Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 6
Описание файла
PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 6 страницы из PDF
®ÂÍÔËÏÖÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ð ÖÓÑÄÐÇ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÂÊÑÕ ÒÓËÏÇÓÐÑ 27 % ÏÇÐÇÇ ÄÞÓÂÉÇÐ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÕÇÏ, ÚÕÑ ÑÃÞÚÐÑ ÑÃÐÂÓÖÉËÄÂáÕ Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ,ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞÏ CVD ÏÇÕÑÆÑÏ. £ÇÓÑâÕÐÑ, àÕÑÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÍÂÍÑÅÑ-ÕÑ ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË.
±ÑÊÉÇ ÏÞ ÖÄËÆËÏ,ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÑÃÜËÏ ÒÓËÐÙËÒÂÏ ÆËÊÂÌР[68, 69] àÕÑÒÑÄÇÆÇÐËÇ âÄÎâÇÕÔâ ÕËÒËÚÐÞÏ ÆÎâ ÔËÔÕÇÏ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. ®ÂÌÓØÑ×ÇÓË ÆÓ. [66, 67] ÐÇÆÂÄÐÑ ÒÓÇÆÔÕÂÄËÎË ÆÇÕÂÎßÐÑÇ ÖÃÇÆËÕÇÎßÐÑÇ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑ ÒÓËÓÑÆÞ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ Ô ÕÂÍËÏË45³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«6. ³ÓÂÄÐÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ, ÔÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË,ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË£ ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÔÓÂÄÐËÏ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ô ÑÃÞÚÐÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË Ë ÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÕÑÓÞØ ÖÄÇÎËÚÇРÔÒÑÏÑÜßá ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ.
¬ÂÍ ÄÒÇÓÄÞÇ ÑÕÏÇÕËήÖÔËÎ [77], ÆÂÐÐÞÌ ÒÑÆØÑÆ, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÇÔÕß ÔÂÏÞÌÎÇÅÍËÌ ÒÖÕß ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÎâ ÓâÆÂÕÄÈÓÆÞØ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÃÑÓËÆÑÄ Ë ÆÓÖÅËØ ÑÃÞÚÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØÔËÔÕÇÏ, ÄÍÎáÚÂâ ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞÇ Me(trans)N/Me(2) ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆÂÏÇÕÂÎΠMe(trans)N Ë ÏâÅÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎΠMe(2), ÍÑÕÑÓÞÌÐÇ ×ÑÓÏËÓÖÇÕ ÔÕÂÃËÎßÐÞÌ ÐËÕÓËÆ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, ZrN/Ni,ZrN/Cu, Cr2N/Ni Ë ÆÓ.). ±ÑÔÍÑÎßÍÖ Ä ÃÑÎÇÇ ÒÑÊÆÐËØÓÂÃÑÕÂØ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñà ÑÕÍÂÊÂØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞØ ÒÑ ÑÃÜÇÏÖ ÒÓËÐÙËÒÖ [68, 69],ÕÑ Ä àÕÑÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ, ÍÂÍ Ä ÖÔÎÑÄËâØàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÓÂÊÎËÚÂÕß ÆÄ ÔÒÑÔÑàÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË.
°ÆРÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ì àÕÑ ËÊÖÚÇÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÕÄÈÓÆÑÔÕË (ËÊÏÇÓÇÐÐÑÌ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇÒÑÔÎÇ ÍÂÉÆÑÅÑ àÕÂÒ ÑÕÉËÅÂ) ÒÑÔÎÇ ËÊÑØÓÑÐÐÑÅÑ ÑÕÉËÅÂÆÑ ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ. ´ÄÈÓÆÑÔÕß, ÖÄÇÎËÚÇÐÐÂâ ÒÓËËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ, ÔËÎßÐÑ ÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÆÑ ÑÃÝÈÏÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ 400 ë 600 C, ÕÑÅÆ ÍÂÍÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÑÔÕÂÄÂÎÂÔß ÐÇËÊÏÇÐÐÑÌ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ 1100 C (ÓËÔ. 10Â); Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÓ ÔÏ. [88 ë 90]. ¿ÕÑ ÓÂÊÏâÅÚÇÐËÇÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÑÅÑÒÖÕÇÏ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË, âÄÎâÇÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÑÌ, ÔÄâÊÂÐÐÑÌ Ô ÓÇÎÂÍÔÂÙËÇÌ ËÑÐÐÑ-ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞØÆÇ×ÇÍÕÑÄ Ä ÒÎÈÐÍÂØ, ÚÕÑ ÄÞÊÞÄÂÇÕ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ [91].
¬ÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä [93],ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Me(trans)N/Me(2) ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÕÑÚÐÑ ÕÂÍËÏ ÉÇÑÃÓÂÊÑÏ. ±ÓËÚËРàÕÑÅÑ ì ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÓÇÎÂÍÔÂÙËâËÑÐÐÑ-ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞØ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÓÂÔÕÖÜÇÌÒÎÈÐÍË Ð ÅÎÖÃËÐÂØ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ ÒÓÑÇÍÕËÄÐÞÌ ÒÓÑÃÇÅ8070´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±ÂÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÑÇ ÕÂÍÉÇ Ä ÑÃÊÑÓÇ [19], ÍÑÕÑÓÑÇÏÞ ÑÃÔÖÉÆÂÇÏ Ä ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÑÃÊÑÓÇ.¬ÐÑÕÇÍ [70, 71] ÃÞÎ ÒÇÓÄÞÏ ÂÄÕÑÓÑÏ, ÍÑÕÑÓÞÌ ÔÑÑÃÜÂÎ Ñà ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä "ÔÖÒÇÓÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ" ÔÑÇÆËÐÇÐËâØ TiC1ÿx ËÎË TiC/a-C [58, 59], ÒÑÆÑÃÐÑÕÑÏÖ, ÚÕÑ ÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ Ä ÒÎÈÐÍÂØ nc-TiN/a-Si3N4,ÍÑÅÆ ËÊÃÞÕÑÍ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÖÅÎÇÓÑÆ ÆÑÔÕËÅÂÎ ÑÍÑÎÑ20 %.
¿ÕË Ë ÒÑÆÑÃÐÞÇ ÔËÔÕÇÏÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎËÔß ÒÑÊÉÇÏÐÑÅËÏË ÆÓÖÅËÏË ÂÄÕÑÓÂÏË (ÐÂÒÓËÏÇÓ, [72, 73]). £ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÔËÔÕÇÏÞ, ËÏÇáÜËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÂÐÂÎÑÅËË ÔTiC/a-C, ÑÒËÔÞÄÂÎË ÂÄÕÑÓÞ [72, 73], ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÂÐÑÔËÎËÏÖÎßÕËÔÎÑË, ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ TiN Ë CNx [74 ë 76] ËÎË ZrN ËCNx [65] ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ( 4 200 C). ¬ÑÅÆ ÕÑÎÜËРÆÄÑÌÐÞØ ÔÎÑÇÄ (ÒÇÓËÑÆ)ÖÏÇÐßÛÂÎÂÔß ÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 4 ÐÏ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÂÔß ÆÑ 40 ¤±Â. °ÆÐÂÍÑ, ÍÑÅÆÂ Ä ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÒÇÓËÑÆÖÏÇÐßÛÂÎÔâ ÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 2 ÐÏ, ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÎÂÔß ÔÒÑÐÕÂÐÐÑ,  ÔÎÑËÔÕÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓÂÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂÎÂ, ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ ÏÇÕÑÆÂÏË ²¥ Ë ±¿® ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÓÂÊÓÇÛÇÐËâ.±Ñ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË ÐÂÑÔÐÑÄÇ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÒÑÍÓÞÕËâ nc-TiC/a-C ËÏÇáÕ ÏÇÐßÛÖáÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÒÑÄÞÛÇÐËá ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ Ë ÑÍËÔÎÇÐËá, ÚÕÑÑÅÓÂÐËÚËÄÂÇÕ ËØ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÆÎâ ÓÇÉÖÜÇÅÑ ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕ ÒÓË ÔÖØÑÌ Ë ÃÞÔÕÓÑÌ ÓÇÊÍÇ.
°ÆÐÂÍÑ ÐËÊÍËÌ ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ ÆÇÎÂÇÕ ËØ ÑÚÇÐß ÒÑÎÇÊÐÞÏË Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇÕÓËÃÑÎÑÅËÚÇÔÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÆÎâ ÒÑÆÛËÒÐËÍÑÄ Ë ÆÓÖÅËØÔÍÑÎßÊâÜËØ ÚÂÔÕÇÌ. £ÑÇÄÑÆËÐ Ë ÆÓ. [72] ÓÂÊÓÂÃÑÕÂÎËÍÑÏÃËÐÂÙËá ÒÑÍÓÞÕËÌ TiC/C Ë MoS2 ÆÎâ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÄÔËÔÕÇÏÂØ Ô ÏÂÎÞÏ ÕÓÇÐËÇÏ Ä ÏÇÐâáÜÇÌÔâ ÔÓÇÆÇ (ÔÖØÂâÔÓÇÆÂ/ÄÎÂÉÐÂâ ÔÓÇÆÂ), ÐÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÎÇÕÂÕÇÎßÐÞØ ÂÒÒÂÓÂÕÂØ Ë ÏÐÑÅÑÓÂÊÑÄÞØ ÍÑÔÏËÚÇÔÍËØ ÂÒÒÂÓÂÕÂØ.
¿ÕÑ ÕÑÎßÍÑÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÒÓËÏÇÓÑÄ Ä ÎËÕÇÓÂÕÖÓÇ, ÑÕÐÑÔâÜËØÔâ Í Ti ë B ë N, TiC1ÿx Ë ÒÑÆÑÃÐÞÏ ÔËÔÕÇÏÂÏ. £ÐÂÔÕÑâÜÇÏ ÓÂÊÆÇÎÇ ÏÞ ÔÍÑÐÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÎËÔß, Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ,РTi ë Si ë N Ë ÔÄâÊÂÐÐÞØ Ô ÐËÏË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÐËÕÓËÆÑÄ ÒÇÓÇØÑÆÐÞØ ÏÇÕÂÎÎÑÄ Ë ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÞØ ÐËÕÓËÆÑÄ, ÕÂÍËØ ÍÂÍ Si3N4 ËÎË BN. ´ÂÍËÇÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÄÞÊÞÄÂáÕ ÃÑÎßÛÑÌ ËÐÕÇÓÇÔ Ë ËÏÇáÕÛËÓÑÍËÇ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ.60ÂHFB2ZrN/Cu(Td )nc-TiN/a-Si3N4504030Cr2N/NiZrN/Ni2010060200TiN400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C10001200TiN1 ÿ xCxTiCnc-VN/a-Si3N4Ãnc-W2N/a-Si3N4nc-TiN/a-Si3N450´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â´. 179, å 1]TiCTiN1 ÿ xCx4030ZrN/Cu20Si3N4100ZrN-ÑÃÝÇÏÐÞÌ5101520253035³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ Cu Ë Si, ÂÕ.
%4045²ËÔ. 10. (Â) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌ HFB2 [33], Cr2N/Ni ËZrN/Ni [89], ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË, Ë ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ËÊÑØÓÑÐÐÑÅÑ ÑÕÉËÅÂ Ä ÚËÔÕÑÏ ÂÊÑÕÇ [1, 12]. ´ÄÈÓÆÑÔÕß ËÊÏÇÓâÎÂÔß ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÒÑÔÎÇ ÍÂÉÆÑÅÑ ÛÂÅÂÑÕÉËÅÂ. ¬ÓÇÔÕËÍÂÏË ÒÑÍÂÊÂРÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌZrN/Cu ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÐÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Cu ÕÂÏ ÄÔÈ ÉÇÔÎÇÅÍ ÏÇÐâÎÑÔß [93]. (Ã) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÑÕ ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ. £ ÕÄÈÓÆÑÏ ÓÂÔÕÄÑÓÇ TiN1ÿx Cx ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÎÇÆÖÇÕÒÓÂÄËÎÖ ÔÏÇÔÇÌ [94]. ¦ÔÎË ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊÕÄÈÓÆÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ Ë ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ, ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÒÓË ÐÂÎËÚËË ÚËÔÕÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÃÇÊÕÂÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎΠ[93].
³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇÒÑ "ÒÓËÐÙËÒÖ ÆËÊÂÌÐÂ" £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ., ÑÃÎÂÆÂáÕ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá РÒÑÓÑÅÇ ÒÇÓÍÑÎâÙËË [68, 69, 80].46¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ËÑÐÑÄ. £ ÒÓÑÕËÄÑÒÑÎÑÉÐÑÔÕß àÕÑÏÖ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÒÑ ÆÂÐÐÞÏ £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.
ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÒÓËÖÏÇÐßÛÇÐËË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑ 500 ë 600 C [68].¦ÜÇ ÑÆРÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÓÂÊÎËÚÂÕß ÔÕÂÃËÎßÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ë ÑÃÞÚÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ì àÕÑ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕ ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ. £ÂÉÐÑÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞÇ ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÒÓËÐÙËÒÖ Ë ÒÑÆØÑÆÖ £ÇÒÓÇÍÂ Ä ÖÔÎÑÄËâØ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞÐÂÐÇÔÇÐËâ [61, 68, 69, 92], ËÏÇáÕ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÇÓÆÑÔÕß, ÇÔÎË ÔÑÔÕÂÄ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÒÑÓÑÅÖ ÒÓÑÕÇÍÂÐËâ,ÍÑÅÆ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÐËÕÓËÆ ÕËÕÂРÒÑÍÓÞÕ ØÑÕâ ÃÞÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si3N4 [80] ËÎË BN [89].²ËÔÖÐÑÍ 10 ËÎÎáÔÕÓËÓÖÇÕ ÑÕÎËÚÐÖá ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß ÒÓÑÙÇÔÔ ÒÑÄÞÛÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËËÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ä ÖÔÎÑÄËâØ ÄÞÔÑÍÑÌÂÍÕËÄÐÑÔÕË (ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ) ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ 5 500 C, ÍÂÍ ÑÃÝâÔÐâÎÑÔß Ä ÓÂÃÑÕÂØ [61, 68, 69, 92,94].
³ËÔÕÇÏ TiN1ÿx Cx , ÒÑÍÂÊÂÐÐÂâ РÓËÔ. 10Ã, ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖÇÕ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÒÑ ÄÔÇÏÖ ÔÒÇÍÕÓÖ ÔÑÔÕÂÄÑÄ ËÒÑàÕÑÏÖ ÆÎâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÄÞÒÑÎÐâÇÕÔâ ÒÓÂÄËÎÑ ÔÏÇÔË([95], Ô. 391): ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÖÅÎÇÓÑÆ ÑÕ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÆÎâÚËÔÕÑÅÑ TiN ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËØ TiC [94].±ÑÍÓÞÕËâ Me(trans)N/Me(2), ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ ÕÄÈÓÆÑÅÑÔÎÑâ ÐËÕÓËÆ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ Ë ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ[66], ÆÑÔÕËÅÂáÕ ÔÂÏÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË(ÄÞÊÄÂÐÐÑÅÑ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ) ÒÓË ÑÚÇÐß ÐËÊÍÑÏÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÍÑÄÍÑÅÑ ÏÇÕÂÎÎÂ, ÍÂÍ ÄËÆÐÑ Ð ÓËÔ. 10Ã.´ÂÍÑÇ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß Ë ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÔËÔÕÇÏÂØMe(trans)N/Me(2) [93].
¿ÕÑ ÐÂÒÑÏËÐÂÇÕ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÕÂÍÉÇ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÑÃÂÎßÕ [2]. °ÆÐÂÍÑÄ ÑÕÎËÚËÇ ÑÕ ÍÑÃÂÎßÕ ÐÇ ÆÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ Ä ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÏ ÍÂÓÃËÆÇ ÍÑÄÍËÇ ÏÇÕÂÎÎÞ (³u, Ni Ë ÆÓ.) Ä ÒÑÍÓÞÕËâØMe(trans)N/Me(2) ÖÎÖÚÛÂáÕ ÄâÊÍÑÔÕß ËÊÎÑÏÂ.´ÂÍÂâ ÍÑÓÓÇÎâÙËâ ÏÇÉÆÖ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞÏË ÔÉËÏÂáÜËÏË ÐÂÒÓâÉÇÐËâÏË Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÇÜÈ ÐÇ âÄÎâÇÕÔâÑÆÐÑÊÐÂÚÐÞÏ ÆÑÍÂÊÂÕÇÎßÔÕÄÑÏ ÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÕÑÎßÍÑ (ËÎË ÒÓÇËÏÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ) ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË.
¯ÂÒÓËÏÇÓ £ÑÊ [97] Ë®ÖÔËÎ [56] ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÒÑÆÑÃÐÖá ÍÑÓÓÇÎâÙËá ÏÇÉÆÖÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ë ÔÉËÏÂáÜËÏ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌTi ë Si ë N Ë TiNx . ±ÑàÕÑÏÖ ÏÑÉÐÑ ÊÂÆÂÕß ÄÑÒÓÑÔ ì ÆÑÍÂÍÑÌ ÔÕÇÒÇÐË ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ £ÑÊ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË Ë/ËÎË×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ. °ÕÄÇÕÔÐÑÄ ÆÂÇÕ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÒÑ ÑÕÉËÅÖ: ÒÑ ÏÇÓÇ ÕÑÅÑ, ÍÂÍÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËâ TiN ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ,ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N (ÒÑ £ÑÊÖ) ÑÔÕÂÇÕÔâ ÒÑÚÕËÐÇËÊÏÇÐÐÑÌ [96, 98, 99]. ¯ÇÍÑÕÑÓÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë Si ë N,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÇ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÑÏ, ÏÑÅÖÕ ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÑÄÂÕß "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ.
¯ÇÍÑÕÑÓÑÇÄÓÇÏâ ÐÂÊÂÆ Ñà àÕÑÏ ÖÉÇ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä ÓÂÃÑÕÇ ·ÑÎÖÃÂÓÂË ÆÓ. [100] Ë ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ Ä [88, 101] ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-(Ti1ÿx Alx )N/Si3N4, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÞÏËÔÒÂÓÇÐËÇÏ. ³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÇÔÕß âÔÐÑÇ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÕÂÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÐÂÐÑÔËÎË Ä ÐÇÒÑÆØÑÆâÜËØÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ. °Ã ÑÆÐÑÏ ËÊ ÒÓËÏÇÓÑÄ ÕÂÍÑÅÑ ÒÑÄÇÆÇÐËâ ÔÑÑÃÜÂÎ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ Ä ÑÃÊÑÓÇ [102],ÅÆÇ ÑÐ, Í ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÐÇ ÖÒÑÏâÐÖÎ ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐáá ÓÂÃÑÕÖРàÕÖ ÕÇÏÖ.
ªÐÕÇÓÇÔÐÑ, ÚÕÑ ÕÑÎßÍÑ Ä ÑÆÐÑÏ ÒÑÍÓÞÕËË, Ñ[µ¶¯ 2009ÍÑÕÑÓÑÏ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä [102], ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß ÐÇÍÑÕÑÓÑÇÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, ÕÑÅÆ ÍÂÍ ÆÓÖÅËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ5 500 C ÓÂÊÏâÅÚÂÎËÔß. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÂÄÕÑÓÞ [102, 141] ÄÔÄÑËØ ÓÂÃÑÕÂØ ÐÇ ÄËÆÇÎË ÕÂÍÑÌ ÐËÊÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÕÑ ÄÑÊÐËÍÂÇÕ ÄÑÒÓÑÔ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÏÇØÂÐËÊÏ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ Ë ÆÓ. ¡ÐÂÎÑÅËÚÐÞÇ ÄÑÒÓÑÔÞ ÃÖÆÖÕ ÑÃÔÖÉÆÂÕßÔâÆÂÎÇÇ Ä ÔÕÂÕßÇ Ä ÍÑÐÕÇÍÔÕÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. ±ÓÇÉÆÇ ÚÇÏ ÒÓÑÆÑÎÉËÕß ÆËÔÍÖÔÔËá ÒÑ ÆÂÐÐÑÏÖ ÄÑÒÓÑÔÖ, ÏÞ ÆÑÎÉÐÞËÊÎÑÉËÕß ÍÑÐÙÇÒÙËá, ÒÑÊÄÑÎâáÜÖá ÂÐÂÎËÊËÓÑÄÂÕßÔÄÑÌÔÕÄ ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÄÞÔÑÍÑÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ.7. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâ ÒÑÎÖÚÇÐËâÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ7.1.
