2-339-1399894356-20.-formirovanie-atomarnyh-i-molekulyarnyh-puchkov (Каким образом формируются атомарные и молекулярные)

20. Каким образом формируются атомарные и молекулярные пучки?МОЛЕКУЛЯРНЫЕ И АТОМНЫЕ ПУЧКИ - направленные потоки молекул илиатомов, движущихся в вакууме практически без столкновений друг с другом и смолекулами остаточных газов.Основными способами формирования атомарных и молекулярных пучков являются:термическое и дуговое испарение, испарение взрывом, ионное распыление, а также,получение ионных пучков из газовой фазы с последующей нейтрализацией.С помощью испарения можно формировать потоки атомов и молекул металлов, сплавов,полупроводников и диэлектриков с энергией E=kT.Ионное распыление материала имеет место при взаимодействии («бомбардировке»)ускоренных до 0,5 – 5 кэВ ионов с веществом, находящемся в твердом или жидкомсостоянии.

Сущность метода заключается в механическом выбивании атомов или молекулматериала мишени путем передачи им кинетической энергии ускоренных ионовинертного газа. Энергия выбитых частиц 3-5 эВ.Поток атомов или молекул, сформированный из газовой фазы, характеризуетсянебольшой энергией (Eг=kTг = 0,1 – 0,2 эВ, где Tг - температура газа, К) и гибкимрегулированием интенсивности Nг или Vг с помощью изменения давления газа pг вшироком диапазоне – от 1Е-5 до 1Е5 Па:Атомарные пучки с энергией 1 - 10 кэВ получают с помощью ионно-оптических систем,снабженных устройством компенсации заряда пучка ионов. Нейтрализацией ионногопучка можно сформировать высокоэнергетические потоки атомов или молекулТлеющий разрядТПР.Г.РвакТисп.