Циклы (Готовые циклограммы)
Описание файла
Файл "Циклы" внутри архива находится в следующих папках: Готовые циклограммы, 2. PDF-файл из архива "Готовые циклограммы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Открытие(закрытие) шлюзовой камеры заг зки Загрузка в шлюзовую камеру Напуск воздуха в шлюзовую камеру загрузки Откачка шлюзовой камеры загрузки ан Открытие(закрытие) шлюза т анспо тно-за зочной магист али Откачка рабочих камер ан Перемещение манипулятора загрузки Перемещение транспортно-загрузочной магист али Перемещение манипулятора 2 Операции подготовки подложек Операции молекулярно-лучевой эпитаксии Нанесение покрытий Перемещение манипулятора 7 Перемещение манипулятора 3 ткрытие закрытие шлюзовои камеры выгрузки Перемещение манипулятора выгрузки впуск воздуха в шлюзовую камеру выгрузки ан Откачка шлюзовой камеры выгрузки Выгрузка из шлюзовой камеры ф Т .