Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 7

³ÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑIJÇÛÂáÜËÏ ×ÂÍÕÑÓÑÏ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÖÚËÕÞÄÂÕßÆÂÉÇ Ä ÃËÐÂÓÐÑÌ ÔËÔÕÇÏÇ, âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßáÕÓÇÃÖÇÕ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ØËÏËÚÇÔÍÑÌ ÂÍÕËÄÐÑÔÕËàÕÑÌ ÔËÔÕÇÏÞ ÆÎâ ÑÃÇÔÒÇÚÇÐËâ ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍÑÌ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÞ, ÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖáÜÇÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË.¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, ÕÓÇÃÖÇÕÔâ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ(500 ë 600 C) ÆÎâ ÖÔÍÑÓÇÐËâ ÆË××ÖÊËË, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÌ ÆÎâÊÂÄÇÓÛÇÐËâ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÄÑ ÄÓÇÏâ ÓÑÔÕÂ.

¦ÔÎË àÕË ÖÔÎÑÄËâÐÇ ÔÑÃÎáÆÂáÕÔâ, ÕÑ Ä ÃËÐÂÓÐÞØ ÔËÔÕÇÏÂØ ÄÞÔÑÍÂâÕÄÈÓÆÑÔÕß (50 ë 60 ¤±Â) ÕÓÖÆÐÑ ÆÑÔÕËÉËÏÂ, ÏÑÓ×ÑÎÑÅËâÑÔÕÂÈÕÔâ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÑÌ, Ä ÒÑÍÓÞÕËË ÏÑÉÇÕ ÒÓÑâÄÎâÕßÔâÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ. £ ÔÕÂÕßâØ ÓÂÊÎËÚÐÞØÅÓÖÒÒ ÂÄÕÑÓÑÄ ÒÑâÄÎâáÕÔâ ÔÑÑÃÜÇÐËâ Ñ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓË ÓÂÊÐÑÏ ÑÃÜÇÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÍÓÇÏÐËâ ËÊ-ÊÂÓÂÊÎËÚÐÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ Ë ×ÑÓÏ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, Ä ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÔÕÂÕÇÌ ÒÑ Ti ë Si ë N ËÒÑÆÑÃÐÞÏ ÒÑÍÓÞÕËâÏ ÐÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñà ÑÔÐÑÄÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë ÔÄÑÌÔÕÄÂØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. ±ÑàÕÑÏÖ ÕÓÖÆÐÑÄÞâÄËÕß ÒÓËÚËÐÞ ÑÕÔÖÕÔÕÄËâ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÆÂÐÐÞØ Ä àÕËØ ÓÂÃÑÕÂØ [111].

¹ÕÑÃÞ ÔÑÓËÇÐÕËÓÑÄÂÕß ÚËÕÂÕÇÎâ, ÒÑ ÍÓÂÌÐÇÌ ÏÇÓÇ, Ä ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ Ë ÒÑÐâÕß, Ä ÚÈÏ ÉÇ ÊÂÍÎáÚÂáÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÞÇÒÓËÚËÐÞ ÒÎÑØÑÌ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ, ÑÅÓÂÐËÚËÏ ÐÂÛÖ ÆËÔÍÖÔÔËá ÐÇÔÍÑÎßÍËÏË ÕËÒËÚÐÞÏË ÒÓËÏÇÓÂÏË.¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 11 ÒÑÍÂÊÂРÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØÏÇÕÑÆÑÏ PCVD (ÓËÔ. 11Â) Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ(ÓËÔ. 11Ã) (ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ [111]). ¬ÂÍ ÃÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä ÃÑÎÇÇÒÑÊÆÐÇÌ ÓÂÃÑÕÇ [50], ÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ­Ë Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË [78], âÄÎâÎËÔß ÕÓÑÌÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏËnc-TiN/a-Si3N4/a-TiSi2, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÑÔÕÂÄÎâÎÂÑÕ 80 ÆÑ 5 100 ¤±Â [81, 82]. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ.

11, ÊÂËÔÍÎáÚÇÐËÇÏ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ £ÑÊÂ Ë ÆÓ. [97], ÕÄÈÓÆÑÔÕßÆÓÖÅËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÑÔÕËÅÂΠÒÑÚÕË 40 ¤±Â,  ÏÂÍÔËÏÖÏÞÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑâÄÎâÎËÔß ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÑÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË Si.®ÇÐÅ Ë ÆÓ. [103] ÄÑÑÃÜÇ ÐÇ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË Ä ÒÑÍÓÞÕËâØÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ¢ÑÎÇÇ ÕÑÅÑ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÑÕ 32 ¤±Â ÆÎâ ÚËÔÕÑÅÑ TiN (ÍÑÓÓÇÍÕÐÑÇÊÐÂÚÇÐËÇ ÆÎâ TiN ÑÍÑÎÑ 21 ¤±Â [112]) ÆÑ 21 ¤±Â ÆÎâSi3N4 (ÍÑÓÓÇÍÕÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ ÑÍÑÎÑ 17 ¤±Â [112]). ³ ÆÓÖÅÑÌÔÕÑÓÑÐÞ, ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌnc-MeN/a-Si3N4 (Me ˆ Ti, W, V) ÑÚÇÐß ØÑÓÑÛÂâ (ÓËÔ.

11Â).´. 179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«70Li et al. 1992ÂLee et al. 2002Veprek et al.nc-Mex N/a-Si3N4; Me = Ti, W, V´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â605040302010Si3N40102030³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %4070Diserens 1999,Patschaider 2003Kim 2002Meng 2002Vaz 2002´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â60504050Ã3020101002030³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %405060Ä´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â504030¯ËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËdzÕÂÐÆÂÓÕÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ2010024681012³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si, ÂÕ. %141618²ËÔ. 11.

´ÄÈÓÆÑÔÕß (Â) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [19, 78, 105], Ë (Ã) ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ [102, 103, 106, 141], Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÓÇÏÐËâ (ÔÏ. ÕÂÍÉÇ ÕÂÃÎ. 2). (Ä) ±ÑÔÎÇ ÖÎÖÚÛÇÐÐÑÌÒÓÇÆÄÂÓËÕÇÎßÐÑÌ ÑÚËÔÕÍË ÂÒÒÂÓÂÕ ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (ÑÃÑÊÐÂÚÇÐÑ ÍÓÇÔÕËÍÂÏË).·ÑÕÇÎÑÔß ÃÞ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD, ÃÞÎË ÐÂÐÇÔÇÐÞ Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏÕÎÇáÜÇÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÒÓË ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËËÂÊÑÕ ( 5 0;5 ÏÃÂÓ) Ë ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ (550 C) ìËÏÇÐÐÑ àÕË ÖÔÎÑÄËâ, ÍÂÍ ÑÃÝâÔÐâáÕ ÂÄÕÑÓÞ [68], ÕÓÇÃÖáÕÔâ ÆÎâ ÆÑÔÕËÉÇÐËâ ÒÑÄÕÑÓâÇÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÎÈÐÑÍ Ë ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ.±ÑÍÓÞÕËâ, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÑÃÜÂÎË ­Ë Ë ÆÓ.

[105], ÃÞÎËÐÂÐÇÔÇÐÞ Ð ÖÔÕÂÐÑÄÍÂØ, ÒÑÆÑÃÐÞØ ÑÒËÔÂÐÐÞÏ Ä ÆÓÖÅËØÓÂÃÑÕÂØ, ÐÑ ÒÓË ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÑÌ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÕÑÍ ÓÂÊÓâÆÂ,ÚÕÑ ÑÃÝâÔÐâÇÕ ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÐÇÃÑÎßÛÑÌ ×ÓÂÍÙËË ×ÂÊÞ TiSi2.¡ÄÕÑÓÞ [105] ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑ-ÔÒÂÓÇÐÐÞÌÓÂÊÓâÆ, ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏ ËØ ÓÂÃÑÕÞ Ë àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÏ [19] Ô ÕÎÇáÜËÏË ÓÂÊÓâÆÂÏË, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎÑ ÔÂÏÖá47ÔÎÂÃÖá ÒÎÂÊÏÖ ËÊ ÕÇØ, ÚÕÑ ÒÑÍÂÊÂÐÞ Ð ÓËÔ. 11Â.±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÒÓË ÆÑÔÕËÉÇÐËË ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÐÇÑÃØÑÆËÏÑ, ÚÕÑÃÞ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÞ TiN ÃÞÎË ÒÑÍÓÞÕÞØÑÕâ ÃÞ ÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si3N4, ÏÂÍÔËÏÖÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÒÓË ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÏ ÑÃÜÇÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË Si,ÍÑÅÆÂ, ÍÂÍ ÑÒËÔÂÐÑ Ä [105, 152], Ä ÆÑÒÑÎÐÇÐËÇ Í Si3N4 ÄÒÑÍÓÞÕËË ÒÓËÔÖÕÔÕÄÖÇÕ ÕÂÍÉÇ TiSi2.±ÎÑØÂâ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÂØÓÂÊÎËÚÐÞØ ÂÄÕÑÓÑÄ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÎËÃÑ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÇ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ, ÎËÃÑ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÇ ËÔÒÂÓÇÐËÇ,ÎËÃÑ ËØ ÍÑÏÃËÐÂÙËá (РÓËÔ.

11Ä ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÕÑÎßÍÑÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÓËÏÇÓÑÄ), ÃÞΠÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÏ ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ, ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ,ÒÓËÔÖÕÔÕÄËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ ËÎË ÍÑÏÃËÐÂÙËË àÕËØ à××ÇÍÕÑÄ.¯ÂÒÓËÏÇÓ ®ÇÐÅ Ë ÆÓ. [103] ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÇÒÂÓÙËÂÎßÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕ (0,00015 ÏÃÂÓ) Ë ÐËÊÍÖáÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (4 250 C). ±ÑÔÎÇ ÕÑÅÑ, ÍÂÍ£ÇÒÓÇÍ Ë ÆÓ. [108] ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ÒÑÄÞÔËÕß ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ËÆÂÄÎÇÐËÇ, ÅÓÖÒÒÇ ®ÇÐÅ ÖÆÂÎÑÔß ÖÎÖÚÛËÕß ÐÂÐÑÕÄÈÓÆÑÔÕß ÇÅÑ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÑ 38 ¤±Â [104]. °ÔÐÑÄÐÞÏË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË ÔÕÂÕßË [104] âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑ "...

ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÑÕ 250 ÆÑ 700 C ÖÏÇÐßÛËÎÑÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß Ti Ä ÏÂÕÓËÙÇ a-SiN". ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, àÕËËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ÒÑÆÕÄÇÓÆËÎË ÕÑ, ÚÕÑ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [68] ËÒÑÊÆÐÇÇ Ä ÆÓÖÅËØ ÔÕÂÕßâØ. ´ÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ Ä ÓÂÃÑÕÇ [103] ÄÔÈÇÜÈ ÑÔÕÂÈÕÔâ ÏÐÑÅÑ ÑÕÍÓÞÕÞØ ÄÑÒÓÑÔÑÄ. ¬ÂÍ ËÊÏÇÐâÇÕÔâÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÑÕ0 ÆÑ 10 ÂÕ. %, Ñ ÚÈÏ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [20]? ±ÑÚÇÏÖ Ð ÔÂÏÑÏÆÇÎÇ àÕËÏ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎâÏ ÕÂÍ ÐÇÑÃØÑÆËÏ ÄÞÔÑÍÂâÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÒÑÓâÆÍ 700 C, ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÆÓÖÅËÇ [105, 106]ÐÂÛÎË ÑÒÕËÏÂÎßÐÖá ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 500 ë600 C? ¯ÂÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÆÈÉÐÞ ËÊÏÇÓÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÍÑÅÆÂÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ4 65 ÐÏ, Õ.Ç. ÐÂØÑÆËÕÔâ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ËÐÕÇÓÄÂÎÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÑÉËÆÂáÕÔâ ÔÇÓßÈÊÐÞÇ à××ÇÍÕÞ, ÔÄâÊÂÐÐÞÇ Ô ÓÂÊÏÇÓÂÏË ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ [107 ë 114]? ±ÑÚÇÏÖ ÕÑÎÜËÐÂÒÑÍÓÞÕËÌ ÎÇÉËÕ "...

Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 160 ë 410 ÐÏ"? ¯ÂÔÍÑÎßÍÑÐËÊÍÑÌ ÃÞΠÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë ÐÂÔÍÑÎßÍÑ ÄÞÔÑÍËÏÃÞÎÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ, Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ?°ÚÇÐß ÏÂÎÇÐßÍÂâ ÕÑÎÜËР(4 0;41 ÏÍÏ), ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ Ä[104], âÄÎâÇÕÔâ ÄÇÔÑÏÞÏ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑÏ ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÌÔÍÑÓÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÂâ Ô ÖÚÈÕÑÏ ÑÙÇÐÑÍ ÄÓÂÊÆÇÎÇ 3.1 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÑÜÖÕËÏÑÅÑ ÖÓÑÄÐâÒÓËÔÖÕÔÕÄËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ.±ÑÆÑÃÐÞÇ ÄÑÒÓÑÔÞ ÏÑÉÐÑ ÒÑÆÐËÏÂÕß Ë ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÔÕÂÕßË ·Ö Ë ÆÓ.

[115], ÅÆÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñ ÒÑÎÖÚÇÐËËÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N Ô ÒÑÏÑÜßá ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ ÒÓË ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÂÊÑÕ 2 10ÿ4 ÏÃÂÓ (Õ.Ç.2 10ÿ7 ÂÕÏ). ¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÂÄÕÑÓÞ ÐÇ ÔÑÑÃÜËÎË ÐË ÑÔÍÑÓÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÐË Ñ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÒÓËÏÇÔÇÌ. ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä 36 ¤±Â ÃÞΠÑÃÐÂÓÖÉÇРÕÑÎßÍÑÆÎâ ÑÆÐÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑ 400 CÒÓËÄÇÎÑ Í ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 29 ¤±Â; àÕÑÕ ×ÂÍÕÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖÇÕ Ñ ÕÑÏ, ÚÕÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä 36 ¤±Â, ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÃÞΠÆÑÔÕËÅÐÖÕ ÐÇ ÄÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ, Â, ÔÍÑÓÇÇÄÔÇÅÑ, ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ ÒÓË ÐËÊÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏ ÐÂÐÇÔÇÐËË ÔÎÑÈÄ.

°ÚÇÄËÆÐÑ, ÂÄÕÑÓÞÄÞÃÓÂÎË ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÂÍÑÌ ÔÑÔÕÂÄÒÓËÏÇÔË, ÚÕÑ Ä ÍÑÐÇÚÐÑÏ ËÕÑÅÇ ÒÑÄÎËâÎÑ Ð ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÌÓÇÊÖÎßÕÂÕ.©ÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÑÃÜÂÎË £ÑÊ Ë ÆÓ.[106], ÔÑÅÎÂÔÖáÕÔâ Ô ÆÂÐÐÞÏË £ÇÒÓÇÍ [61] ÒÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑ-48¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÊËÕÂÏ nc-MeN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÂÏË PCVD(ÓËÔ. 10, 11Â) Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ (ÔÏ.

ÓÂÊÆÇÎ 7.2).¯ÇÏÐÑÅÑ ÃÑÎÇÇ ÛËÓÑÍËÌ ÏÂÍÔËÏÖÏ Ë ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÃÑÎÇÇÐËÊÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß âÄÎâáÕÔâ, ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (400 C), ÍÑÕÑÓÖá ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË Ä àÕÑÌ ÔÇÓËË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ ÂÄÕÑÓÞ[106]. ±ÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÔÏÇÜÇÐËâ ÒÑÆÎÑÉÍË (ÆÂÐÐÞÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÇÆÇÐÞ Ð ÓËÔ. 11Ä ÆÎâÑÒÕËÏÂÎßÐÑÅÑ ÔÏÇÜÇÐËâ ÿ50 £, ÔÏ. ÕÂÍÉÇ [146]) Ë ÑÕÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ. ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕßËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÆÎâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâÑÍÑÎÑ 500 C, ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÖÇÕÔâ Ô ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐËÏË ÆÂÐÐÞÏË[68]. £ÇÓÑâÕÐÑ, ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕ ÒÑÍÓÞÕËâ ÐÂØÑÆËÎËÔß Ä ÐÇ ÔÑÄÔÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÏÔÑÔÕÑâÐËË, ÚÕÑ ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ Ð ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÐÑÄÑÌ "×ÂÊÞ 2" ÐÂÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍËØ ÆË×ÓÂÍÕÑÅÓÂÏÏÂØ [116]; ÑÆÐÂÍÑ ÒÑÔÎÇÑÕÉËÅ ×ÂÊ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂÎÂ.

¯ÇÆÂÄÐËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ×ÂÊ TiSi2, ÍÑÕÑÓÂâ ÃÞΠÑÃÐÂÓÖÉÇРÄàÕËØ ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÒÑÏÑÜßá ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÌ ×ÑÕÑàÎÇÍÕÓÑÐÐÑÌ ÔÒÇÍÕÓÑÔÍÑÒËË (XPS), ÕÂÍÉÇ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂΠÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ [98]. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÕÑÎÜËРÒÑÍÓÞÕËâÔÑÔÕÂÄÎâΠÆÑ 3,3 ÏÍÏ, àÕË ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÏÑÉÐÑÔÚËÕÂÕß ÃÑÎÇÇ ÐÂÆÈÉÐÞÏË, ÚÇÏ ÕÇ, ÚÕÑ ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ®ÇÐÅË ÆÓ. [103].° ÒÓËÏÇÔâØ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÓÂÃÑÕ ÐÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ, ÐÑ, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÑÐË Ë ÇÔÕß ËÔÕËÐÐÂâ ÒÓËÚËÐÂÐËÊÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ¬ÂÍ ÒÑÆÚÈÓÍËÄÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏÓÂÊÆÇÎÇ, ÒÓË ÕËÒËÚÐÞØ ÔÍÑÓÑÔÕâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 0,1 ë0,5 ÐÏ Ôÿ1 Ë ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÅÂÊ (1 ë 7) 10ÿ6 ÏÃÂÓÍËÔÎÑÓÑÆ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÆÑ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÂÕÑÏÐÞØ ÒÓÑÙÇÐÕÑÄÐÂØÑÆËÕÔâ ÄÐÖÕÓË ÒÑÍÓÞÕËâ ÄÑ ÄÓÇÏâ ÓÑÔÕÂ.

°Ã àÕÑÏÎËÃÑ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä ÔÕÂÕßâØ, ÒÓËÔÎÂÐÐÞØ ÒÑ ÒÓÑÔßÃÇÂÄÕÑÓÑÄ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÑÃÊÑÓÂ, ÎËÃÑ ÃÞΠÒÓÑÄÇÆÇРÑÙÇÐÍ ÆÎâ ÆÂÐÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ ÏÑÜÐÑÔÕË Ë ÅÇÑÏÇÕÓËË ÓÇÂÍÕÑÓÂ. °ÆÐÂÍÑ ÐÇâÔÐÑ, âÄÎâÇÕÔâ ÎË ÆÂÄÎÇÐËÇ ÅÂÊ (1 ë 7) _ ÿ6 ÏÃÂÓ ÃÂÊÑÄÞÏ ÆÂÄÎÇÐËÇÏ ÆÎâ ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇ10ÓÂÕÖÓÞ ËÎË ÆÎâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÂâ ÏÑÉÇÕÑÕÎËÚÂÕßÔâ ÑÕ ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÃÑÎÇÇ ÚÇÏ Ð ÒÑÓâÆÑÍ ÄÇÎËÚËÐÞ.°ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÒÑÄÕÑÓâÇÏÑÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÓâÆÇ ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÔÕÂÕÇÌ ÆÓÖÅËØ ÂÄÕÑÓÑÄ [102, 115] ÇÔÕßÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÐÇÒÓÂÄËÎßÐÑÅÑ ÄÞÃÑÓ ÖÔÎÑÄËÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ(ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ) Ë/ËÎËÒÓËÏÇÔË.

¯ÇÒÑÎÐÞÇ ÆÂÐÐÞÇ Ä ÑÕÐÑÛÇÐËË àÕËØ ÓÇÛÂáÜËØÖÔÎÑÄËÌ Ä ÖÒÑÏâÐÖÕÞØ ÔÕÂÕßâØ ÐÇ ÒÑÊÄÑÎâáÕ Ä ÆÂÐÐÑÏÑÃÊÑÓÇ ÔÆÇÎÂÕß ÚÇÕÍÑÇ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÒÑ ÒÑÄÑÆÖ ÕÑÅÑ, ÍÂÍÑÌËÊ àÕËØ à××ÇÍÕÑÄ âÄÎâÇÕÔâ ÆÑÏËÐËÓÖáÜËÏ.7.2. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇÆÎâ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÇ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ ÑÃÞÚÐÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÕÒÓË ÐËÊÍÑÏ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô PCVD ÆÂÄÎÇÐËË, ÑÕÐÑÔË-[µ¶¯ 2009ÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍËØ ÔÍÑÓÑÔÕâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë, ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÔÎÖÚÂâØ, ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÔÏÇÔß Ar/N2, ÕÑ ÕÓÖÆÐÑ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÑÄÂÕß ÕÓÇÃÑÄÂÐËâÏ, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÅÑÄÑÓËÎÑÔß Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 7.1.±ÓÑØÂÊÍÂ Ë ÆÓ. [99] ÐÇÆÂÄÐÑ ÒÓÑÄÇÎË ÔËÔÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÇ, ÇÅÑ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÔÑÃÓÂÐÞ Ä ÕÂÃÎ. 2.