Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 8
Описание файла
PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 8 страницы из PDF
´ÂÍ ÍÂÍÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ ÑÕ ÏËÛÇÐË Si ÏÑÉÇÕ ÄÞÊÞÄÂÕß ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËÇ ÒÓË ÄÞÔÑÍÑÌ ÖÆÇÎßÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÕÑ Ä ÒÇÓÄÞØ ÔÇÓËâØàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ Ti ÓÂÔÒÞÎâÎË,  Si ÄÄÑÆËÎË Ä ÄËÆÇ ÔÏÇÔËSi3N4/H2. £Ñ ÄÕÑÓÑÌ ÔÇÓËË ÄÄÑÆËÎË ÕÑÎßÍÑ Si3N4 (ÔÏ.ÕÂÃÎ. 2). ³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ÔÑÔÕÂÄÎâÎÑ10 Ë 4 2 ÂÕ. % Ä ÑÃÇËØ ÔÇÓËâØ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ. ³ÓÂÄÐËÄÂâÊÐÂÚÇÐËâ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÆÑÔÕËÅÐÖÕÞÇ Ä àÕËØÔÇÓËâØ, Ô ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË ÓÂÃÑÕÞ [19], ÏÑÉÐÑ ÑÃÐÂÓÖÉËÕß,ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÄÑÆÑÓÑÆ ÑÍÑÎÑ 10 ÂÕ. %, ÄÇÓÑâÕÐÑ,ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍÑÇ, ÒÑÔÍÑÎßÍÖ ÐËÍÂÍÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si ÐÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß.±ÓË ÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÄÑÆÑÓÑÆ (ÄÕÑÓÂâ ÔÇÓËâ)ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÆÎâ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâSi, ÑÆËÐÂÍÑÄÑÅÑ Ô ÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏË ÏÇÕÑÆÑÏPCVD, ÑÆÐÂÍÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑ ÆÑÔÕËÉËÏÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕßÑÔÕÂÎÂÔß ÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÑÌ ÄÇÎËÚËÐÑÌ Ä 30 ¤±Â ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÒÑÄÞÛÇÐÐÑÅÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ.´ÓÇÕßâ Ë ÚÇÕÄÈÓÕÂâ ÔÇÓËË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂ, ÅÆÇ Si ÄÄÑÆËÎË ÒÓË ÒÑÏÑÜË ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ, âÔÐÑ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑËÔÒÑÎßÊÖâ ÔÏÇÔß Ar/N2 Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 550 C,Ä [99] ÒÑÎÖÚËÎË ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÑÍÑÎÑ0,4 ÂÕ.
%, ÚÕÑ ÑÅÓÂÐËÚËÄÂÎÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß.£ÇÓÑâÕÐÑÌ ÒÓËÚËÐÑÌ âÄÎâÇÕÔâ ÑÔÄÑÃÑÉÆÇÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ(Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÄÑÆÞ) ÔÑ ÔÕÇÐÑÍ ÓÇÂÍÕÑÓÂ, ÒÑÆÄÇÓÅÂáÜËØÔâÄÑÊÆÇÌÔÕÄËá ÒÎÂÊÏÞ, àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÌ ÒÑÕÇÐÙËÂÎ ÍÑÕÑÓÑÌÄÔÇÅÆ ÐÇ ÏÇÐÇÇ 10 ë 20 £ Ë ÒÑÎÑÉËÕÇÎÇÐ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÎáÃÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÍÑÕÑÓÂâ ÐÂØÑÆËÕÔâ Ä ÍÑÐÕÂÍÕÇ ÔÒÎÂÊÏÑÌ. £ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÎßÛÇÌ ÏÂÔÔÞ ÂÓÅÑÐ (ÒÓË ÑÆËÐÂÍÑÄÑÌ ÍËÐÇÕËÚÇÔÍÑÌ àÐÇÓÅËË, ÊÂÆÂÐÐÑÌ àÕËÏ ÔÏÇÜÇÐËÇÏ)ÃÑÎÇÇ à××ÇÍÕËÄÇÐ ÒÓË ÑÔÄÑÃÑÉÆÇÐËË ÒÓËÏÇÔÇÌ ÒÓËÓÂÔÒÞÎÇÐËË, ÚÇÏ ÂÊÑÕ (ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ ÔÏ. [117, 118]).
±ÑàÕËÏ ÒÓËÚËÐÂÏ ±ÓÑØÂÊÍÂ Ë ÆÓ. [133] ÔÍÑÐÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÎËÔßРËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËË ÒÓÇÆÇÎÑÄ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÆÑÔÕËÉËÏÞØ ÒÓËÓÇÂÍÕËÄÐÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËË, ÍÑÅÆ ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÕÑÎßÍÑ ÂÊÑÕ. °ÚÇÐß ÄÞÔÑÍÂâ ÖÆÇÎßÐÂâ ÏÑÜÐÑÔÕßРÏËÛÇÐË,  ÕÂÍÉÇ ÃÑÎßÛÑÇ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇ ÒÎÑÜÂÆÇÌÏËÛÇÐË Ë ÒÑÆÎÑÉÍË ÒÑÊÄÑÎËÎË ÂÄÕÑÓÂÏ [99] ÆÑÔÕËÅÐÖÕßÄÞÔÑÍËØ ÔÍÑÓÑÔÕÇÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÒÑÓâÆÍ 1,6 ë 1,8 ÐÏ Ôÿ1 , ËÐÂÐÑÔËÕß ÑÚÇÐß ÕÑÎÔÕÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ (10 ë 35 ÏÍÏ) ÒÓËÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÚËÔÕÑÕÇ.²ËÔÖÐÑÍ 12 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË,ÆÑÔÕËÅÐÖÕÑÇ Ä ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÔÇÓËâØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞØ Ä ÕÂÃÎ. 2, ÔÕÓÑÅÑ ÔÎÇÆÖÇÕ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÌ ÓÂÐÇÇ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßáPCVD (ÓËÔ.
10Â). ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÑÍÑÎÑ 45 ¤±ÂâÄÐÑ ÑÅÓÂÐËÚÇРÒÓËÏÇÔâÏË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ. ±ÑÔÎÇ ÊÂÄÇÓÛÇÐËâ àÕÑÌ ÓÂÃÑÕÞ ÂÄÕÑÓÞ [19] ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎË à××ÇÍÕ ÆÇÅÂÊÂ-´ÂÃÎËÙ 2. µÔÎÑÄËâ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎËÔß ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ.
µÆÇÎßÐÂâÏÑÜÐÑÔÕß Ð ÏËÛÇÐË 15 ë 18 £Õ ÔÏÿ2 , ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ 1,6 ë 1,8 ÐÏ Ôÿ1¯ÑÏÇÓàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂTdep , C¥ÂÄÎÇÐËÇ Ar,ÏÃÂÓ1450 ë 6500,001 ë 0,010,010 ë 0,0022450ì0,0235500,0014630ì¥ÂÄÎÇÐËÇ N2, ¥ÂÄÎÇÐËÇ SiH4, ¥ÂÄÎÇÐËÇ H2,ÏÃÂÓÏÃÂÓÏÃÂÓHmax ,¤±Â[Si],ÂÕ. %[O],ÂÕ. %[H],ÂÕ. %0 ë 0,01730¯Ç ÊÂÄËÔËÕ0,4100 ë 0,002ì306ë72,52,50,001²ÂÔÒÞÎÇÐËÇ Siì386ë95 0,40,30,002²ÂÔÒÞÎÇÐËÇ Siì456ë90,20,1´.
179, å 1]´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â140³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«nc-TiN/a-Si3N4nc-(a)-TiSi2°ÃÝÇÏÐÞÌÂÎÏÂÊ120Â1008060´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â401201101009080706050403020¯ÂÐÑÂÎÏÂÊÕÑÎÜËÐÑÌ 1 ÏÍÏ3040506010,29,6804[Si]<10 ÂÕ.%[Si]>10 ÂÕ.%9,811709,4 8,86,97,4 4,74 5,18,7104,313 4,3 5,44100 110L, ϯÃ6,98,3906,84,98,20,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 2,2nc-TiN(TiSi2); ÏÑÐÑÔÎÑÌÐÑÇ ÒÑÍÓÞÕËÇ Si3N4²ËÔ. 12.
(Â) ±ÓËÏÇÓ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÐÇ ÊÂÄËÔâÜÇÌ ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË ÕÄÈÓÆÑÔÕËÄÕÑÓÑÅÑ, ÔÂÏÑÅÑ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ËÊÑÃÓÂÉÇÐÐÑÅÑ Ð ÓËÔ. 9Ä, ÄÔÓÂÄÐÇÐËË Ô ÑÃÝÈÏÐÞÏ ÂÎÏÂÊÑÏ Ë ÑÆÐÑ×ÂÊÐÞÏ ÐÂÐÑÂÎÏÂÊÐÞÏÒÑÍÓÞÕËÇÏ. ±ÓË ÐÂÅÓÖÊÍÇ 100 ϯ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛËÎÂÔß ÒÑÕÑÏÖ,ÚÕÑ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÒÓÇÄÞÛÂΠ10 % ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ 3,5 ÏÍÏ.©ÐÂÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑÄÇÓâÎÑÔß ÕÂÍÉÇ ÍÂÎËÃÓÑÄÂÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÑϳ¿® [81]. (Ã) ´ÄÈÓÆÑÔÕß ÕÓÑÌÐÞØ Ë ÚÇÕÄÇÓÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËâ ncTiN ËÎË ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ nc-TiSi2 Ô Si3N4. ¸Ë×ÓÞ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕÓÂÊÏÇÓÞ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.ÙËË Ë ÒÓÇÆÄÂÓËÕÇÎßÐÑÌ ÑÚËÔÕÍË ÂÒÒÂÓÂÕÑÄ ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâÒÑÍÓÞÕËÌ, ÚÕÑ ÒÑÏÑÅÎÑ Ä ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÖÏÇÐßÛËÕß ×ÑÐÑÄÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ Ð ÒÑÆÎÑÉÍË ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑÄÇÎËÚËÐÞ ÏÇÐÇÇ 10ÿ6 ÏÃÂÓ. ¬ÓÇÔÕËÍÂÏË Ð ÓËÔ.
12ÂÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆ ÖÏÇÐßÛËÎÑÔß ÆÑ 4 0;2 ÂÕ. %; àÕÑ ÒÓËÄÇÎÑ Í ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 5 50 ¤±Â.¿ÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ âÔÐÑ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÆÑÔÕËÉËÏÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ nc-TiN/aSi3N4, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÂÊÑÕÂ( 5 0;001 ÏÃÂÓ) Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 550 ë 650 C,ÍÑÐÕÓÑÎËÓÖÇÕÔâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ.¨ÇÎÂÕÇÎßÐÑ, ÍÑÐÇÚÐÑ, ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ, ÐÑ ÇÅÑËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÑÅÓÂÐËÚËÕ ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ.8.
³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâÔ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá 80 ë 100 ¤±Â¥Ñ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÄÓÇÏÇÐË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÔÕß 70 ë 80 ¤±ÂÆÑÔÕËÅÂÎÂÔß ÕÑÎßÍÑ Ä ÕÓÑÌÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØnc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-TiSi 2 [78, 80 ë 82] Ë 100 ¤±Â ì ÄÚÇÕÞÓÈØÔÎÑÌÐÞØ nc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-TiSi 2 /nc-TiSi 2 [80,81], ÍÑÅÆ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆ ÃÞÎÑ ÏÇÐÇÇ 0,07 ÂÕ. %(ÔÏ. [82], Ô. 155).
±ÓÇÆÒÑÎÑÉÇÐËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ, ÚÕÑ ÕÂÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÃÞΠËÊÏÇÓÇРÐÇÒÓÂÄËÎßÐÑ[119], ÃÞÎÑ ËÔÍÎáÚÇÐÑ Ð ÑÔÐÑÄÂÐËË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄÓÂÃÑÕÞ [120]. ²ÂÐÇÇ àÕË ËÊÏÇÓÇÐËâ ÔÓÂÄÐËÄÂÎËÔß ÕÂÍÉÇ4 µ¶¯, Õ. 179, å 149Ô ÆÂÐÐÞÏË ÆÎâ ÏÑÐÑÍÓËÔÕÂÎΠÑÃÝÈÏÐÑÅÑ ÂÎÏÂÊÂ, ÍÂÍÒÑÍÂÊÂÐÑ Ð ÓËÔ. 12Â. ©ÂÏÇÕÐÑ, ÚÕÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ËÐÄÂÓËÂÐÕÐÖá Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß 100 ¤±Â, ÍÑÕÑÓÂâ ÔÎÇÅÍ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓËÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ 100 ϯ, ÍÑÅÆ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ÑÍÑÎÑ 17 % ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËâ(3,5 ÏÍÏ).
´ÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÏÒÑÊËÕ 91 ¤±Â, ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâÒÓË ÕÂÍÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ, ÒÓÑÄÇÓâÎÂÔß ÍÂÍ ËÊÏÇÓÇÐËÇÏÒÎÑÜÂÆË ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÏËÍÓÑÔÍÑÒÂ Ô ÍÂÎËÃÓÑÄÂÐÐÞÏ ÔÍÂÐËÓÑÄÂÐËÇÏ, ÕÂÍ Ë ÓÂÔÚÈÕÑÏ [121]. £ËÆÐÑ, ÚÕÑËÐÄÂÓËÂÐÕÐÂâ Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØÒÑÍÓÞÕËÌ ØÑÓÑÛÑ ÔÑÅÎÂÔÖÇÕÔâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä ÑÃÝÈÏÇÂÎÏÂÊÂ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÙÇÎÑÅÑ ËÐÕÇÓÄÂΠ30 ë 70 ϯ Ë ÒÓËÐËÊÍÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ Ô ÑÆÐÑ×ÂÊÐÞÏ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏÂÎÏÂÊÑÏ.³ÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÃÞΠÒÓÑÄÇÓÇР¡ÓÅÑÐÑÏ Ë £ÇÒÓÇÍÑÏ [123, 122] Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏÖÐËÄÇÓÔÂÎßÐÑÅÑ ÑÕÐÑÛÇÐËâ àÐÇÓÅËË ÔÄâÊË (UBER ìuniversal binding energy relation, [124, 125]) Ë ÂÐÂÎËʤÇÓÙËÂРÆÎâ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÏÇÕÑÆÑÏ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ [2,107, 108].
´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÒÑ ÏÐÇÐËá £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.,ÄÞÔÑÍËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÃÞÎË ËÊÏÇÓÇÐÞ ÒÓÂÄËÎßÐÑ.¬ÂÍ ÔÎÇÆÖÇÕ ËÊ [80], ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÇ ÐÂÐÇÔÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÕÓÇÃÖÇÕ ÐÇ ÕÑÎßÍÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÚËÔÕÑÕÞ, ÐÑ Ë ÒÓÂÄËÎßÐÑÅÑ ÔÑÔÕÂÄ ÍÓÇÏÐËÌÔÑÆÇÓÉÂÜËØ ×ÂÊ. ¬ÂÍ Ë Ä ÔËÔÕÇÏÂØËÊ ÆÓÖÅËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÕÑÅÆÂ, ÍÑÅÆ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiNÒÑÍÓÞÕ ØÑÕâ ÃÞ ÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si 3N4. ·ÑÕâ ÆÑÔÕËÉÇÐËÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ àÕËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÊÂÕÓÖÆÐÇÐÑ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÃËÐÂÓÐÞÏË, ÕÄÈÓÆÑÔÕß5 80 ¤±Â ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÎÂÔß ÃÑÎÇÇ ÚÇÏ Ä 15 ÒÑÍÓÞÕËâØ, ÂÄ ÛÇÔÕË ÆÑÔÕËÅÐÖÕ ÄÇÎËÚËР5 100 ¤±Â [120].±ÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÓËÒËÔÞÄÂÎÂÔßÒÓËÔÖÕÔÕÄËá ×ÂÊÞ TiSi2.
£ÄËÆÖ ÔËÎßÐÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕËÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ËÐÕÇÓÄÂÎÇ ÏÇÐÇÇ0,1 ÂÕ. % ÄÑÊÐËÍÂÇÕ ÄÑÒÓÑÔ, ËÅÓÂÇÕ ÎË TiSi2 ÓÑÎß ÎÑÄÖÛÇÍÆÎâ ÆÂÐÐÞØ ÒÓËÏÇÔÇÌ Ë ÒÓÇÒâÕÔÕÄËâ Í ËØ ÐÂÍÑÒÎÇÐËá ÐÂÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇΠTiN/Si3N4. ¿ÕÑ ÐÖÉÆÂÇÕÔâ Ä ÃÑÎÇÇÆÇÕÂÎßÐÑÏ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËË.¥ÂÐÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ËÐÕÇÓÇÔ ÒÑÕÑÏÖ, ÚÕÑÑÐË ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄÔ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÌ, ÚÇÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÂÎÏÂÊÂ. ³ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍÑÌ ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÔÑÆÇÓÉÂÜËÇ ×ÂÊÖTiSi2, ÔÕÓÂÆÂáÕ ÑÕ ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË àÕÑÌ ×ÂÊÞ ÒÑÔÎÇÆÑÎÅÑÔÓÑÚÐÑÌ àÍÔÒÑÊËÙËË Ð ÄÑÊÆÖØÇ (ÔÏ. ÓÂÊÆÇÎ 7.1).µÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ Ë ËÆÓ. [78] ÒÑÔÎÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÏÇÔâÙÇÄ àÍÔÒÑÊËÙËË, ÒÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑ ÒÓËÒËÔÞÄÂÎË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏÖ ÔÑÆÇÓÉÂÐËá ØÎÑÓÂ.
°ÆÐÂÍÑ Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ ÂÄÕÑÓÑÄ [19] ÒÑÆÑÃÐÑÇ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØnc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 ÒÑÔÎÇ 6 ë 8-ÏÇÔâÚÐÑÅÑ ÒÇÓËÑÆÂÖÍÂÊÞÄÂÇÕ Ð ÕÑ, ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Ä ÐËØ ØÎÑÓ ÃÞÎÑÐËÊÍËÏ (ÕËÒËÚÐÑ < 0;5 ÂÕ. %). ±ÑàÕÑÏÖ àÕÖ ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÒÓËÒËÔÂÎË ÐÇÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÕËÕÂÐÂÕ ÍÓÇÏÐËâ,ÍÑÕÑÓÞÌ ×ÑÓÏËÓÖÇÕ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ×ÂÊ Ô ÓÂÊÎËÚÐÑÌ ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÇÌ: Ti5Si3, TiSi Ë TiSi2, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÒÑÔÎÇÆÐââÆÑÎÉРÃÞÕß ÐÂËÃÑÎÇÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ [125, 126].