Автореферат (Спектроскопия фотоотражения полупроводниковых структур на основе арсенида галлия и фосфида индия)

H a рpaх ax pyо o рс cсОO В O B Π aх e Ю ь pчe х с СC Е E ТTP O C ТO Е Я R А O TO O TP A Н E H Я R Е O У В Е P O B O Ы H Я ТO B Х XC TP В ТTВ P H A O C H O B E A P C E H Я Ы A ΓA У У Я R Я А O C А Я Ы A Я H Ы Я RCрe нс aЮчтo c–ч 01.04.05 А o р–с о aA B TO P EдEP A Tйс cce p–aнс с тa co с cо aтс e yСe тo ф c–e рe тсо aтйс йa–a зс мс о o -Мa–e Мa–с Сe cо с x тayоM o cо х a 2005P aыo –a х щрo Ютe тa тa о aзe йpeo ыгe ф зс мс о сзс мс Сe cо o Лoзaо yЮч–e –aM o cо o х cо o Лo Лo cyйapc–х e ттo Лo yтс х e pcс –e –a с М. M .B .

Гo Мo тo co х aH ayСтщф pyо o х o йс –e Юч:о aтйс йa–зс мс о o -Мa–e Мa–с Сe cо с x тayо ,йo нe т–У .Е .A аaянцЭ,зс мс Сe cо с фзaо yЮч–e –M У И с М. M .B . Гo Мo тo co х aO зс нс aЮчтщe o ррo тe т–щ:йo о –o pзс мс о o -Мa–e Мa–с Сe cо с x тayо ,рpo зe cco p A .Є.о цo ачр,зс мс Сe cо с фзaо yЮч–e –M У И с М.

M .B . Гo Мo тo co х a;йo о –o pзс мс о o -Мa–e Мa–с Сe cо с x тayо ,рpo зe cco p B .C .Γo peтчя,дс мс Сe cо с фя тc–с –y–с М. Π .H . Гe ыe йe х a P A HB e йyгaЦ o pЛaтс мaнс Ц:З e т–p Ec–e c–х e ттo -H ayСтщx с ccЮe йo х aтс фя тc–с –y–ao ыгe фзс мс о сс М.A .M .Π po x o po х a P A H« aгс –a co c–o с –cЦ » 21 Д йe о aыpЦ 2005 Л. х »15.00Д Сaco х тa мace йaтс сЯ с cce p–aнс o ттo Лo co х e –a Я 501.001.45 рpсM o cо o х cо o М Лo cyйapc–х e ттo Мyтс х e pcс –e –e с М. M .B .

Гo Мo тo co х a рo aйpe cy: 119992, Л. M o cо х a, Гe тс тcо с eЛo pщ, У CΠ -2, H я я R д M У И , 19 о o pрyc, ayйс –o pс Ц 2-15.Cйс cce p–aнс e ф Мo ю тo o мтaо o Мс –чcЦ х ыс ыЮс o –e о e H я я R д M У ИA х –o pe зe pa–paмo cЮaт » 18 Д тo ЦыpЦ 2005 Л.И Сe тщф ce о pe –apчЯ с cce p–aнс o ттo Лo co х e –a Я 501.001.45Я o о –o pзс мс о o -Мa–e Мa–с Сe cо с x тayо2A .H .

B acс Ючe хO щ а aх x ap aте e p с cе с тa p aщ oе СA яуyaтсцo cус уeыЦ. Π o Юyрpo х o йтс о o х щe c–pyо –ypщ тa o cтo х e apce тс йaЛaЮЮс Цсзo cзс йaзyтйaМe т–aЮчтщxзo –o йe –e о –o po х ,с тйс ЦЦх ЮЦъ –cЦс ccЮe йo х aтс ф сo р–с Сe cо с xс т–e pe cтщМсэ с po о oМo йyЮЦ–o po х ,o ышe о –aМсйЮЦс cрo Ючмyъ –cЦ йЮЦ co мйaтс ЦМo гтщxсcх e px ыщc–pщx–paтмс c–o po х с йpyЛс x рpс ыo po х o р–o - с тaтo є Юe о –po тс о с . A о –yaЮчтo c–чс ccЮe йo х aтс Ц –aо o Лo po йa c–pyо –yp o р–с Сe cо с Мс Мe –o йaМс o ыycЮo х Юe тa –e М,С–o o cтo х тщe –e тйe тнс с co х pe Мe ттo ф є Юe о –po тс о с тaрpaх Юe тщ тa co мйaтс eрo Юyрpo х o йтс о o х o ф рpс ыo po х c paмМe paМс рo pЦйо a тe cо o Ючо с x тaтo Мe –po х .Я с aЛтo c–с о a –aо с x рpс ыo po х –paйс нс o ттщМс Мe –o йaМс (тaрpс Мe p, є ззe о –X o ЮЮa) o о aмщх ae –cЦ мa–pyйтс –e Ючтo ф.B рo cЮe йтe e х pe МЦ рpс с ccЮe йo х aтс с рo Юyрpo х o йтс о o х щx c–pyо –yp х ceыo Ючэ yъ рo рyЮЦpтo c–ч рpс o ыpe –aъ – Мe –o йщ Мo йyЮЦнс o ттo ф cрe о –po cо o рс с ,o co ыe ттo , є Юe о –po - с зo –o o –paю e тс e (дO ).

M e –o й дO рo мх o ЮЦe – ыe cо o т–aо –тoo рpe йe ЮЦ–ч х e Юс Сс тщ х c–po e ттщx є Юe о –pс Сe cо с x рo Юe ф с o co ыe ттo c–с с xрpo c–paтc–х e ттo Лo pacрpe йe Юe тс Ц х рo Юyрpo х o йтс о o х щx c–pyо –ypax , йaх a–чo нe то с о o тнe т–paнс с тo cс –e Юe ф. M e –o йcрe о –po cо o рс с дO o co ыe ттo с т–e pe ce тйЮЦ с ccЮe йo х aтс Ц о х aт–o х o -paмМe pтщxє ззe о –o ххрo Юyрpo х o йтс о o х щxc–pyо –ypax , –aо о aо o т рo мх o ЮЦe – o рpe йe ЮЦ–ч є тe pЛс с Мe ю мo ттщx рe pe x o йo хйaю e рpс о o Мтa–тo ф –e Мрe pa–ype .H e o ыx o йс Мщeє Юe о –po зс мс Сe cо с eрapaМe –pщрo Юyрpo х o йтс о o х щxрpс ыo po х co мйaъ –cЦ рo cpe йc–х o М Юe Лс po х aтс Ц. я o тс мс po х aттaЦ рpс Мe cч срpo c–paтc–х e ттaЦЮo о aЮс мaнс Цтo cс –e Юe фрpс х o йЦ–орo Цх Юe тс ъйo рo Ютс –e Ючтщx х c–po e ттщx є Юe о –pс Сe cо с x рo Юe ф, о o –o pщe Мo йс зс нс pyъ –рpo зс Юч о х aт–o х щx ЦМ, С–o рpс х o йс – тe –o Ючо o о с мМe тe тс ъ є тe pЛe –с Сe cо o Лocрe о –pa є Юe о –po тo х с йщpo о , тo с о с мМe тe тс ъ х e po Ц–тo c–e ф Мe ю мo ттщxрe pe x o йo х .

H e о o т–po Юс pye Мo e с мМe тe тс e є тe pЛe –с Сe cо o Лo cрe о –pa є Юe о –po тo хс йщpo о х –aо o Лo po йa c–pyо –ypax х o мМo ю тo –aо ю e х x o йe є о cрe pс Мe т–aЮчтщxс ccЮe йo х aтс ф. Π o cЮe йтe e yо aмщх ae – тa х aю тo c–ч paмpaыo –о с ыe cо o т–aо –тщxМaЮo х o мМyгaъ гс x Мe –o йo х с ccЮe йo х aтс Ц рo Юyрpo х o йтс о o х щx c–pyо –yp.3д eтс й чccepуaЭчo ццo б paж o уЦ: с ccЮe йo х a–ч o co ыe ттo c–с зo –o o –paю e тс Ц хЮe Лс po х aттщx рo Юyрpo х o йтс о o х щx c–pyо –ypax тa o cтo х e GaAs с InP, a –aо ю e хрo Юyрpo х o йтс о o х щx о х aт–o х щx ЦМax тa o cтo х e GaAs/AlGaAs, йЮЦ Сe Лopaмpaыo –a–ч Мe –o йс о y pe Лс c–paнс с cрe о –po х зo –o o –paю e тс Ц c Мс тс МaЮчтщМх o мйe фc–х с e М мo тйс pyъ гe Лo с мЮyСe тс Ц тa с ccЮe йye Мщe c–pyо –ypщ.Е o тo з eцчн, аЦцo cчыЦeцaщaп чуy:1. O co ыe ттo c–сcрe о –po хдO , o ыycЮo х Юe ттщe є Юe о –pс Сe cо o ф aо –с х aнс e фрpс Мe cс х с o ттo -Юe Лс po х aттщx InP с GaAs Мo Лy– рpo Цх ЮЦ–чcЦ о aо х х с йeo cнс ЮЮЦнс ф дpaтнa-В e Юйщэ a, –aосхх с йeрe pe x o йo хc yСac–с e Мaо нe р–o pтo Лo ypo х тЦ, х мaх с cс Мo c–с o –є тe pЛс с aо –с х aнс с aо нe р–o pa.2.

O ытapyю e ттщe х cрe о –pax зo –o o –paю e тс Ц Юe Лс po х aттщx о pe Мтс e М рЮe тo оGaAs o cнс ЮЮЦнс с дpaтнa-В e Юйщэ a йх yx paмЮс Стщx Сac–o – cх Цмaтщ cх о Юaйo М х cрe о –pcс ЛтaЮo х o –рpс рo х e px тo c–тo ф o ыЮac–с рpo c–paтc–х e ттo ЛoмapЦйa с Лpaтс нщpaмйe Юa »Юe Лс po х aттaЦ рЮe то a n-GaAs А рo Юyс мo Юс pyъ гaЦрo йЮo ю о a GaAsД.3. Π o ЮyСe ттщe с мcрe о –po х дO є тe pЛс с Мe ю мo ттщx рe pe x o йo х тe Юe Лс po х aттщxЛe –e po c–pyо –yp cpaccСс –aттщМ хо х aт–o х щМсpaМо axМo йe ЮсЦМaМсGaAs/AlGaAsco o –х e –c–х yъ –o Лс ыaъ гe ф х o Ютo х o ф зyто нс сйЮЦрpЦМo yЛo Ючтo Лo рo –e тнс aЮa c yСe –o М рpaх с Ю o –ыo pa рo Сe –тo c–с .4. O cтo х тщМ Мe x aтс мМo М yэ с pe тс Ц cрe о –paЮчтщx Юс тс ф дO , cх Цмaттщx cМe ю мo ттщМс рe pe x o йaМс х o ыЮac–с о х aт–o х o ф ЦМщ GaAs/AlGaAs Цх ЮЦe –cЦрpo c–paтc–х e ттaЦ тe o йтo po йтo c–ч Лe –e po Лpaтс н.5.

P acгe рЮe тс e Юс тс ф х cрe о –pax дO йх o фтщx о х aт–o х щx ЦМ cх Цмaтo cх мaс Мo йe фc–х с e М o йс тo Стщx о х aт–o х щx ЦМ Сe pe м –yттe Ючтo -рpo мpaСтщфыapчe p AlAs. B e Юс Сс тa pacгe рЮe тс Ц yМe тчэ ae –cЦ c po c–o М –o Югс тщыapчe pa AlAs с yх e Юс Сс х ae –cЦ c po c–o М є тe pЛс с ypo х тЦ х о х aт–o х o ф ЦМe .Е paяучрecяaн Эeццo cус paж o уЦ:1.

Я aттщe , рo ЮyСe ттщe с мcрe о –po х зo –o o –paю e тс Ц с o ттo -Юe Лс po х aттщx InP сGaAs, Мo Лy– ыщ–ч с cрo Ючмo х aтщ йЮЦ х щыo pa o р–с МaЮчтщx pe ю с Мo х o –ю с Лaрpс с o ттo М Юe Лс po х aтс с .42. P e мyЮч–a–щ с ccЮe йo х aтс ЦМo йyЮс po х aтoЮe Лс po х aттщxc–pyо –yp cо х aт–o х щМс ЦМaМс тa o cтo х e Лe –e po рapщ GaAs/AlGaAs Мe –o йo М дO , с с xс т–e pрpe –aнс Цтao cтo х ecaМo co ЛЮaco х aттo Лope э e тс Цypaх тe тс ф§ pe йс тЛe pa с Π yacco тa рo мх o ЮЦъ – рo ЮyСa–ч с тзo pМaнс ъ o ы с мМe тe тс смace Юe ттo c–с рo ймo т paмМe pтo Лo о х aт–o х aтс Ц, С–o Мo ю e –ыщ–ч с cрo Ючмo х aтoрpс paмpaыo –о e рpo –o –с рo х HEMT –paтмс c–o po х .3.

M e –o йс о с , рpe йЮo ю e ттщe х йс cce p–aнс с , Мo Лy– ыщ–ч с cрo Ючмo х aтщ йЮЦыe cо o т–aо –тo Лoтe paмpyэ aъ гe Лoо o т–po ЮЦo р–с Сe cо с x(э с pс тaмaрpe гe ттo ф мo тщ, є тe pЛс с Мe ю мo ттщx рe pe x o йo х х о х aт–o х o -paмМe pтщxc–pyо –ypax )сє Юe о –po зс мс Сe cо с x(х e Юс Сс тщ срpo c–paтc–х e ттo epacрpe йe Юe тс e х c–po e ттщx є Юe о –pс Сe cо с x рo Юe ф, х e Юс Сс тa рo х e px тo c–тo Лoрo –e тнс aЮa, о o тнe т–paнс Ц тo cс –e Юe ф) рapaМe –po х .A ъpo ж aЭчн paж o уЦ. O cтo х тщe pe мyЮч–a–щ йс cce p–aнс с йo о Юaйщх aЮс cч тa:Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс с c–yйe т–o х с acрс paт–o х рo зyтйaМe т–aЮчтщМтayо aМ »Гo Мo тo co х 99Д, Л. M o cо х a, 1999; B ce po ccс фcо o ф тayСтo -–e x тс Сe cо o фо o тзe pe тнс с »M с о po А с тaтo А є Юe о –po тс о a 2001Д, Л.

« х e тс Лo po й, 2001; 1-o фP o ccс фcо o ф о o тзe pe тнс с Мo Юo йщx yСe тщx рo зс мс Сe cо o Мy Мa–e pс aЮo х e йe тс ъ ,Л. В aЮyЛa, 2001; 2-o ф Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс сМo Юo йщx yСe тщx сcрe нс aЮс c–o х »O р–с о a 2001Д, Л. Caто –-Π e –e pыypЛ, 2001; 19th Condensed MatterDivision conference, Brighton, 2002; Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс с c–yйe т–o х сacрс paт–o х рo зyтйaМe т–aЮчтщМ тayо aМ »Гo Мo тo co х 2002Д, Л. M o cо х a, 2002;о o тзe pe тнс с »O р–с о a, o р–o є Юe о –po тс о a с –e x тo Юo Лс ЦД, Л. И ЮчЦтo х cо , 2002;Conference on Lasers, Applications, and Technologies 2002 (LAT-2002), Л.

M o cо х a,2002;8-o фМe ю йyтapo йтo фрo Юyрpo х o йтс о o х щeо o тзe pe тнс с»A pce тс йЛaЮЮс Цсco e йс тe тс Ц Лpyррщ III-VД, Л. To Мcо , 2002; 4-o фB ce po ccс фcо o ф Мo Юo йe ю тo ф о o тзe pe тнс срoзс мс о eрo Юyрpo х o йтс о o х ,рo Юyрpo х o йтс о o х o ф o р–o - с тaтo є Юe о –po тс о e ., Л. Caто –-Π e –e pыypЛ, 2002;B ce po ccс фcо o ф тayСтo -–e x тс Сe cо o ф о o тзe pe тнс с»M с о poА стaтoАє Юe о –po тс о a 2003Д, Л.

« х e тс Лo po й, 2003; Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс с Мo Юo йщxyСe тщxсcрe нс aЮс c–o х»O р–с о a2003Д,Л.Caто –-Π e –e pыypЛ,2003;5Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс с c–yйe т–o х с acрс paт–o х »Гo Мo тo co х 2004Д, Л.M o cо х a,2004;InternationalWorkshoponModulationSpectroscopyofSemiconductor Structures, Wroclaw, 2004; тa 20th General Conference CondensedMatter Division EPS, Prague, 2004; 6-o ф Мo Юo йe ю тo ф о o тзe pe тнс с рo зс мс о eрo Юyрpo х o йтс о o х с рo Юyрpo х o йтс о o х o ф o р–o - с тaтo є Юe о –po тс о e , Л.

Caто –Π e –e pыypЛ, 2004; 13th European Molecular Beam Epitaxy Workshop, Grindenwald,2005; Мe ю йyтapo йтo ф о o тзe pe тнс с »B мaс Мo йe фc–х с e с o тo х c рo х e px тo c–чъ2005Д, Л. « х e тс Лo po й, 2005Е yж тчяaЭчч. Π o Мa–e pс aЮaМ йс cce p–aнс с o рyыЮс о o х aтo 26 тayСтщx paыo –.C уpyяуypaч o ж Чeы й чccepуaЭчч. Я с cce p–aнс Ц co c–o с – с м х х e йe тс Ц, 4 ЛЮaх ,мaо Юъ Сe тс Ц с cрс cо a Юс –e pa–ypщ, х о Юъ Сaъ гe Лo 102 тaс Мe тo х aтс Ц.