс Сe cо o фc–pyо –ypщInP.P accМa–pс х ae Мщecрe о –pщ дO с Мe ъ – х с й,8x apaо –e pтщф йЮЦ тс мо o рo Юe х o Лo cЮyСaЦ, с Мo Лy– ыщ–ч o рс caтщ зo pМyЮo фA cртe ca:-mùéDRú( E ) = Reê A × eij × æç hw - Ei + iG ö÷Rèøêëúû(1)Лйe A, j - aМрЮс –yйтщф с зaмo х щф рapaМe –pщ, ω Г - є тe pЛс Ц мo тйс pyъ гe Лoс мЮyСe тс Ц, Ei - рo Юo ю e тс e cрe о –paЮчтo ф o co ыe ттo c–с , Γ - рapaМe –pyэ с pe тс Ц,m - рapaМe –p, o рpe йe ЮЦe Мщф х с йo М о pс –с Сe cо o ф –o Со с .Я ЮЦ o ыpaмнa, рo йх e pЛтy–o Лo o –ю с Лy рpс –e Мрe pa–ype 800 ·C cрe о –p дO хo ыЮac–с зyтйaМe т–aЮчтo Лo рe pe x o йa рpe йc–aх ЮЦe – co ыo ф o cнс ЮЮЦнс с дpaтнaВ e Юйщэ a, рpс є –o М рpo с cx o йс –cо aСо o o ыpaмтщф cйх с ЛзyтйaМe т–aЮчтo Лo о paЦрo ЛЮo гe тс Ц тa 27 Мє B х c–o po тy Мe тчэ с x є тe pЛс ф.

Π o Цх Юe тс e o cнс ЮЮЦнс ф сcйх с ЛЮс тс с дO Мo ю тo cх Цмa–ч c рpo нe cco М є Юe о –pс Сe cо o ф aо –с х aнс с рpс Мe cс .B e Юс Сс тa тaыЮъ йae Мo Лo cйх с Лa co х рaйae –c є тe pЛс e ф aо –с х aнс с ыe pс ЮЮс Ц х InP.Я aттщecрe о –po cо o рс сдOо o ppe Юс pyъ – cйaттщМсcрe о –po cо o рс со o Мыс тaнс o ттo Лo pacce Цтс Ц cх e –a.B Ч 3.2 рpe йc–aх Юe тщ pe мyЮч–a–щ с ccЮe йo х aтс Ц с o ттo -Юe Лс po х aттo ЛoGaAs.

H aМс с ccЮe йo х aЮс cч o ыpaмнщ GaAs –с рa A У Π c o pс e т–aнс e ф (100),o ыЮyСe ттщe с o тaМс55Mn+ c є тe pЛс e ф 200 о є B с йo мo ф 5×1015 cМ -2. Π Юo –тo c–чс o ттo Лo –o о a тe рpe х щэ aЮa 0.5 Мо A /cМ 2. Π o cЮe o ыЮyСe тс Ц с o тaМс o ыpaмнщo –ю с ЛaЮс cч х yc–aтo х о e ыщc–po Лo –e pМс Сe cо o Лo o –ю с Лa. O –ю с Л рpo с cx o йс Ю хрo –o о e apЛo тa. Я ЮЦ рpe йo –х paгe тс Ц с cрape тс Ц Мщэ чЦо a o ыpaмнщyо Юaйщх aЮс cчo ыЮyСe ттo ф рo х e px тo c–чъ тa о pe Мтс e х yъ рo йЮo ю о y. Я с aрaмo т –e Мрe pa–ypo –ю с Лa co c–aх ЮЦЮ o –400 йo 900 °C, йЮс –e Ючтo c–ч рpo нe cca - 10 c.B cрe о –pe дO тe o –o ю ю e ттo Лo o ыpaмнa cрe о –paЮчтщe Юс тс с х o ыЮac–сзyтйaМe т–aЮчтo Лoо paЦ рo ЛЮo гe тс Ц GaAs o –cy–c–х yъ –.

C yх e Юс Сe тс e М–e Мрe pa–ypщ o –ю с Лa o – 400 йo 600 °C yх e Юс Сс х ae –cЦ с т–e тcс х тo c–ч с э с pс тacрe о –paЮчтo ф Юс тс с , cх Цмaттo ф c зyтйaМe т–aЮчтщМ рe pe x o йo М Eg GaAs. Bcрe о –pe дO o ыpaмнa, o –o ю ю e ттo Лo рpс –e Мрe pa–ype 700 °C рpo с cx o йс –cо aСо o o ыpaмтo eyМe тчэ e тс eэ с pс тщ Юс тс с .Я aЮчтe фэ e eyх e Юс Сe тс e9–e Мрe pa–ypщ o –ю с Лa рpс х o йс – о e e cйх с Лy o – є тe pЛс с 1.42 є B йo є тe pЛс с 1.38є B с yэ с pe тс ъ . В po Мe –o Лo , х cрe о –pe рo Цх ЮЦe –cЦ o –cy–c–х o х aх э aЦ paтe eэ с po о aЦ рo Юo ca зo –o Юъ Мс тe cнe тнс с х o ыЮac–с 1.42 є B . B ce paccМa–pс х ae Мщecрe о –pщ дO с Мe ъ – х с й, x apaо –e pтщф йЮЦ тс мо o рo Юe х o Лo cЮyСaЦ, с Мo Лy– ыщ–чo рс caтщзo pМyЮo ф A cртe ca (1).P o c– с т–e тcс х тo c–с Юс тс с рpс –e Мрe pa–ypax o –ю с Лa 400 А 600 ·Ccх с йe –e Ючc–х ye – o х o cc–aтo х Юe тс с о pс c–aЮЮс Сe cо o ф c–pyо –ypщ, paмpyэ e ттo ф хx o йe с МрЮaт–aнс с с o тaМс Mn+.

И х e Юс Сe тс e э с pс тщ cрe о –paЮчтo ф Юс тс с дOcх Цмaтo c –e М, С–o Mn рЮo x o pac–х o pЦe –cЦ х GaAs с зo pМс pye – х o ышe Мeо Юac–e pщ. Π pс o –ю с Лe х йс aрaмo тe –e Мрe pa–yp 400 - 600 ·C ыo Ючэ aЦ Сac–чс МрЮaт–с po х aттщx с o тo хo c–ae –cЦ хМe ю йo yмЮс Цx pe э e –о с (рpс Мe cч тeaо –с х с po х aтa). Є –o рpс х o йс – о yх e Юс Сe тс ъ х e po Ц–тo c–с pacce Цтс Ц тo cс –e Юe фтa –aо o Лo po йa йe зe о –ax с , cЮe йo х a–e Ючтo , po c–y э с pс тщ cрe о –paЮчтo ф Юс тс сдO .