Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 5

´ÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ ÒÑÎÐÑÌÓÇÎÂÍÔÂÙËË ÄÐÖÕÓÇÐÐËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÐÇ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ, ÕÂÍÍÂÍ ÂÄÕÑÓÞ [51, 52] ÒÓË ËÑÐÐÑÏ ÖÕÑÐßÛÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ ÄÒÓÑÙÇÔÔÇ ËÊÅÑÕÑÄÎÇÐËâ ÕÑÐÍËØ ×ÑÎßÅ ÐÂÃÎáÆÂÎË ËØÔÂÏÑÒÓÑËÊÄÑÎßÐÑÇ ÓÂÊÓÖÛÇÐËÇ Ð ÑÔÍÑÎÍË ÏËÍÓÑÐÐÞØÓÂÊÏÇÓÑÄ. ³ ÒÑÏÑÜßá ÓÇÐÕÅÇÐÑÅÓÂ×ËÚÇÔÍËØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÌ ÑÃÐÂÓÖÉËÄÂÇÕÔâ ÓÂÊÎËÚËÇ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÓÇÛÇÕÍË ÆÑ2 % Ä ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâØ, ÐÑÓÏÂÎßÐÞØ Ë ÒÂÓÂÎÎÇÎßÐÞØ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ. ¬ÂÍ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß ÄÞÛÇ (ÓËÔ. 8Ã),ÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÛËÓËÐÞ ÆË×ÓÂÍÙËÑÐÐÞØ ÎËÐËÌ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏË ÆÎâ ÒÓËÎÇÅÂáÜÇÅÑ Í ÒÑÆÎÑÉÍÇ ÔÎÑâ ÒÑÍÓÞÕËâ (Dh 4 15 ÐÏ).

ªÐÕÇÓÇÔÐÑ, ÚÕÑ ÐÂÌÆÇÐÐÞÇ ÏÇÕÑÆÑÏ ºÇÓÇÓ ÒÑ ÛËÓËÐÇ ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍËØ ÎËÐËÌ ÔÓÇÆÐËÇ ÓÂÊÏÇÓÞ ÊÈÓÇÐ (d ˆ 15 ÐÏ) ÒÓËÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÏ ÓÂÊÃÓÑÔÇ àÕËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ (d ˆ 12ÿ18 ÐÏ)ÆÎâ ÑÕÆÇÎßÐÞØ ÑÃÓÂÊÙÑÄ ÑÍÂÊÂÎËÔß ÑÆÐÑÅÑ ÒÑÓâÆÍ ÔÆÂÐÐÞÏË ÆÎâ ÂÐÂÎÑÅËÚÐÑÅÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ nc-TiN ë ³uÄ [54, 58]. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÌ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍËÏ ÏÇÕÑÆÑÏ ÓÂÊÏÇÓ ÊÇÓРÑÕÄÇÚÂÇÕ ÐÂÌÆÇÐÐÞÏ Ä ÓÂÃÑÕÇ [50] ÓÂÊÏÇÓÂÏ ×ÓÂÅÏÇÐÕÑÄ ÊÈÓÇÐ.

±ÑÄËÆËÏÑÏÖ, ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÒÑÒÇÓÇÚÐÑÅÑ ÓÂÊÏÇÓ ÒÓË ÍÑÐÍÖ-43ÓÇÐÕÐÑÏ ÔÕÑÎÃÚÂÕÑÏ ÓÑÔÕÇ ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiN ÐÂÓâÆÖ ÔËÊÏÇÐÇÐËÇÏ ÒÓË àÕÑÏ ÑÓËÇÐÕÂÙËË ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌÓÇÛÇÕÍË Ë ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏ ÕÇÍÔÕÖÓÞ âÄÎâáÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÞÏË ×ÂÍÕÑÓÂÏË, ÄÎËâáÜËÏË Ð ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÄÐÖÕÓÇÐÐËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËâ.°ÕÏÇÕËÏ Ä àÕÑÌ ÔÄâÊË ÔÎÇÆÖáÜÇÇ. £ [58] ÄÞÔÑÍËÌÖÓÑÄÇÐß ÆÂÎßÐÑÆÇÌÔÕÄÖáÜËØ ÄÐÖÕÓÇÐÐËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌÔÉÂÕËâ (s ˆ 4 ¤±Â) Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÇ nc-ZrN ë ³u ËÐËÊÍËÌ ÖÓÑÄÇÐß ÕÂÍËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÇnc-AlN ë ³u (s ˆ 0;1 ¤±Â) ÔÄâÊÞÄÂáÕÔâ Ô ÓÂÊÎËÚËÇÏ ÄÐËØ ÓÂÊÏÇÓ ÊÇÓР(ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ 32 Ë 8 ÐÏ).

®ÇÉÆÖÕÇÏ, Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ nc-ZrN ë ³u ÐÂÃÎáÆÂáÕÔâ ÂÐÂÎÑÅËÚÐÞÇÐÂÌÆÇÐÐÞÏ Ä nc-TiN ë Cu ÕÇÍÔÕÖÓ (111) Ë ÏÇØÂÐËÊÏÔÕÑÎÃÚÂÕÑÅÑ ÓÑÔÕ ÒÑÍÓÞÕËâ. ªÏÇÐÐÑ àÕÑ ÑÃÔÕÑâÕÇÎßÔÕÄÑ, Ô ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâ ÂÄÕÑÓÑÄ [52, 53], ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕ ÄÞÔÑÍËÌÖÓÑÄÇÐß ÄÐÖÕÓÇÐÐËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ. £ ÚÂÔÕÐÑÔÕË, ÔÑÃÔÕÄÇÐÐÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÓÂÊÏÇÓ ÊÇÓÐÂ Ä nc-AlN ë ³u ÆÑd ˆ 20ÿ25 ÐÏ ÐÇ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËØ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÂÐÂÎÑÅËÚÐÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË ÔÓÂÊÏÇÓÑÏ ÊÇÓР8 ÏÍÏ [58].

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÄÇÎËÚËÐÂÄÐÖÕÓÇÐÐËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÐÇ ÔÑÃÔÕÄÇÐÐÑÓÂÊÏÇÓÑÏ ÊÈÓÇÐ,  ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕâÏË ËØ ÕÑÐÍÑÌ ÆÇ×ÇÍÕÐÑÌÔÖÃÔÕÓÖÍÕÖÓÞ, ÊÂÄËÔâÜËÏË ÑÕ ÏÇØÂÐËÊÏÂ Ë ÖÔÎÑÄËÌÓÑÔÕ ÒÑÍÓÞÕËâ.¯ÇÔÍÑÎßÍÑ ÆÓÖÅÑÇ ÑÃÝâÔÐÇÐËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÒÑ £ËÍÍÇÓÔÖ> 40 ¤±Â ÑÒËÔÂÐÑ Ä ÓÂÃÑÕÂØ £ÇÒÓÇÍÂ Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË [19,59 ë 61]. £ÇÒÓÇÍ ÓÂÊÎËÚÂÇÕ ÕÓË ÒÑÆØÑÆÂ Í ÒÑÎÖÚÇÐËáÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ: ÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÄÐÖÕÓÇÐÐÇÌÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÔÕßá, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ ÂÎÏÂÊ, ÔÄÑÃÑÆÐÞÌ ÑÕ ÄÑÆÑÓÑÆÂ, ÂÎÏÂÊÑÒÑÆÑÃÐÞÌ ÖÅÎÇÓÑÆ (DLC), ÍÖÃËÚÇÔÍËÌ ÐËÕÓËÆ ÃÑÓ (c-£N); ÕÑÐÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÍÑÏÒÎÇÍÔÐÑÅÑ ÔËÐÇÓÅËÚÇÔÍÑÅÑ (?!) à××ÇÍÕ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÑ ÄÓÇÏâÐÂÐÇÔÇÐËâ ÏÇÕÑÆÂÏË ÒÎÂÊÏÑØËÏËÚÇÔÍÑÅÑ ËÎË ×ËÊËÚÇÔÍÑÅÑ ËÔÒÂÓÇÐËâ (PCVD Ë PVD),  ÕÂÍÉÇ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÕÂÍËÇ ÍÂÍ ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. ¡ÎÏÂÊÑÒÑÆÑÃÐÞÌ ÖÅÎÇÓÑÆË ÒÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÌ c-BN, ÄÞÓÂÜÇÐÐÞÇ ÒÓË ÄÞÔÑÍÑÌÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ Ë ÆÂÄÎÇÐËË, ÐÂØÑÆâÕ ÛËÓÑÍÑÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËÇ, ÂÒÓËÏÇÐÇÐËÇ ÕÑÐÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßáPCVD Ë PVD, ÒÑÍ ÑÅÓÂÐËÚÇÐÑ.²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÓÂÊÎËÚËâ Ä ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓ Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ËÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßá ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË.

"¬ÑÐÔÕÓÖÍÙËá" ÆÎâ ÒÓÑÚÐÞØ ÕÄÈÓÆÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ÒÓË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËË ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÓÇÆÎÑÉËÎ Ä 1970 Å. ¬ÈØÐÇÓ [62]. °Ð ÑÔÐÑÄÂÐÂРÒÓÇÆÑÕÄÓÂÜÇÐËË ÆÄËÉÇÐËâ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÒÖÕÇÏ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÓÇÊÍËØ ÒÇÓÇØÑÆÑÄ (ÅÓÂÐËÙ ÓÂÊÆÇÎÂ) ÏÇÉÆÖ ÕÑÐÍËÏË àÒËÕÂÍÔËÂÎßÐÞÏË ÔÎÑâÏË; àÕÑÕ ÏÇØÂÐËÊÏ ÖÒÓÑÚÐÇÐËâ ÑÔÕÂÇÕÔâ Ä ÔËÎÇ Ä ÔËÕÖÂÙËË, ÍÑÅÆ ÑÆËÐ ËÊ ÔÎÑÇÄâÄÎâÇÕÔâ ÂÏÑÓ×ÐÞÏ. ±ÑÊÉÇ àÕ ÍÑÐÙÇÒÙËâ ÃÞΠÓÂÔÒÓÑÔÕÓÂÐÇРРÒÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÇ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ.

¦ÔÕß ØÑÓÑÛËÇ ÑÃÊÑÓÐÞÇ ÓÂÃÑÕÞ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÑÒËÔÞÄÂáÕÔâ ÄÔÇÆÇÕÂÎË [6, 9, 19]. °ÆÐÂÍÑ ÏÞ ÑÔÕÂÐÑÄËÏÔâ РÆÄÖØ ÄÂÉÐÞØÏÑÏÇÐÕÂØ. £Ñ-ÒÇÓÄÞØ, àÕÑÕ ÏÇØÂÐËÊÏ ÒÓËÏÇÐËÏ ÕÑÎßÍÑ ÍÒÎÂÔÕËÚÐÑÔÕË ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ (ÂÍÕËÄÐÑÌ ÆÇâÕÇÎßÐÑÔÕË ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ); ÄÑ-ÄÕÑÓÞØ, ÚÕÑÃÞ ÆÂÐÐÞÌ ÏÇØÂÐËÊÏ ÓÂÃÑÕÂÎ ÄÔÎÖÚÂÇ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÕÄÈÓÆÑÔÕßá > 40 ¤±Â, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞ ÓÇÊÍËÇ ÅÓÂÐËÙÞ ÓÂÊÆÇΠРÂÕÑÏÐÑÏ ÖÓÑÄÐÇ. ¯ÂÐÇÔÇÐËÇ ÕÂÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌÕÓÇÃÖÇÕ ÕÑÚÐÑÅÑ ÍÑÐÕÓÑÎâ ÅÓÂÐËÙ ÓÂÊÆÇÎÂ Ô ÒÑÏÑÜßáÔÕÑÒÑÓÑÄ (ÊÂÕÄÑÓÑÄ). £ÇÔßÏ ÔÎÑÉÐÑ ÒÑÎÖÚËÕß ÒÑÍÓÞÕËâ,44¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±.

º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÂÐÂÎÑÅËÚÐÞÇ ÕÇÏ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÒÑÎÖÚÂáÕÔâ Ä ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞØÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÅÆ ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÔÆË××ÖÊËÇÌ Ð ÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇÎÂ,  ÐÇ ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÂ;ÑÆÐÂÍÑ ÏÖÎßÕËÔÎÑË ÖÎÖÚÛÂáÕ ÓÂÃÑÕÖ ÖÊÎÑÄ ÏÂÛËÐ ÔÒÑÍÓÞÕËâÏË [7]. ®ÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÐÇ ÑÒËÔÞÄÂáÕÔâ Ä ÓÂÏÍÂØ ÍÑÐÙÇÒÙËË ÅÇÕÇÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓ, Ô×ÑÓÏÖÎËÓÑÄÂÐÐÑÌ ¬ÈØÐÇÓÑÏ, ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÓÂÊÏÞÕÑÔÕË ÅÓÂÐËÙÞ.£ÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÔÓÑÍ ÔÎÖÉÃÞ ÓÇÉÖÜÇÅÑ ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕÂÑÃÞÚÐÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÒÑÄÞÛÇÐËá ÄâÊÍÑÔÕËÒÓË ËÊÎÑÏÇ. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ô ÒÑÏÑÜßá ËÑÐÐÑÌÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÑ ÐÇÔÍÑÎßÍËÏË ×ÂÍÕÑÓÂÏË:ÖÏÇÐßÛÇÐËÇÏ ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ, ÖÒÎÑÕÐÇÐËÇÏ ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ, ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ Ë ÄÑÊÐËÍÐÑÄÇÐËÇÏÄÔÕÓÑÇÐÐÞØ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞØ ÔÉËÏÂáÜËØ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ(ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÒÑÆØÑÆÖ Ë ÑÃÝâÔÐÇÐËá £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.) [19, 60,61]. £ ÕÑ ÉÇ ÄÓÇÏâ ÏÑÅÖÕ ÄÑÊÐËÍÂÕß Ë ÑÔÕÂÕÑÚÐÞÇÓÂÔÕâÅËÄÂáÜËÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÒÓË ÃÑÎßÛËØ ÓÂÆËÖÔÂØËÑÐÑÄ ËÎË ÍÎÂÔÕÇÓÑÄ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÓÂÊÏÇÓÂÏË ÂÕÑÏÑÄ,ÔÑÔÕÂÄÎâáÜËØ ÒÑÍÓÞÕËÇ (ÔÏ.

ÓÂÃÑÕÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ,ÊÂÐËÏÂáÜËØÔâ ËÑÐÐÑÌ ËÏÒÎÂÐÕÂÙËÇÌ Ë ËÑÐÐÑ-ÔÕËÏÖÎËÓÑÄÂÐÐÞÏ ÑÔÂÉÆÇÐËÇÏ (ion beam assisted deposition,IBAD)) [178]. £ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕ àÕËà××ÇÍÕÞ ÏÑÅÖÕ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÑÄÂÕß ÆÄËÉÇÐËá ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÄÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ, ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÄÞÔÑÍÑÔÕÂÃËÎßÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊ ÏÂÎÇÐßÍËØ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ (ÄÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄ) ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÅÑÏÇÕÂÎΠ(ËÎË ÍÂÓÃËÆÂ, ÃÑÓËÆÂ Ë ÆÓ.), ÔÑÇÆËÐÇÐÐÞØ ÑÆÐËÏÏÑÐÑÔÎÑÌÐÞÏ ÕÑÐÍËÏ ÐÇÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏ ÍÑÄÂÎÇÐÕÐÞÏÐËÕÓËÆÑÏ ÕÂÍÑÅÑ ÕËÒÂ, ÍÂÍ Si3N4 : BN : CNx (ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÔËÊÃÞÕÑÚÐÞÏ ÖÅÎÇÓÑÆÑÏ).±ÓË ÒÓÂÄËÎßÐÑÏ ÒÓËÅÑÕÑÄÎÇÐËË àÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÑÃÎÂÆÂáÕ ÐÇÑÃÞÚÐÑÌ ÍÑÏÃËÐÂÙËÇÌ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ,ÕÂÍËØ ÍÂÍ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß (ÑÕ 40 ÆÑ 100 ¤±Â), ÄÞÔÑÍËÌÒÑÍÂÊÂÕÇÎß ÖÒÓÖÅÑÅÑ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ (ÑÕ 80 ÆÑ 94 %),ÒÓÇÆÇÎ ÖÒÓÖÅÑÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ (10 %), ÄÞÔÑÍËÇ (ÆÑ 40 ¤±Â)ÑÔÕÂÕÑÚÐÞÇ ÓÂÔÕâÅËÄÂáÜËÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÇ "ËÆÇÂÎßÐÑÏÖ" ÐÂÒÓâÉÇÐËá Ä ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ.5.

³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ£ ÒÑÔÎÇÆÐÇÇ ÄÓÇÏâ Ä ÎËÕÇÓÂÕÖÓÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËË ÏÐÑÉÇÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄÓÂÊÎËÚÐÑÅÑ ØËÏËÚÇÔÍÑÅÑ ÔÑÔÕÂÄÂ. ¯ÂËÃÑÎÇÇ ÚÂÔÕÑ ËÊÖÚÂÇÏÑÌ ÔËÔÕÇÏÑÌ âÄÎâÇÕÔâ Ti ë Si ë N, ÒÑàÕÑÏÖ ÏÞ Ô×ÑÍÖÔËÓÖÇÏÔâ РÐÇÌ ÍÂÍ Ð ÏÑÆÇÎßÐÑÌ ÔËÔÕÇÏÇ. ®ÐÑÅËÇËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ËÊÖÚÂÎË ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍËÇ ×ÂÊÑÄÞÇÆËÂÅÓÂÏÏÞ ÆÎâ ÔËÔÕÇÏÞ Ti ë Si ë N (ÔÏ. ÄÞÄÑÆÞ ÄÓÂÃÑÕÇ [63]) Ë ÐÂÐÇÔÇÐËÇ ÕÂÍËØ ÒÎÈÐÑÍ Ô ÒÑÏÑÜßáÒÂÓÑ×ÂÊÐÑÌ àÒËÕÂÍÔËË (CVD) ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ [64, 65]. ±ÑàÕÑÏÖ ÐË Ñ ÍÂÍÑÏ ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä[64, 65] ÐÇ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß. ­Ë Ë ÆÓ. [74] ÃÞÎË ÒÇÓÄÞÏËÂÄÕÑÓÂÏË, ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÑÃÜËÎË Ñ ÐÂÐÇÔÇÐËË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N ÏÇÕÑÆÑÏ ÒÎÂÊÏÇÐÐÑÌ CVD (PCVD)Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ ØÎÑÓËÆÑÄ ÍÂÍ ËÔÕÑÚÐËÍ Ti Ë Si [65].µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ­Ë ÒÓËÒËÔÞÄÂÎ ÑÔÂÉÆÇÐËáÏÂÎÞØ ÚÂÔÕËÙ Si3N4 Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiN.®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß 60 ë 70 ¤±Â, Ñ ÍÑÕÑÓÑÌ ÔÑÑÃÜÂÎË ­Ë Ë ÆÓ., ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÃÞΠÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÕÓÑÌÐÑÌÔÕÓÖÍÕÖÓÞ nc-TiN/a-Si3N4/a-TiSi2 àÕËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÚÕÑÒÑÆÕÄÇÓÆËÎË ÆÂÎßÐÇÌÛËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.[19, 23, 96] (ÊÆÇÔß nc- Ë a- ÑÊÐÂÚÂáÕ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÌË ÂÏÑÓ×ÐÞÌ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ).

°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ Ä ÃËÐÂÓÐÞØÔËÔÕÇÏÂØ nc-MeN=a-Si 3 N 4 ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕßÔÑÔÕÂÄÎâΠÄÔÇÅÑ 50 ë 60 ¤±Â. ­Ë Ë £ÇÒÓÇÍ ÑÃÐÂÓÖÉËÎË,[µ¶¯ 2009ÚÕÑ ÚÇÓÇÊ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÏÇÔâÙÇÄ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ÖÏÇÐßÛËÎÂÔß. ¡ÄÕÑÓÞ ÒÓËÒËÔÞÄÂÎË àÕÖ ÆÇÅÓÂÆÂÙËá ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÃÑÎßÛÑÏÖ ÔÑÆÇÓÉÂÐËá Ä ÆÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØØÎÑÓËР[83]. ±ÑÔÎÇÆÐËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ àÕÂÆÇÅÓÂÆÂÙËâ ÇÔÕß ÄÐÖÕÓÇÐÐÇÇ ÔÄÑÌÔÕÄÑ ÕÂÍËØ ÔËÔÕÇÏ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ØËÏËÚÇÔÍÑÌ ÆÇÅÓÂÆÂÙËË ×ÂÊÞ TiSi2 ËÊ-Ê ÄÑÊÆÇÌÔÕÄËâ ÄÑÆÞ ËÊ ÄÑÊÆÖØ ì ÕÑÚÐÑ ÕÂÍ ÉÇ, ÍÂÍ àÕÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ Ô ÔËÎËÍÑÐÑÄÞÏË ÄÑÎÑÍÐÂÏË [84]. ¥ÂÎÇÇ, ÍÑÅÆÂÑÍÂÊÂÎÑÔß, ÚÕÑ ÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÔÇÅÑ 3 ë4 ÐÏ, ÔÕÂÎÑ âÔÐÑ, ÚÕÑ ÑÓËÅËÐÂÎßÐÑÇ ÑÃÝâÔÐÇÐËÇ [65],ÑÔÐÑÄÂÐÐÑÇ Ð ÆËÔÒÇÓÔÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÐÇÍÑÓÓÇÍÕÐÑ. ¿ÕÑÒÓËÄÇÎÑ Í ÓÂÊÄËÕËá ÑÃÑÃÜÇÐÐÑÌ ÍÑÐÙÇÒÙËË ÆËÊÂÌÐÂÖÒÓÑÚÐÇÐËâ [68, 69].®ÐÑÅËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ì ¬ÐÑÕÇÍ, ¡ÐÆÓËÇÄÔÍËÌ,¤ËÔÔÎÇÓ, ·ÂÏÏÇÓ Ë ÆÓ.

ì ÔÑÑÃÜÂÎË Ñ ÐÂÐÇÔÇÐËË ËÔÄÑÌÔÕÄÂØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N (ÔÏ. ÑÃÊÑÓ ÓÂÃÑÕ Ä [18]). £ÑÃÊÑÓÇ [19] ÃÞÎÑ ÑÕÏÇÚÇÐÑ, ÚÕÑ ÐÇÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕß ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊ TiN Ë TiB2 Ë ØÂÓÂÍÕÇÓ ÓÂÊÄËÕËâ ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÒÑÍÓÞÕËÌ ÍÂÍ ×ÖÐÍÙËË ËØ ÔÑÔÕÂÄÂ Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕËÖÍÂÊÞÄÂáÕ Ð ÕÑ, ÚÕÑ àÕÑ ÕÂÍÉÇ ÃÞÎË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. °ÔÄâÊË ÏÑÓ×ÑÎÑÅËË ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N Ô ËØ ÔÑÔÕÂÄÑÏ ËÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÔÑÑÃÜÂÎ ¡ÐÆÓËÇÄÔÍËÌ (ÔÏ. ÓËÔ. 1) Ä ÑÃÊÑÓÐÑÌÔÕÂÕßÇ [85]. ¬ÑÎÖÏÐÂÓÐÂâ ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ, ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÒÑÎÐÑÔÕßá ËÔÚÇÊÂÎÂ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÔÑÔÕÂÄÂ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÏÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÔÑÔÕÂÄËΠ5 50 ¤±Â.£ ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PVDÒÓË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËâØ (ÏÇÐÇÇ 10ÿ3 ÏÃÂÓ) Ë ÑÕÓËÙÂÕÇÎßÐÑÏ ÒÑÕÇÐÙËÂÎÇ ÒÑÆÎÑÉÍË, ÔÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÃÑÎßÛËÇ ÃËÂÍÔËÂÎßÐÞÇ ÔÉËÏÂáÜËÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ (ÒÑÓâÆÍ 5 ë 8 ¤±Â)ÍÂÍ ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏËËÑÐÂÏË ÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ.

±ÑàÕÑÏÖ ÐÖÉÐÑ ÕÜÂÕÇÎßÐÑ ÒÓÑÄÇÓâÕß, ÐÇ ÄÞÊÄÂÐÑ ÎË ËÊÏÇÓÇÐÐÑÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ. ¯ÂÒÓËÏÇÓ, ÆÂÐÐÞÇ·ÂÏÏÇÓÂ Ë ÆÓ. [86] Ë ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ®ËÕÕÇÓÇÓ ËÆÓ. [87] ÖÍÂÊÞÄÂáÕ Ð ÓÂÊÎËÚËÇ ÏÇÉÆÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏÕÄÈÓÆÑÔÕË Ê ÔÚÇÕ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË Ë ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔÂÏÑÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌÔÇÅÓÇÅÂÙËË. ¬ÑÅÆ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞÇ ·ÂÏÏÇÓÑÏ ËÆÓ. ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÑÕÉËÅÂÎËÔß ÒÓË 600 ë800 C, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÄÑÊÓÂÔÕÂΠÒÓËÏÇÓÐÑ ÆÑ 40 ¤±Â Ë ÑÕËÔØÑÆÐÑ ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ ÒÑÎÖÚÂÎË ÆË×ÓÂÍÙËÑÐÐÞÇÍÂÓÕËÐÞ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÂÏ. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ØÑÕâ ÒÑÍÓÞÕËâ TiB2 Ë TiN, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ®ËÕÕÇÓÇÓÑÏ Ë ÆÓ., ËÏÇáÕ ÄÞÔÑÍÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß, ÍÑÕÑÓÂâ ÒÑÄÞÔËÎÂÔß Ê ÔÚÈÕ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë Ni ÑÕ ÓÂÔÔÕÑâÐËâ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÅÑ ÒÑÎÑÄËÐÇ ÒÓÑÇÍÕËÄÐÑÅÑ ÒÓÑÃÇÅ ËÑÐÑÄÂÊÑÕÂ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÒÓÇËÏÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÏÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ, ÚÕÑ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÑÚÇÄËÆÐÞÏËÊ ÔÓÂÄÐÇÐËâ ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [102, 142, 144]ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ.