2-334-1399893934-15.-naznachenie-mass-separatora-v-ustanovke-ionnoy-implantacii-princip-deystviya (Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип)
Описание файла
PDF-файл из архива "Назначение масс-сепаратора в установке ионной имплантации, принцип", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "специальные предметы" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Масс-сепаратор применяется для отделения имплантируемых ионов от другихвеществ, присутствующих при формировании пучка в источнике ионов, т.е. для созданиямоноизотопного пучка ионов. Принцип его действия основан на различии радиуса Rотклонения ускоренных электрическим потенциалом U ионов с разной массой m изарядом zq в магнитном поле BR=1B2mU.zq.