Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)
Описание файла
PDF-файл из архива "Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессетермического окисления три потока молекул кислорода (рис. ).1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, накоторой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), азатем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F12.
Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO2 к кремнию Si поток F23. Поток молекул O2, вступающих в реакцию с Si на границе разделаSiO2 /Si - поток F3В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой,при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным изних.Поток F1 определяется разностью между …………………………………………………………………….…………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….2..