Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 2

¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, Ä ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ Ë/ËÎË ÂÏÑÓ×ÐÞØ ×ÂÊÂØ ÏÑÉÐÑ ÄÞÆÇÎËÕß ÆÄÖØÍÓËÔÕÂÎÎÑ×ÂÊÐÞÇ Ë/ËÎË ×ÂÊÞ Ô ÆÄÖÏâ ÍÓËÔÕÂÎÎÑÅÓÂ×ËÚÇÔ-´. 179, å 1]ÍËÏË ÑÓËÇÐÕÂÙËâÏË ÊÈÓÇÐ ÑÆÐÑÅÑ Ë ÕÑÅÑ ÉÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ.ªÏÇÇÕÔâ ÑÅÓÑÏÐÂâ ÓÂÊÐËÙÂ Ä ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÑÆÐÑ- ËÆÄÖØ×ÂÊÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ. ³ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ àÕËØ ÔÄÇÆÇÐËÌÃÞΠÓÂÊÓÂÃÑÕÂРÍÑÐÙÇÒÙËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá. °ÔÕÂÐÑÄËÏÔâ РÍÑÐÙÇÒÙËË, ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓËÆÇÓÉËÄÂáÕÔâ ®ÖÔËÎ Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË [28 ë 38].

¿ÕÂÍÑÐÙÇÒÙËâ ÑÔÐÑÄÂРРÖÚÇÕÇ ÄÎËâÐËâ ÅÇÑÏÇÕÓËË ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕÇÌ, Õ.Ç. ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐ Ë ×ÑÓÏÞÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.2.1. ±ÑÄÞÛÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß2.1.1. ®ÇØÂÐËÊÏÞ ÒÑÄÞÛÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. °ÔÐÑÄÐÞÇ ×ÂÍÕÑÓÞ, ÑÒÓÇÆÇÎâáÜËÇ ÒÑÄÞÛÇÐÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ H, ì àÕÑ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ Ô ÆÑÏËÐËÓÖáÜÇÌÓÑÎßá ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ, ÔËÎÞ ÔÙÇÒÎÇÐËâ ÏÇÉÆÖ ÂÕÑÏÂÏË,ÔÉËÏÂáÜËÇ ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ s, ÅÇÐÇÓËÓÖÇÏÞÇ Ä ÒÎÈÐÍÂØ Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ËØ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ.

£ÑÊÐËÍÐÑÄÇÐËÇ ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÐÇÉÇÎÂÕÇÎßÐÑ Ë ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ËÔÍÎáÚÇÐÑÒÖÕÇÏ ÕÜÂÕÇÎßÐÑÅÑ ÍÑÐÕÓÑÎâ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÐÂÐÇÔÇÐËâÒÑÍÓÞÕËÌ. £ÇÎËÚËРÕÄÈÓÆÑÔÕË ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÕÑÅÑ, ÍÂÍÑÌÒÓÑÙÇÔÔ âÄÎâÇÕÔâ ÆÑÏËÐËÓÖáÜËÏ Ä ÆÂÐÐÑÏ ËÐÕÇÓÄÂÎÇÓÂÊÏÇÓÑÄ ÊÈÓÇÐ (ÓËÔ.

2). ³ÖÜÇÔÕÄÖÇÕ ÍÓËÕËÚÇÔÍÂâ ÄÇÎËÚËРØÂÓÂÍÕÇÓÐÑÅÑ ÓÂÊÏÇÓ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ®ÇÉÊÇÓÇÐÐÞÇ ÒÓÑÙÇÔÔÞ.­ÑÍÂÎßÐÑÇ ÒÓÑÔÍÂÎßÊÞÄÂÐËÇÒÑ ÅÓÂÐËÙÂÏ ÊÇÓÇбÓÑÙÇÔÔÞ ÄÐÖÕÓË ÊÇÓÇÐ.©ÂÓÑÉÆÇÐËÇ Ë ÆÄËÉÇÐËÇÆËÔÎÑÍÂÙËÌ´ÄÇÓÆÑÔÕß¡ÏÑÓ×ÐÂâ×ÂʯÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÂâ ×ÂÊ®ËÍÓÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÂâ ×ÂÊÂdc = 10 ÐϲÂÊÏÇÓ ÊÇÓЬÓËÔÕÂÎÎËÚÐÑÔÕß ÒÎÇÐÍËÂÕ. % N constãÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÕÄÇÓÆÑÔÕˬÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÂâ×ÂÊ¡ÏÑÓ×ÐÂâ×ÂÊÂ0B¬ÓËÔÕÂÎÎËÚÐÑÔÕß ÒÎÇÐÍËÂÕ. % B const£ÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÕÄÇÓÆÑÔÕˬÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÂâ×ÂÊÂ037³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«¡ÏÑÓ×ÐÂâ×ÂÊÂĬÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÂâ×ÂÊÂdc 10 ÐÏ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ÆÑÔÕËÅÐÖÕ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Hmax .

¯ÂÎËÚËÇ ÕÂÍÑÅÑ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÑÅÑÓÂÊÏÇÓ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕßÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ËÎË ÒÎÈÐÑÍ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂ,ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÑ ÕÇÏ, ÚÕÑ ÄÃÎËÊË ÊÐÂÚÇÐËâ dc ÒÓÑËÔØÑÆËÕÐÇÒÓÇÓÞÄÐÞÌ ÒÇÓÇØÑÆ ÑÕ ÏËÍÓÑÔÍÑÒËÚÇÔÍËØ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄÊÂÓÑÉÆÇÐËâ Ë ÆÄËÉÇÐËâ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ (ÒÓË d > dc ), ÑÒËÔÞÄÂÇÏÞÌ ËÊÄÇÔÕÐÞÏ ÊÂÍÑÐÑÏ ·ÑÎÎÂ ë ±ÇÕÚ H d ÿ1=2 ÆÎâÑÃÞÚÐÞØ ÒÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, Í ÏÇÉÍÓËÔÕÂÎÎËÕÐÞÏ ÒÓÑÙÇÔÔÂÏ ÎÑÍÂÎßÐÑÅÑ ÒÓÑÔÍÂÎßÊÞÄÂÐËâ ÒÑÅÓÂÐËÙÂÏ ÊÈÓÇÐ Ë ×ÂÊ (ÒÓË d < dc ).³ÚËÕÂÇÕÔâ, ÚÕÑ Ä ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂØ ÓÂÊÏÇÓÑÏ ÏÇÐÇÇ10 ÐÏ ËÔÕÑÚÐËÍË ÓÂÊÏÐÑÉÇÐËâ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÑÕÔÖÕÔÕÄÖáÕ.±ÓËÐâÕÑ ÕÂÍÉÇ ÔÚËÕÂÕß, ÚÕÑ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞÌ ÓÂÊÏÇÓ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÒÓËÏÇÐËÕÇÎßÐÑ Í ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏ ÏÂÕÇÓËÂÎÂÏ ÏÑÉÇÕ ÐÂØÑÆËÕßÔâ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÑÕ 2 ÆÑ 34 ÐÏ (cÏ.

ÔÔÞÎÍË Ä ÓÂÃÑÕÂØ [7, 13]) .2.1.2. ¶ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÒÎÈÐÑÍ Ô ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ. ¯ÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÇ ÒÎÈÐÍË ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖáÕÔâ ÓÂÊÏÞÕÞÏË,ÏÂÎÑËÐÕÇÐÔËÄÐÞÏË ÒÑÎÑÔÂÏË ÑÕÓÂÉÇÐËâ ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÅÑ ËÊÎÖÚÇÐËâ. ´ÂÍËÇ ÒÎÈÐÍË ×ÑÓÏËÓÖáÕÔâ Ä ÕÂÍÐÂÊÞÄÂÇÏÞØ ÒÇÓÇØÑÆÐÞØ ÑÃÎÂÔÕâØ, ÅÆÇ ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÎÈÐÑÍÔËÎßÐÑ ËÊÏÇÐÇÐÂ. ³ÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÕÓË ÅÓÖÒÒÞ ÒÇÓÇØÑÆÐÞØÔÑÔÕÑâÐËÌ: (1) ÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ ×ÂÊÞ Ä ÂÏÑÓ×ÐÖá; (2) ÒÇÓÇØÑÆ ÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ×ÂÊÂÏË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ Ë (3) ÒÇÓÇØÑÆ ÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ÑÔÐÑÄÐÞÏË ÑÓËÇÐÕÂÙËâÏË ÊÈÓÇÐ ÑÆÐÑÅÑ Ë ÕÑÅÑ ÉÇ ÏÂÕÇÓËÂΠ(ÓËÔ. 2Ã, Ä).2.1.3. ³ÕÓÖÍÕÖÓ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÔÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÏÑÅÖÕ ËÏÇÕß ÓÂÊÎËÚÐÖá ÔÕÓÖÍÕÖÓÖ (ÓËÔ.

3). ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ ÒÇÓÄÑÌ ÅÓÖÒÒÞ (ÔÑÅÎÂÔÐÑÍÎÂÔÔË×ËÍÂÙËË Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 2.1.2) ÔÑÔÕÑâÕ ÎËÃÑ ËÊ ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÞØ (ÔÕÑÎÃÚÂÕÞØ, ÓËÔ. 3Â), ÎËÃÑ ËÊ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ nc-ÊÈÓÇÐ, ÑÍÓÖÉÇÐÐÞØ ÕÑÐÍËÏË ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÏË×ÂÊÂÏË, àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÞÏË ÑÔÐÑÄÐÑÏÖ ÏÂÕÇÓËÂÎÖ (ÓËÔ. 3Ã;ÍÑÎËÚÇÔÕÄÑ B Ä ÔÑÇÆËÐÇÐËË Al1ÿx Bx N ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÓËÔ. 3Â). ¬ÑÎÖÏÐÂÓÐÞÇ ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËâ ÒÇÓÒÇÐÆËÍÖÎâÓÐÞÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇΠÒÑÆÎÑÉÍÂ/ÒÎÈÐÍÂ. ¬ÑÎÖÏÐÂÓÐÖá ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÖ ÕÂÍÉÇ ËÏÇáÕ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ 2-Ì Ë 3-Ì ÅÓÖÒÒ,ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÃÓÂÊÑÄÂÎËÔß Ð ÍÓÂâØ ÑÕÚÇÕÎËÄÑ ÄÞÓÂÉÇÐÐÞØÒÇÓÇØÑÆÑÄ (ÓËÔ. 3Ã).

£ ÒÓÑÕËÄÑÒÑÎÑÉÐÑÔÕß àÕÑÏÖ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ 2-Ì Ë 3-Ì ÅÓÖÒÒ, ÑÃÓÂÊÑÄÂÄÛËÇÔâ ÄÐÖÕÓËÕÂÍÑÅÑ ÒÇÓÇØÑÆÂ, ÔÑÔÕÑâÕ ËÊ ÔÏÇÔË ÐÇÃÑÎßÛËØ ÏËÍÓÑÊÈÓÇÐ Ë ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÒÎÑÕÐÖá ÅÎÑÃÖÎâÓÐÖá ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÖ (ÓËÔ. 3Ä).¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÏÑÉÐÑÓÂÊÆÇÎËÕß Ð ÕÓË ÅÓÖÒÒÞ:1. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ, ÔÑÔÕÑâÜËÇ ËÊ ÊÈÓÇÐ, ÑÃÝÇÆËÐÇÐÐÞØ Ä ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÞÇ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ; ÍÑÎËÚÇÔÕÄ ÄÕÑÓËÚÐÑÌ(ÄÕÑÓÑÌ) ×ÂÊÞ ÑÔÐÑÄÐÑÅÑ ÏÂÕÇÓËÂΠÐÇÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ,¯ÂÐÑÍÑÎÑÐÐÞ±ÓÑÏÇÉÖÕÑÚÐÂâ ×ÂʯÂÐÑÊÇÓÐÑïÂÐÑÊÇÓÐÂ12ÄN²ËÔ. 2. (Â) ³ØÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ÄÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐ d [119, 195, 196].

(Ã, Ä) ±ÇÓÇØÑÆÐÞÇÑÃÎÂÔÕË Ä ÔÑÇÆËÐÇÐËË Al1ÿx Bx N: ÑÃÎÂÔÕß ÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ Ä ÂÏÑÓ×ÐÖá ×ÂÊÖ (Ã) Ë ÑÃÎÂÔÕß ÒÇÓÇØÑÆ ÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏË ×ÂÊÂÏË ËÎË ÆÄÖÏâ ÑÔÐÑÄÐÞÏË ÍÓËÔÕÂÎÎÑÅÓÂ×ËÚÇÔÍËÏËÑÓËÇÐÕÂÙËâÏË ÊÈÓÇÐ (Ä) [119, 195, 196, 35 ë 38].±ÑÆÎÑÉͲËÔ. 3. ³ÕÓÖÍÕÖÓÞ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá:(Â) ÍÑÎÖÏÐÂÓÐÞÇ; (Ã) ÐÂÐÑÊÇÓÐÂ, ÑÍÓÖÉÇÐÐÞÇ ×ÂÊÑÌ, àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÌÑÔÐÑÄÐÑÏÖ ÏÂÕÇÓËÂÎÖ; (Ä) ÔÏÇÔß ÐÂÐÑÊÈÓÇÐ.38¡.¥.

±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÚÕÑÃÞ ÒÑÎÐÑÔÕßá ÒÑÍÓÞÕß ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÄÔÇØ ÊÈÓÇÐ(ÓËÔ. 3Â).2. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ô ÒÎÑÕÐÑÌ ÅÎÑÃÖÎâÓÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÔÑÔÕÑâÕ ËÊ ÐÂÐÑÊÈÓÇÐ, ÒÑÎÐÑÔÕßá ÑÍÓÖÉÈÐÐÞØ ×ÂÊÑÌ ÑÔÐÑÄÐÑÅÑ ÏÂÕÇÓËÂΠ(ÓËÔ. 3Ã).3. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ Ô ÒÎÑÕÐÑÌ ÅÎÑÃÖÎâÓÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ, ÔÑÔÕÑâÜÇÌ ËÊ ÐÂÐÑÊÈÓÇÐ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ËÎËÐÂÐÑÊÈÓÇÐ Ô ÓÂÊÎËÚÐÞÏË ÍÓËÔÕÂÎÎÑÅÓÂ×ËÚÇÔÍËÏË ÑÓËÇÐÕÂÙËâÏË Ë/ËÎË ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ ÓÇÛÇÕÍË, ÔÑÔÕÑâÜÇÌ ËÊ ÑÆÐÑÅÑË ÕÑÅÑ ÉÇ ÏÂÕÇÓËÂΠ(ÓËÔ.

3Ä).¥ÂÐÐÂâ ÍÎÂÔÔË×ËÍÂÙËâ, ÒÑÆÕÄÇÓÉÆÇÐÐÂâ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑ, âÔÐÑ ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÒÓÑËÔØÑÉÆÇÐËÇ ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÐÂÒÓâÏÖá ÔÄâÊÂÐÑ Ô ÓÂÊÏÇÓÑÏ Ë ×ÑÓÏÑÌ"ÔÕÓÑËÕÇÎßÐÞØ ÃÎÑÍÑÄ", ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÔÕÑâÕ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ. ²ÇÛÂáÜÖá ÓÑÎß ËÅÓÂÇÕ ÅÇÑÏÇÕÓËâ àÕËØ ÊÈÓÇÐ.2.2. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖáÕÔâ ËØ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá H, à××ÇÍÕËÄÐÞÏ ÏÑÆÖÎÇÏ ÀÐÅ E ˆ E=…1 ÿ n 2 † Ë ÖÒÓÖÅËÏ ÒÑÔÎÇÆÇÌÔÕÄËÇÏ(ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËÇÏ) We ; ÊÆÇÔß E ì ÏÑÆÖÎß ÀÐÅÂ, n ìÍÑà××ËÙËÇÐÕ ±ÖÂÔÔÑÐÂ. ¥ÂÐÐÞÇ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÑÉÐÑ ÓÂÔÔÚËÕÂÕß ÒÑ ÍÓËÄÞÏ ÐÂÅÓÖÊÍË/ÓÂÊÅÓÖÊÍË, ÍÑÕÑÓÞÇ ÃÞÎËËÊÏÇÓÇÐÞ ÏËÍÓÑÕÄÇÓÆÑÏÇÓÑÏ.

¿ÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ H Ë E ÒÑÊÄÑÎâáÕ ÓÂÔÔÚËÕÂÕß ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇH 3 =E 2 . £ÇÎËÚËÐÞ H Ë E ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÞ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËá ÏÂÕÇÓËÂΠÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË [31]. ±ÎÂÔÕËÚÇÔÍÂâ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËâ ÐÇÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÂ Ä ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ ÔÄÞÔÑÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ë ÐËÊÍËÏ à××ÇÍÕËÄÐÞÏ ÏÑÆÖÎÇÏÀÐÅ E .

£ ÑÃÜÇÏ ÔÎÖÚÂÇ ÐËÊÍÂâ ÄÇÎËÚËРÏÑÆÖÎâ ÀÐÅÂÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÆÂÐÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎâÕßÔâ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØÛËÓÑÍÑÌ ÒÎÑÜÂÆË ÒÑÆ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ.©ÂÄËÔËÏÑÔÕË H ˆ f …E †, H 3 =E 2 ˆ f …H †, We ˆ f …H †ì àÕÑ ÑÔÐÑÄÐÞÇ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâ, ÑÒËÔÞÄÂáÜËÇ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÕÑÐÍËØ ÒÎÈÐÑÍ [24, 27, 32]. ¥Îâ ÄÞÃÓÂÐÐÞØÑÍÔËÆÑÄ, ÍÂÓÃËÆÑÄ Ë ÐËÕÓËÆÑÄ àÕË ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÑÍÂÊÂÐÞРÓËÔ. 4. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 4Â, ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß H ˆ f …E †ÏÑÉÐÑ ÂÒÒÓÑÍÔËÏËÓÑÄÂÕß ÒÓâÏÑÌ ÎËÐËÇÌ:H …GPa † ˆ 0;15E ÿ 12 …GPa † :3…1†2©ÂÄËÔËÏÑÔÕß H =E ˆ f …H †, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÂâ РÓËÔ. 4Ã,ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ÂÒÒÓÑÍÔËÏËÓÑÄÂРÔÎÇÆÖáÜÇÌ àÏÒËÓËÚÇH ˆ 0,15E ÿ 1240350,630H 3 =E 2 , ¤±ÂH, ¤±ÂH3ˆ 4;3 10ÿ3 H 2 :E 220152.3. ±ÑÄÇÆÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ2.3.1.

´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÔÄÑÌÔÕÄ. ¬ÂÍ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔßÄ ÓÂÊÆÇÎÇ 2.1.3, ÖÐËÍÂÎßÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØÒÎÈÐÑÍ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ËØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ. °ÆÐÂÍÑ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ ì àÕÑ ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÂâ ×ÂÊÂ: ÇÔÎË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÃÞΠËÊÅÑÕÑÄÎÇРÒÎÈÐÍÂ, ÒÓÇÄÞÛÂÇÕÐÇÍÑÕÑÓÑÇ ÒÑÓÑÅÑÄÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ Tc , ÕÑ ÏÂÕÇÓËÂÎ ÒÎÈÐÍËÐÂÚËÐÂÇÕ ÍÓËÔÕÂÎÎËÊÑÄÂÕßÔâ. ¿ÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÆÇÔÕÓÖÍÙËËÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ÐÑÄÞØ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ×ÂÊ, ÚÕÑ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÒÓËÚËÐÑÌ, ÒÑ ÍÑÕÑÓÑÌ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑ-H 3 =E 2 ˆ 4,3 10ÿ3 H 2Ã0,40,30,210…2†¿ÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÕÑÚÍË ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ØÑÓÑÛÑ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎâáÕÔâ ÄÆÑÎß ÎËÐËÌ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÏÞØ ÖÓÂÄÐÇÐËâÏË (1) Ë(2). ¿ÕÑ ÑÕÍÓÞÕËÇ, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ËÏÇÇÕ ×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÑÇÊÐÂÚÇÐËÇ ÆÎâ ÒÓÇÆÔÍÂÊÂÐËâ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍÑÅÑ ÒÑÄÇÆÇÐËâÒÑÍÓÞÕËâ.

£Ñ-ÒÇÓÄÞØ, ÏÞ ÄËÆËÏ, ÚÕÑ ÄÑ ÄÔÇØ ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ, ÒÑÍÂÊÂÐÐÞØ Ð ÓËÔ. 4, ÔÖÜÇÔÕÄÖÇÕ ÔÕÓÑÅÑÇ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇ ÏÇÉÆÖ H Ë E ,  ËÏÇÐÐÑ H ÒÑÚÕË ÎËÐÇÌÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÔÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ E (ÓËÔ. 4Â). ²ÂÊÃÓÑÔ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞØÕÑÚÇÍ ÄÑÍÓÖÅ ÒÓâÏÑÌ ÎËÐËË ÏÑÉÇÕ ËÏÇÕß ÓÂÊÐÑÇ ÒÓÑËÔØÑÉÆÇÐËÇ Ë ÇÅÑ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÆÇÕÂÎßÐÑ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕß, ÚÕÑ ÄÙÇÎË ÆÂÐÐÑÌ ÔÕÂÕßË ÐÇ ÄØÑÆËÕ. £Ñ-ÄÕÑÓÞØ, ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÕÑÅÑ ×ÂÍÕÂ, ÚÕÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÎÈÐÍË Hf ÐÇ ÔÕÓÑÅÑ ÓÂÄÐÂ0;1E ,  Hf 4 0;1E ÆÎâ E 4 240 ¤±a Ë Hf 5 0;1E ÆÎâE 5 240 ¤±a, ÕÑ ÏÞ ÏÑÉÇÏ ÍÑÐÕÓÑÎËÓÑÄÂÕß ÏÇØÂÐËÚÇÔÍÑÇ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÒÎÈÐÍË, ÐÂÒÓËÏÇÓ, ÇÈ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË.

¿ÕÑÕ ×ÂÍÕ ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑÑÔÐÑÄÐÂâ ÔÄâÊß ÏÇÉÆÖ H Ë E , ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÐÂâ Ä ÖÓÂÄÐÇÐËâØ (1) Ë (2), ÏÑÉÇÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕßÔâ ÆÎâ ÑÙÇÐÍË ÔÄâÊËÏÇÉÆÖ ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËÇÏ ÒÎÈÐÍË Ë ÇÇ ÄâÊÍÑÔÕßá. ¢ÑÎÇÇÆÇÕÂÎßÐÑ àÕÑ ÑÒËÔÂÐÑ Ä ÓÂÃÑÕÇ [33] .£ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔËÎßÐÑ ÊÂÄËÔâÕÑÕ àÎÇÏÇÐÕÑÄ, ÍÑÕÑÓÞÇ ×ÑÓÏËÓÖáÕ ÑÕÆÇÎßÐÞÇ ×ÂÊÞ, ÑÕÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÅÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ×ÂÊ, ØËÏËÚÇÔÍÑÅÑ ÄÊÂËÏÑÆÇÌÔÕÄËâ ÏÇÉÆÖ ×ÂÊÂÏË Ë ËØ ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ.

¢ÑÎÇÇÆÇÕÂÎßÐÑ àÕÑ ÑÒËÔÂÐÑ Ä ÔÕÂÕßâØ [24, 27, 32] .0,525Zr ë Si ë NMo ë Si ë NW ë Si ë NZrNZrO2ZrN/Ni ÿ 4 ÂÕ. % NiZr ë Cu ë O ÿ 2 ÂÕ. % CuZr ë Cu ë O ÿ 24ÿ44 ÂÕ. % CuAl2O3ZrC/Cu ë O ÿ 40 ÂÕ. % CuTiC/Cu ë O ÿ 80 ÂÕ. % Cu²ÂÔÚÇÕ0,150ÔÍÑÌ ×ÑÓÏÖÎÑÌ:0,7Â[µ¶¯ 2009100200300400E , ¤±Â010204030H, ¤±Â²ËÔ. 4. °ÕÐÑÛÇÐËâ ÏÇÉÆÖ (Â) H Ë E Ë (Ã) ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇ H 3 =E 2 Ë H ÆÎâ ÄÞÃÓÂÐÐÞØ ÑÍÔËÆÑÄ, ÍÂÓÃËÆÑÄ Ë ÐËÕÓËÆÑÄ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ [56].´. 179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÊËÕÐÞÇ ÒÎÈÐÍË ÕÇÓâáÕ ÔÄÑË ÖÐËÍÂÎßÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÓËT > Tc .

±ÓÑÜÇ ÅÑÄÑÓâ, ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ Tc , ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÓÇÄÓÂÜÂÇÕÔâ Ä ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÖá ×ÂÊÖ,ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÖá ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÆÂÐÐÑÅÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ. °ÆÐÂÍÑ ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÔÎÖÚÂâØ ÒÓËØÑÆËÕÔâ ÒÓËÏÇÐâÕß àÕË ÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÄÞÛÇ 1000 C.±ÑàÕÑÏÖ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÓÂÊÓÂÃÂÕÞÄÂÕß ÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá, ÒÓÇÄÞÛÂáÜÇÌ1000 C.2.3.2. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÄÞÔÑÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏÖ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá âÄÎâÇÕÔâ ÑÆÐËÏ ËÊÐÂËÃÑÎÇÇ ÒÓËÄÎÇÍÂÕÇÎßÐÞØ ÔÄÑÌÔÕÄ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. ³ÕÑÌÍÑÔÕß ÕÄÈÓÆÞØ ÒÎÈÐÑÍ Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÔËÎßÐÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ËØ àÎÇÏÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÔÕÂÄÂ. ¯ÂÓËÔÖÐÍÇ 5 ÒÑÍÂÊÂÐÑ ÒÓËÓÂÜÇÐËÇ ÄÇÔ ÒÎÈÐÍË Dm ÍÂÍ×ÖÐÍÙËâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕÉËÅ T.

´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÂâ ÓÇÊÍÑÏÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËá Dm, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÍÂÍÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ Tmax , ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÖÆÂÇÕÔâ0,7Dm, ÏÅ ÔÏÿ20,60,50,40,30,20,10TiAlZrNMunz et al.ÂTiNDonohue et al.TiAlNMunz et al.±ÑÎËÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÇÒÎÇÐÍËTiN/a-Si3N4Veprek et al.TiAlCrYNDonohue et al. ¡ÏÑÓ×ÐÞÇÒÎÇÐÍËTiAlN/CrNTiCTa ë Si ë NWadsworthMunz et al.et al.Zr ë Si ë NMo ë Si ë NMusil et al.500ÿ0,17009001100T, C1300ÃÄ°ÍÔËÆ¡ÏÑÓ×ÐÂâ×ÂÊ¡ÏÑÓ×ÐÂâ×ÂÊÂTa ë Si ë NMo ë Si ë N100 ÐÏ´ÄÇÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ·ÓÖÒÍÑÔÕß´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â1007550250µÆÂÓÐÑÄâÊÍËÌÅb-C3N4¡ÎÏÂʳÄÇÓØÕÄÇÓÆÞÇÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞÔ ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÄâÊÍÑÔÕßánc-MeN/a-Si3N4³ÄÇÓØÓÇÛÇÕÍËnc-MTiN/VN, TiN/NbN(Ni, CeN/ÏâÅÍÂc-BNâu, Ag, Au ËÏÂÕÓËÙÂTiCÆÓ.)TiN´ÄÇÓÆÑÔÕß ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕËÒÑÆÎÑÉÍ˵ÆÂÓÐÂâ ÄâÊÍÑÔÕß²ËÔ.