Отзыв на автореф. от Рыбкина (Исследование влияния малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования)

отзыв на автореферат диссертации Титова Александра Юрьевича "Исследование влияние малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования", представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08— Физика плазмы Физика и химия плазмы является динамично развивающейся отраслью науки и техники, которая обеспечивает прогресс в таких пограничных областях как микро и нано электроника, лазерная техника, получение новых материалов, включая нано размерные, экология — очистка газовых выбросов и сточных вод и многих других.

Рациональная организация плазменных технологий требует понимания механизмов процессов, протекающих в плазме, а также различных факторов, влияющих на них. Наряду с экспериментальными методами, методы математического моделирования плазмы стали сейчас эффективным инструментом исследований, который позволяет получить информацию, недоступную экспериментально.

Качественная модель обладает также прогностическим свойствами, то есть позволяет предсказать поведение системы при изменении ее внешних параметров, включая исходный состав ил азмоо бразующих газов. Поэтому цель работы, заключающаяся в создании модели неоднородного СВЧ разряда в водороде для оценки влияния на его свойства малых добавок азота и аргона и постоянного электрического поля, определяет ее актуальность, а также научную и практическую ценность работы.

В работе получен ряд результатов, которые можно классифицировать как новые. Среди них, главными, на взгляд автора отзыва, являются следующие. 1. Выявлен механизм влияния малых добавок азота и аргона на параметры неравновесного СВЧ разряда. 2. Показано, что постоянное электрическое поле, меняя скорости гибели заряженных частиц на поверхности электрода, тем самым меняет и внутренние параметры плазмы. Несмотря на общее положительное мнение о работе, возникает ряд вопросов и замечаний.

Замечания по оформлению. 1, Рисунки 3,4,8,9 взятые из программы Сошзо1 предполагают печать в цвете. В автореферате это черно-белый вариант. В результате на этих рисунках слабо заметны различия, которые описываются в тексте. Диссертант не заметил, что в подписи к рисунку 2 (черно-белый) написано: синие кривые это...., красные- это.... 2. На рисунках 5,6,7 надписи осей ординат сделаны на английском и на рис.

7 с ошибкой (ге1.ц1пз). Замечания по существу. 1. В целях работы нехорошо писать "Исследование влияния ..." Работа всегда исследование. Лучше было написать что-то вроде "Выявление закономерностей влияния...". 2. Из текста непонятно, имелся ли в работе эксперимент. Судя по названию, а также по отсутствию описания методик измерений, определяемых параметров и инструментария, то нет.

Но в тоже время в тексте встречаются фразы типа "экспериментально было показано", "согласуется с экспериментом", без соответствующего цитирования. 3. Для расчетов эффективных полей, кинетики и проч. требуется знание температуры газа. Хотя этот параметр и встречается в тексте, но нигде не описано, как температура определялась — это расчет или эксперимент? 4. При записи граничных условий на стр. 10 диссертант называет плотности потоков — потоками.

Сами граничные условия записаны неверно или плохо объяснено, что диссертант имел в виду, Диссертант пишет, что плотность потока электронов на стенку состоит из двух частей-дрейфовой и диффузионной. Дрейфовая часть записана правильно, но п,х%4 не есть плотность диффузионного потока. Это хаотическая плотность потока электронов, преодолевающих потенциал стенки без соударений, т.е.

упуская вектор нормали для одномерного случая правильное граничное условие есть п,хУ(4ху=-й,хйп,Ях-р,~Екав,, где все величины определяются на границе двойного слоя, у-вероятность рекомбинации заряженных частиц на стенке, Р,-коэффициент диффузии электронов, а У-средняя хаотическая скорость электронов, и;концентрация. У диссертанта диффузионный поток отсутствует. Для стационарного случая, если гибель зарядов в объеме отсутствует, плотность потока электронов должна быть равна плотности потока положительных ионов.

Это равенство и определяет поля, необходимые для поддержания разряда. 5. Термины "тепловые скорости электронов и ионов на стенке" и "температура электронов на стенке*' (стр. 14) не сильно хороши. Речь, повидимому, идет о границе двойного слоя, то есть о расстояниях порядка длины свободного пробега от стенки. Судя по автор сфер ату, диссертационная работа Титова Александра Юрьевича "Исследование влияние малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования" по своей актуальности, содержанию, по объему и уровню полученных результатов, их новизне и значимости соответствует требованиям Постановления № 842 пунктов 9-14 "Положения о порядке присуждения ученых степеней" ВАК РФ, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата физикоматематических наук.

Результаты работы опубликованы в рецензируемых журналах списка ВАК РФ и прошли хорошую апробацию на представительных конференциях и Симпозиумах, включая зарубежные. Считаю, что ее автор заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08 — Физика плазмы. Даю разрешение на обработку моих персональных данных.

Главный научный сотрудник кафедры технологии приборов и материалов электронной техники Рыбкин Владимир .