Отзыв-Чиркин (Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью)

отзыв на автореферат диссертации ИЕШКИНА Алексея Евгеньевича «Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью», представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04 — физическая электроника Потребности, существующие в ряде приоритетных областей науки и техники, в надежных методах формирования сверхгладких подложек и нанесения на них тонкопленочных и многослойных покрьпий обуславливают необходимость разработки эффективных методов и оборудования для прецизионного технологического воздействия на обрабатываемые поверхности, В частности, острая потребность в высококачественных зеркалах с многослойными отражающими покрытиями, используемых в кольцевых резонаторах лазерных гироскопов, предназначенных для систем автономной инерциальной навигации, делает чрезвычайно актуальной диссертацию А.Е.

Иешкина, посвященной формированию пучков газовых кластерных ионов и закономерностям их взаимодействия с облучаемьгми образцами, в том числе с многокомпонентными мишенями. На мой взгляд, из результатов, полученных соискателем, наиболее интересны для практических применений следующие: 1.

Убедительно продемонстрирована возможность сглаживания до остаточной шероховатости менее 0,5 нм поверхностей диэлектриков, в частности подложек из оптической стеклокерамики, включающей кристаллическую и аморфную фазы. 2. Создание ускорителя газовых кластерных ионов, обеспечившего возможность целенаправленного воздействия на обрабатываемый образец, 3.

Экспериментально обнаруженные закономерности взаимодействия ускоренных газовых кластерных ионов с одно- и многокомпонентными мишенями. Постановка задачи и основное содержание диссертации изложены в автореферате последовательно, четким ясным языком, что демонстрирует не только значительную работу, выполненную соискателем на разных стадиях постановки экспериментов и обработки полученных данных, но и высокое чувство ответственности за интерпретацию результатов. Анализ текста автореферата и основных публикаций позволяет заключить, что диссертация представляет собой завершенное научное исследование и обладает внутренним единством. Работа, выполненная А.Е.

Иешкиным, полностью соответствует требованиям, предьявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук. Считаю, что соискатель заслуживает присуждения ученой степени кандидата физико-математических наук. Заведующий кафедрой «Электронные приборы» ФГБОУ ВПО «Рязанский государственный радиотехнический университет» доктор физико-математических наук, профессо Чиркин Михаил Викторович Подпись М.В. Чиркина.$айерщо.

Ученый секретарь Учетзогоаовета РГРТУ кандидат техническ«их наук,'доцент Пржегорлинский Виктор Николаевич 22.05.2015 г.' . ФГБОУ ВПО «Рязанский:государственный радиотехнический университет». Адрес: 390005, г. Рязань, ул. Гагарина, 59/1. Тел.: +7(4912) 46-03-38, Е-ша11: .