Многоуровневое моделирование механизмов и кинетики роста плёнок оксидов металлов, страница 4
Описание файла
PDF-файл из архива "Многоуровневое моделирование механизмов и кинетики роста плёнок оксидов металлов", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 4 страницы из PDF
Концентрацияоставшегося в плёнке атома хлора главным образом определялась еговзаимодействием с близлежащими атомами металла, а также егодиффузией в плёнке. Показано, что энергия активации реакциигидролиза M-Cl связи в зависимости от NM - числа металлсодержащихсоседей у атома Cl равняется 2.5-1.2*NM (ккал).Результаты диссертации с достаточной полнотой отражены в следующихпубликациях:1. I.V. Belov, M.A. Deminsky, A.A.
Knizhnik, and B.V. Potapkin. “A CombinedApproach to Studying Film Growth Process”. Труды конференции “ISPC 15”,2001, Orléans, France, Vol.8, p.3213-3220.2. M. Deminsky, A.Knizhnik, I.Belov, S.Umanskii, E.Rykova, A. Bagatur’yants,B.V. Potapkin and A.A. Korkin. “Mechanism and Kinetics of Zirconium andHafnium Oxides Thin Film Growth in ALD Reactor”. Труды конференции“Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Opportunities inRussia”, 2002, стр. 102.3. A.A. Knizhnik, A.A. Bagaturyants, I.V.
Belov, B.V. Potapkin, A.A. Korkin. “Anintegrated kinetic Monte Carlo molecular dynamics approach for film growthmodeling and simulation: ZrO2 deposition on Si(100) surface”. Computationalmaterials science, Vol 1178, 2002, p.5-12.4. И.В. Белов. “Диффузия молекулы по поверхности при реакции адсорбции”.Труды конференции “I Курчатовская молодёжная научная школа”, 2004, стр.117-121.5. M. Deminsky, A.Knizhnik, I.Belov, S.Umanskii, E.Rykova, A. Bagatur’yants,B.V. Potapkin, M.Stoker and A.A. Korkin. “Mechanism and Kinetics of ThinZirconium and Hafnium Oxide Film Growth in an ALD Reactor”.
SurfaceScience, 2004, vol. 549, no. 1, p. 67-86.6. И.В. Белов. “Диффузия молекулы по поверхности при реакции адсорбции”.Труды конференции “Ломоносов 2004”, стр. 251.7. И.В. Белов, А.А. Книжник, Е.А. Рыкова, А.А. Багатурьянц, С.Я. Уманский,Б.В. Потапкин. ”Гетерогенные реакции с участием хлоридов металлов иводы с гидроксилированной поверхностью плёнки оксида металла”.Химическая физика, 2005, том 24, N.8, стр.
48-58.8. И. М. Искандарова, А. А. Книжник, И. В. Белов, Е. А. Рыкова, А. А.Багатурьянц, С. Я. Уманский, Б. В. Потапкин, M. W. Stoker, “Моделированиероста плёнки в процессе атомного осаждения слоёв”, Физико – химическаякинетикавгазовойдинамике,2006,Том4,cтр.1-15,http://www.chemphys.edu.ru/pdf/2006-10-23-003.pdf.209. И. М. Искандарова, А. А. Книжник, И. В.
Белов, Е. А. Рыкова, А. А.Багатурьянц, С. Я. Уманский, Б. В. Потапкин, M. W. Stoker, “Моделированиешероховатости тонких плёнок, полученных методом атомного осажденияслоёв”, Хим. Физика, 2007, том 26, N3, c. 78-88.Литература1. И. М. Искандарова, А. А. Книжник, И. В. Белов, Е. А. Рыкова, А. А.Багатурьянц, С. Я. Уманский, Б. В.
Потапкин, M. W. Stoker, Физико –химическая кинетика в газовой динамике, 2006, Том 4, cтр. 1-15http://www.chemphys.edu.ru/pdf/2006-10-23-003.pdf.2. J. Aarik, A. Aidla, A.-A. Kiisler, T. Uustrate, V. Sammelselg, Thin Solid Films340 (1999) 110.3. J. Aarik, A.
Aidla, H. Mandar, T. Uustrate, V. Sammelselg, J. Cryst. Growth220 (2000) 105.4. A. Kytokivi, E.-L. Lakomaa, A. Root, H. Osterholm, J.-P.Jacobs, H.H.Brongersma, Langmuir 13 (1997) 2717.5. F. Haase, J`. Sauer, J. Am. Chem. Soc. 120 (1998) 13503.6. P.J. Wilde, C.R.A. Catlow, Solid State Ionics 112 (1998) 173-183.7. J. Aarik, A.
Aidla, H. Mandar, T. Uustrate, V. Sammelselg, Thin Solid Films408 (2002) 97.8. A. Rahtu, Mikko Ritala, J. Mater. Chem. 12 (2002) 1484.9. J.E. Lowther, J.K. Dewhurst, J.M. Leger and J. Haines, Phys. Rev. B. 60(1999) 14485.21.