Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 9

°ÆÐÂÍÑÒÑÎÖÚÇÐËÇ ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ 500 ë600 C ÒÓËÄÑÆËÕ Í ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÞØ ×ÂÊTiSi2 [82], ÍÑÕÑÓÞÇ ÒÑÕÑÏ ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ Ä ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ [87] ÕÑÎßÍÑ ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ. ±ÑÔÍÑÎßÍÖÆÂÐÐÞÌ ×ÂÊÑÄÞÌ ÒÇÓÇØÑÆ ÍËÐÇÕËÚÇÔÍË ÔÒÓâÕÂÐ Ä ÏÂÎÞÌÑÃÝÈÏ, ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ TiSi2 ÄÑÔÒÓËËÏÚËÄÞ50¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£Í ØËÏËÚÇÔÍÑÌ ÂÕÂÍÇ ÒÑÎâÓÐÞØ ÏÑÎÇÍÖÎ ÄÑÆÞ [125, 126].³ËÕÖÂÙËâ ÒÑÆÑÃРÔËÕÖÂÙËË Ô ÄÑÎÑÍÐÂÏË ÍÓÇÏÐËâ,ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÓÂÊÖ ÒÑÔÎÇ ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐËâ ÏÑÅÖÕ ÆÑÔÕËÅÂÕßËÆÇÂÎßÐÑÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÓÂÔÕâÉÇÐËâ 24 ¤±Â. °ÆÐÂÍÑ ÒÓËàÍÔÒÑÊËÙËË ÄÑ ÄÎÂÉÐÑÏ ÄÑÊÆÖØÇ ËØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÃÞÔÕÓÑÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ, ÒÑÔÍÑÎßÍÖ ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÞÇÏËÍÓÑÕÓÇÜËÐÞ (ÔÏ.

[84], Ô. 172), Ë ÒÑÔÎÇ 24 Ú ÇÆÄÂÆÑÔÕËÅÂÇÕ 0,3 ¤±Â.9. ³ÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ9.1. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ð ÄÑÊÆÖØÇÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓǬÂÍ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ, ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞÇÕÓÑÌÐÞÇ Ë ÚÇÕÄÇÓÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÕÓÂÆÂáÕ ÑÕÆÇÅÓÂÆÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÆÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÑÌ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂÄÑÊÆÖØÇ. °ÆÐÂÍÑ ÃËÐÂÓÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ nc-TiN/a-Si3N4 Ë nc-TiN/a-BN ( ÕÂÍÉÇnc-TiN/a-BN/a-TiB2) ÔÑØÓÂÐâáÕ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÑÔÎÇ àÍÔÒÑÊËÙËË Ð ÄÑÊÆÖØÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÎÇÕ, ÍÂÍÒÑÍÂÊÂÐÑ Ð ÓËÔ. 13. ³ÎÇÆÖÇÕ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÆÎâ ÍÂÉÆÑÌÔËÔÕÇÏÞ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÆÑÎÅÑÅÑ ÒÇÓËÑÆ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎÂÔß ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÑ ÏÞ ËÏÇÇÏ ÕÑÎßÍÑÑÆËÐ ÒÓËÏÇÓ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÌ Ð ÓËÔ.

13. °ÆÐÂÍÑ, ÍÂÍ ÖÉÇÑÕÏÇÚÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-(nc-)TiSi 2ÆÇÅÓÂÆËÓÖÇÕ ÒÑÔÎÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÏÇÔâÙÇÄ àÍÔÒÑÊËÙËË ÐÂÄÑÊÆÖØÇ (ÓËÔ. 13Â).120nc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi214,4 ÂÕ.% Si´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â100Â806040nc-TiN/a-Si3N4200200400600800 1000 1200£ÓÇÏâ ÒÑÔÎÇ ÑÔÂÉÆÇÐËâ, ÔÖÕ601400ôÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â50403020nc-TiN/a-BNnc-TiN/a-BN/a-TiB2100200400600800£ÓÇÏâ ÒÑÔÎÇ ÑÔÂÉÆÇÐËâ, ÔÖÕ1000²ËÔ. 13. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß nc-TiN/a-Si3N4 Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 (a) Ë nc-TiN/a-BN/a-TiB2 (Ã) ÒÑÔÎÇàÍÔÒÑÊËÙËË Ä ÎÂÃÑÓÂÕÑÓÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ.£ÎÂÉÐÑÔÕß ÄÑÊÆÖØ ÐÇ ÍÑÐÕÓÑÎËÓÑÄÂÎÂÔß.[µ¶¯ 2009³ÖÊÖÍË Ë ÆÓ.

[127] ÔÑÑÃÜÂÎË Ñ ÓÂÊÎÑÉÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÅÓÂÐÇÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÍÖÃËÚÇÔÍÑÌ ÓÇÛÇÕÍÑÌ (¤¸¬)(Ti0,33Al0,67)N, ÍÑÕÑÓÞÇ âÄÎâáÕÔâ ÃÎËÊÍËÏË Í ÒÓÇÆÇÎÖÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË, Ä ¤¸¬-TiN Ë ÅÇÍÔÂÅÑÐÂÎßÐÖá ÔÕÓÖÍÕÖÓÖ h-AlN ÒÑÔÎÇ ÅÑÆ ØÓÂÐÇÐËâ ÐÂÄÑÊÆÖØÇ. ±ÑÍÓÞÕËâ ÐÂÐÑÔËÎË ÏÇÕÑÆÑÏ IBAD. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ËÏÇáÕ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËÇ, £ÇÒÓÇÍ Ë ÆÓ. (cÏ. ÔÔÞÎÍÖ Ä [19]) ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎË ÔÇÓËáÕÂÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÕËÒËÚÐÞÏ ÔÑÔÕÂÄÑÏ (Ti0,40Al0,60)N,ÍÑÕÑÓÞÌ ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÆÎâ ËÊÅÑÕÑÄÎÇÐËâ ÓÇÉÖÜÇÅÑËÐÔÕÓÖÏÇÐÕÂ. ¿ÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÎÖÚÂÎË Ô ÒÑÏÑÜßáÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÅÑ ËÔÒÂÓÇÐËâ РÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÌ ÖÔÕÂÐÑÄÍÇ ÔÑÄÏÇÔÕÐÑÅÑ ÒÓÑËÊÄÑÆÔÕÄ ÍÑÏÒÂÐËË PLATIT(ºÄÇÙËâ) Ë SHM (¹ÇÛÔÍÂâ ²ÇÔÒÖÃÎËÍÂ).

´ÂÍ ÍÂÍ ÂÄÕÑÓÞ[19] ÐÇ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÍÂÍÑÅÑ-ÎËÃÑ ÓÂÊÎÑÉÇÐËâ Ë ÓÂÊÏâÅÚÇÐËâ ÒÑÔÎÇ àÍÔÒÑÊËÙËË Ð ÄÑÊÆÖØÇ, ÑÐË ÒÓÑÄÇÎË ÔÇÓËá"ÖÔÍÑÓÇÐÐÞØ" ÕÇÔÕÑÄ, ÍÑÅÆ ÑÆРÚÂÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ØÓÂÐËÎÂÔß ÒÓË 300 C Ä ÔÓÇÆÇ ÂÊÑÕÂ,  ÆÓÖÅÂâ ì ÒÓË 70 ë 80 C ÐÂÄÑÊÆÖØÇ ÔÑ 100 %-ÐÑÌ ÄÎÂÉÐÑÔÕßá. ¥ÂÉÇ Ä àÕËØ ÖÔÎÑÄËâØÍÂÍËØ-ÎËÃÑ ÒÓËÊÐÂÍÑÄ ÓÂÊÎÑÉÇÐËâ ËÎË ÓÂÊÏâÅÚÇÐËâÒÑÔÎÇ ÆÇÄâÕËÚÂÔÑÄÑÌ ÄÞÆÇÓÉÍË ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÐÇ ÃÞÎÑ.¿ÕÑ ÆÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ ÄÂÉÐÞÌ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ, ÐÑ ÑÔÕÂÈÕÔâÄÑÒÓÑÔ, ÒÑÚÇÏÖ ÒÑÍÓÞÕËâ ³ÖÊÖÍË Ë ÆÓ. ÒÓÇÕÇÓÒÇÎËÓÂÊÎÑÉÇÐËÇ? °ÆÐËÏ ËÊ ÄÂÓËÂÐÕÑÄ ÃÞÎÑ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÄÞÔÑÍÑÇ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆ ì ÑÍÑÎÑ 10 ÂÕ.

%, ÑÍÑÕÑÓÑÏ ÔÑÑÃÜÂÎË àÕË ÂÄÕÑÓÞ, ËÎË ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍÑÇÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Al, ÃÎËÊÍÑÇ Í ÒÓÇÆÇÎÖ ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË [127].¢ÖÎÎ Ë ÆÓ. [128] ÔÑÑÃÜÂáÕ, ÚÕÑ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ËÊ ÂÎÏÂÊÑÒÑÆÑÃÐÑÅÑ ÖÅÎÇÓÑÆ (DLC), ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßáÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË, ÒÑÔÎÇÆÑÎÅÑÔÓÑÚÐÑÅÑ ØÓÂÐÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ, Ë ÒÓËÒËÔÞÄÂáÕ àÕÑ ÓÇÎÂÍÔÂÙËË ÄÞÔÑÍËØ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞØ ÔÉËÏÂáÜËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÒÓËÔÖÕÔÕÄÑÄÂÎË Ä ÆÂÐÐÞØÒÑÍÓÞÕËâØ. ·ÂÖ Ë ´ÇÓÓ [129] ÔÑÑÃÜÂáÕ Ñ ÕÄÈÓÆÑÔÕË80 ¤±Â ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÔÑÄÏÇÔÕÐÞÏÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ô ÏËÛÇÐÇÌ Ti Ë TiB2; ÔÑÔÕÂÄàÕËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ: 13 ÂÕ.

% B, 37 ÂÕ. % Ti Ë 50 ÂÕ. % N. ±ÑÔÎÇÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÆÐÇÌ ØÓÂÐÇÐËâ РÄÑÊÆÖØÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÆÑ 46 ¤±Â. £ ÒÑÍÓÞÕËâØ ZrN/Ni, ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÔÕßÍÑÕÑÓÞØ ÒÑâÄÎâÎÂÔß ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ,ÕÂÍÉÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß ÔÐËÉÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÔÎÇ ÅÑÆÑÄÑÅÑØÓÂÐÇÐËâ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ. µÏÇÐßÛÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÄÕÑÓâÎÑÔß ÄÑ ÄÔÇØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐÐÞØ ÔÇÏËÒÑÍÓÞÕËâØ ZrN/Ni, ÒÓË àÕÑÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Ni ÄÂÓßËÓÑÄÂÎÑÔß ÏÇÉÆÖ 0,46 Ë 4,1 ÂÕ. %. ¿Õ ÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÆÑÎÉРÒÓËÐËÏÂÕßÔâÄ ÓÂÔÚÇÕ ÒÓË ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐËË ÄÑÊÏÑÉÐÞØ ÑÃÎÂÔÕÇÌ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ÒÖÕÈÏ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍËÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË.9.2. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßË "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÐËÕÓËÆÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ (ÄÑÔÐÑÄÐÑÏ ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PVD) ÐÇÆÂÄÐÑ ÑÃÔÖÉÆÂÎÂÔß Ä ËÐÕÇÓÇÔÐÑÏ ÑÃÊÑÓÇ ·ÂÎÕÏÂР[91].

©ÆÇÔß ÉÇ ÏÞÔ×ÑÍÖÔËÓÖÇÏÔâ РÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË Ë ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÒÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎÞ ÔÕÑÐÍÑÊÇÓÐËÔÕÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ ÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÖáÕÔâ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÑÕÉËÅ 5 0;4Tm (Tm ì ÕÑÚÍ ÒÎÂÄÎÇÐËâ, ¬; àÕÂÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ ÐÂÊÞÄÂÇÕÔâ "ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇÏ °ÔÄÂÎßÆÂ"[130, 131]). ±ÑàÕÑÏÖ ÔÕÑÎß ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß, ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4РÓËÔ. 10Â, ÖÆËÄÎâÇÕ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇ °ÔÄÂÎßÆ´.

179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍË ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÇÕÔâ ËÊÃÞÕÑÚÐÞÏ (ÆÇÔÕÂÃËÎËÊËÓÖáÜËÏ) ÄÍÎÂÆÑÏ àÐÇÓÅËË ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË (ËÎË ÅÓÂÐËÙÞ ÊÈÓÇÐ) Ä ÑÃÜÖá ÔÄÑÃÑÆÐÖá àÐÇÓÅËá ¤ËÃÃÔÂ, Õ.Ç.ÃÑÎÇÇ ÍÓÖÒÐÞÇ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÞ ÄÞÓÂÔÕÂáÕ Ê ÔÚÈÕ ÃÑÎÇÇÏÇÎÍËØ. £ÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ë ÔÕÑÌÍÑÔÕßÍ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÃÞÎË ÑÕÏÇÚÇÐÞ ÖÉÇ Ä ÓÂÃÑÕÇ [68], ÂÒÑÊÉÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎËÔß ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ [88, 94].¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 14 ÄÞÃÑÓÑÚÐÑ ÆÂÐÞ ÒÓËÏÇÓÞ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ.

²ËÔÖÐÑÍ 14 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÑÆÐÑ ËÊ ÏÐÑÅËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕ 5 0;3 ÏÃÂÓ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 550 C [68, 88, 132].°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ àÕÑ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÑÕÉËÅÂÎË ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË"ÑÔÐÑÄÐÑÅÑ ÅÂÊÂ" 10 ÏÃÂÓ (90 % N2+10 % H2), ÕÑÅÆ ÍÂÍÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÇ Ð ÓËÔ. 14Ã, Ä, ÑÕÉËÅÂÎË ÒÓË ÆÂÄ-152010105500 600 700 800 900 1000 1100 1200´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C (30 ÏËÐ)´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â50Ã40632106055504540353025201510507420005301500600700 800 900 1000 1100 1200´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, CÄ03025201510TiNiBN2; [B]=4,1%500600 700 800 900 1000 1100´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ2030²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â25400´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â305²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏÂ500²ËÔ.

14. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß (ËÊÑØÓÑÐÐÞÌ ÑÕÉËÅ Ä ÚËÔÕÑÏN2 ËÎË ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÅÂÊÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ 30 ÏËÐ ÒÓË ÍÂÉÆÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ)(Â) ÆÎâ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD РÒÑÆÎÑÉÍÖSi Ô ÕÑÎÔÕÞÏ ÔÎÑÇÏ TiN РÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇΠ[68, 88, 132], (Ã) ÆÎânc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ Ð ÏÑÎËÃÆÇÐÑÄÖá ÒÑÆÎÑÉÍÖ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÃÎËÊÍËØ Í ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ [99] Ë (Ä) ÆÎânc-TiN/a-BN, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD РÍÓÇÏÐËÇÄÖá ÒÑÆÎÑÉÍÖ[142, 151].4*51ÎÇÐËË N2 1 ÂÕÏ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 14à ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËâ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÒÓËÃÎËÉÂáÜËØÔâ Í ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ (PN2 =PAr ˆ 1, Pt ˆ 2 10ÿ3 ÏÃÂÓ,Ts ˆ 550 C, ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ 1,8 ÐÏ Ôÿ1 ) [99].

°ÕÏÇÕËÏ,ÚÕÑ ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ËÊÓÂÃÑÕ [132 ë 135], ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PVD, ÒÓÇÄÞÛÂΠ50 ¤±Â.²ËÔÖÐÑÍ 14Ä ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÆÎâ nc-TiN/a-BN,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD Ä ÒÑØÑÉËØ ÖÔÎÑÄËâØ, ÚÕÑ Ë nc-TiN/aSi3N4 РÓËÔ. 14Â, ÅÆÇ ÄÏÇÔÕÑ SiH4 ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË BCl3[136]. ±ÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞÇ Ð ÓËÔ. 14Â, Ä, ÐÂÐÑÔËÎË ÐÂÒÑÆÎÑÉÍË ÍÓÇÏÐËâ (100), ÚÕÑÃÞ ËÊÃÇÉÂÕß ÆË××ÖÊËËÏÇÕÂÎÎÑÄ ËÊ ÔÕÂÎË, Mo Ë ÆÓÖÅËØ ÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÒÑÆÎÑÉÇÍ. ¿Õ ÆË××ÖÊËâ, ÍÑÕÑÓÂâ ÐÂÚËÐÂÇÕÔâ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇÄÞÛÇ 900 C, ÖÔËÎËÄÂÇÕ ÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËá Ë ÒÑàÕÑÏÖÖÏÇÐßÛÂÇÕ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ [133 ë 135].®ÑÉÐÑ ÄËÆÇÕß, ÚÕÑ Ë ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ, Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÕÂÃËÎßÐÞ ÆÑ 1100 C ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4Ë ÆÑ 1000 C ÆÎâ nÔ-TiN/a-BN.

¯ÇÏÐÑÅÑ ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-BN âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ BN ÑÔÕÂÕÑÚÐÞÏÍËÔÎÑÓÑÆÑÏ Ä ÔÓÇÆÇ N2 (ÚËÔÕÑÕ 99,999 %) Ë ÒÑÕÇÓË ÃÑÓÂÒÓË ÔÖÃÎËÏÂÙËË BOx , ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÓÂÐÇÇ Ä [134, 137]. £ÔÎÖÚÂÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÐÂËÄÞÔÛÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÏÔÑÔÕÂÄÇ, Õ.Ç.

ÍÑÅÆ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiN ÔÎÑÇÏBN ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÑÍÑÎÑ ÑÆÐÑÅÑ ÏÑÐÑÔÎÑâ [136, 137]. ¿ÕÑÑÕÎËÚÂÇÕÔâ ÑÕ ÔËÔÕÇÏÞ nc-TiN/a-Si3N4, Ä ÍÑÕÑÓÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÑÔÕÂÈÕÔâ ÄÞÔÑÍÑÌ, ÒÓË ÕÑÏ, ÚÕÑÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si3N4 ÒÓÇÄÞÛÂÇÕ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÇ. ²ÂÊÐËÙ ÄÒÑÄÇÆÇÐËË àÕËØ ÆÄÖØ ÔËÔÕÇÏ ÔÄâÊÂÐÂ Ô ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÌÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö Si3N4 ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔBN. ®Þ ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÇÏ ÍÂÍ ÒÓÇÆÇÎ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÆÎâÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4 ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ 1100 C (ÒÓÇÆÇÎßÐÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÐÂÔÞÜÇÐËâ ÂÊÑÕ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 1 ÂÕÏ [138]); àÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÄÞÛÇ, ÚÇÏ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÄÃÎËÊË 0;4Tm ,ÍÑÅÆ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÑÊÓÇÄÂÐËÇ °ÔÄÂÎßÆÂ.

°ÕÔÖÕÔÕÄËÇÔÑÊÓÇÄÂÐËâ °ÔÄÂÎßÆ ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÎËÃÑÏÇÆÎÇÐÐÑÌ ÆË××ÖÊËË ÒÓË ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÎËÃÑÑÕÔÖÕÔÕÄËâ ÓÇÂÍÙËË Ð ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇÎÂ, Õ.Ç. ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË ÆÄÖØ ×ÂÊ ÒÓË ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ [83]. £ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐËØ ÔÕÂÕßâØ ÐËÊÍËÌ ÒÓÇÆÇÎ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÂÆË××ÖÊËË (ÍÑÕÑÓÞÌ ÐÇÑÃØÑÆËÏ, ÍÑÅÆ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÔÑÊÓÇÄÂÐËâ °ÔÄÂÎßÆÂ, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ ÒÓË 1000 C, ÃÞÎÑ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÌ ÔÍÑÓÑÔÕË ÆË××ÖÊËË) ÑÒÓÇÆÇÎÈÐÍÂÍ D 4 10ÿ20 ÔÏ2 Ôÿ1 (ÔÏ. [132], Ô.

145). £ ÓÂÃÑÕÇ [132]ÕÂÍÉÇ ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ àÕÑ ÊÐÂÚÇÐËÇ Ð ÒÑÓâÆÑÍ ÄÇÎËÚËÐÞÐËÉÇ, ÚÇÏ ÍÂÍÂâ-ÕÑ ÓÂÊÖÏÐÂâ ÑÉËÆÂÇÏÂâ ÄÇÎËÚËР(ÔÏ.ÆÎâ ÔÓÂÄÐÇÐËâ [91]). ±ÑàÕÑÏÖ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß àÕËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÐÇ ÏÑÅΠâÄÎâÕßÔâÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÏÇÆÎÇÐÐÑÌ ÆË××ÖÊËË. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÑРÑÃÖÔÎÑÄÎÇРÑÕÔÖÕÔÕÄËÇÏ ÓÇÂÍÙËË Ð ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇΠ[130],Õ.Ç.

ÔËÎßÐÑÌ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕßá ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊTiN Ë Si3N4. ³ËÎßÐÂâ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÔÑÄÏÇÔÕËÏ ÔÑÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ÒÓËÓÑÆÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË.³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, Õ.Ç. ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÔÎÇÑÕÉËÅÂ, ÑÒËÔÞÄÂÎË ·ÑÎÖÃÂÓ Ë ÆÓ. [100] ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌnc-(Al1ÿx Tix †N/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ð ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÌÑÃÓÂÊÇÙ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÞÏ ËÔÒÂÓÇÐËÇÏ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕ 2 10ÿ3 ÏÃÂÓ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 550 C. ²ËÔÖÐÑÍ 15ÃÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÒÓËÏÇÓ ÕÂÍÑÅÑ ÒÑÄÇÆÇÐËâ ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ £ÇÒÓÇÍÂÄ ÔÑÄÏÇÔÕÐÑÌ ÓÂÃÑÕÇ Ô ÅÓÖÒÒÑÌ ·ÑÎÖÃÂÓ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÒÓË ÓÂÊÎËÚ-52¡.¥.