Отзыв-Афанасьев (Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью)

отзыв официального оппонента о диссертационной работе Иешкина Алексея Евгеньевича «Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью», представленной на соискание ученой степени кандидата физико- математических наук по специальности 01.04.04 — физическая электроника Предметом диссертации А,Г, Иешкина являются вопросы, относящиеся к бурно развивающейся отрасли физики, к физике пучков ускоренных кластерных ионов. Уникальность объекта исследования состоит в том, что кластерный ион, обладая большой массой, и, соответственно, большим размером, при одинаковой энергии с моноатомным ионом не проникает глубоко в облучаемое твердое тело.

Таким образом, при взаимодействии кластерных ионов с веществом вблизи поверхности выделяется большая энергия, что может приводить к новым, не известным ранее явлениям. До настоящего времени в нашей стране небольшим кругом авторов проводились лишь теоретические исследования„ направленные на изучение свойств кластерных ионов, а вопросы, связанные с формированием кластерных ионов и исследованием их взаимодействия с веществом, оставались в тени. Поэтому тема диссертационной работы А.Е. Исшкина, в которой поставлена задача получения пучков ускоренных газовых кластерных ионов и исследования закономерностей их взаимодействия с одно- и многокомпонентными мишенями, очевидно, является актуальной. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав и заключения. Во введении обосновывается актуальность выбора темы исследования, формулируются цели и задачи работы.

В главе 1 автор проводит глуоокий анализ современного состояния исследований по различным аспектам кластерной тематики, Рассмотрена динамика газового потока в сверхзвуковом сопле„ используемом для формирования потока кластеров. Изучены подходы к созданию ускорителей кластерных ионов. Далее, приводятся и обсуждаются различные характеристики взаимодействия атомарных и кластерных ионов с веществом. Нужно отметить, что проведенный анализ и сопоставление известных экспериментальных и теоретических работ, касающихся столкновения кластеров с твердым телом, показал, что имеющиеся данные не могут претендовать на полное непротиворечивое описание такого взаимодействия. 2-я глава посвящена описанию созданного при участии автора ускорителя газовых кластерных ионов. Созданный ускоритель позволяет получать пучки кластерных ионов различных газов с энергиями до 15 кэВ.

В 3-й главе рассмотрена реализованная автором работы система визуализации структуры течения газа и описаны результаты, полученные с ее использованием. Полученные результаты хорошо согласуются с данными компьютерного моделирования. Разработанная методика имеет несомненную практическую ценность. Дело в том, что в настоящее время невозможно создание совершенно одинаковых сверхзвуковых сопел с требуемыми параметрами. Методика визуализации достаточно проста и позволяет характеризовать каждое сопло в условия работы кластерного источника. В 4-й главе обсуждаются эксперименты по наблюдению угловых распределений распыленного вещества. При этом для однокомпонентных мишеней получены неизвестные ранее виды угловых распределений и предложен новый механизм распыления. Угловые распределения для многокомпонентных мишеней получены впервые, Глава 5 содержит большое количество экспериментального материала по планаризации поверхности.

Исходя из этого материала, делается вывод о применимости кластерных ионов для выравнивания поверхности до высокого уровня гладкости. 11олученные в работе результаты и выводы обоснованы и достоверны. Это подтверждается тщательносгью проведения экспериментов, сравнением полученных данных с имеющимися в литературе в тех случаях, когда такое сравнение возможно, и сопоставлением экспериментальным данных с результатами компьютерного моделирования. Личный вклад А.Е. Иешкина является определяющим, все основные результаты получены непосредственно им. И целом, работа является завершенным исследованием, которое вносит заметный вклад в развитие физики взаимодействия ионов с ! вердыми телами.

Результаты работы имеют принципиальную новизну и практическую ценность как для понимания процессов, происходящих при формировании газовых кластеров и столкновении кластерных ионов с поверхностью, так и для разработки ~те~~с~~~нны~ технологий планарнзации поверхности кластерными ионами. Результаты работы известны специалистам, достаточно полно представлены в публикациях в научных изданиях и докладывались на отечественных и международных конференциях.

Автореферат диссертации полностью отражает содержание диссертации. В качестве замечания но диссертации следует отметить следующее: Не приведены альтернативные, предлагаемой технологии кластерной планаризации поверхностей, методики полировки поверхностей: такие как, например, плазменная, ионная и.т.д„по не позволяет увидеть преимущества и недостатки предлагаемой технологии. На основании вышеизложенного можно заключить, что диссертационная работа А.Е. Иешкина «Процессы формировании газовых кластерных попов и их взаимодействия с поверхностью», представленная на соискание ученой степени кандидата физикоматематических наук по специальности 01.04.04 — Физическая электроника, полностью соответствует критериям, установленным действующим «Положением о присуждении ученых степеней», а сам А.Е.

Иеижин безусловно заслуживает присуждения ему искомой степени. Афанасьев В. П. Москва 111250, Красноказарменная ул., д,14. е-та11: А1апавуе~УР~®п1ре1.ги Официальный оппонент, доктор физ.-мат. наук, профессор кафедры ОФиЯС НИУ МЭИ Подпись проф Афанасьева зав НИУ МЭИ Виктора Петровича Ф~- --'~л,~ .