Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 14

¬ÂÍÄËÆÐÑ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÐÂÅÓÖÊÍË ÍÓËÄÂâ, ÑÒËÔÞÄÂáÜÂâÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË Pn , ËÏÇÇÕÑÔÙËÎÎËÓÖáÜËÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ: ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÂÕÓÇÐËâ ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÓÇÊÍËÏ ÄÔÒÎÇÔÍÑÏ ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌàÏËÔÔËË,  ÕÂÍÉÇ ÊÂÏÇÆÎÇÐËÇÏ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓÂÄÅÎÖÃß ÏÂÕÇÓËÂÎÂ.¬ÂÍ ËÊÄÇÔÕÐÑ, TiNi ËÏÇÇÕ ÕÄÈÓÆÑÔÕß 4,8 ¤±Â Ë ÏÑÆÖÎßÖÒÓÖÅÑÔÕË ÑÕ 59 ÆÑ 66 ¤±¡ (ÔÏ.

ÓÂÃÑÕÞ [10, 12]). ±ÓËÙÂÓÂÒÂÐËË ÏÂÕÇÓËÂÎÂ Ô ÐËÊÍËÏ ÊÐÂÚÇÐËÇÏ E=H ÇÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ ÑÉËÆÂÕß ÖÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË ÍÑÐÕÂÍÕÂ, ÕÑÅÆÂÒÓÑÕÇÍÂÐËÇ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÏÇÐÇÇ ÄÇÓÑâÕÐÑ[10, 18]. ±Ñ ÏÇÓÇ ÒÑÔÕÖÒÂÕÇÎßÐÑÅÑ ÆÄËÉÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓÂÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÞÆÂÄÎËÄÂÐËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÑÃÝÈÏ ÏÂÕÇÓËÂΠÒÇÓÇÆ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ, РÚÕÑ ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇÅÎÖÃËÐÞ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓ h (ÓËÔ. 21Â) Ë ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÛËÓËÐÞ ÙÂÓÂÒËÐÞ (ÓËÔ. 21Ã). ±ÓË ÄÞÆÂÄÎËÄÂÐËËÏÂÕÇÓËÂΠÐÇÎßÊâ ËÔÍÎáÚËÕß ÑÃÓÂÕÐÖá ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÖáÂPNFT±ÇÓÇÏÇÜÇÐËÇ ÑÃÓÂÊÙ …dx=dt†6,411,7Ã13,5 15,6100 ÏÍÏ1,5mhr1,2Äh, ÏÍÏ15h0,90,60,30AE47m14,7242,36¯ÑÓÏÂÎßÐÂâ ÐÂÅÓÖÊÍÂ, ¯7970,00²ËÔ. 21. ³ØÇÏ ÒÓÑÄÇÆÇÐËâ ÂÆÅÇÊËÑÐÐÞØ ËÔÒÞÕÂÐËÌ (Â), ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞÂÆÅÇÊËÑÐÐÞØ ËÔÒÞÕÂÐËÌ ÔËÔÕÇÏÞ "ÒÑÍÓÞÕËÇ Ti ë Zr ë C ë O ë N/ÒÑÆÎÑÉÍ TiNi"; (Ã) ÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÑÍÓÞÕËâ Ä ÊÑÐÇ ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ Ä ÆËÂÒÂÊÑÐÇÐÂÅÓÖÊÑÍ 5 ë 18 ¯ [10]; (Ä) ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË AE; m; h; hr ÑÕ ÒÓËÎÑÉÇÐÐÑÌÐÂÅÓÖÊÍË.ÆÇ×ÑÓÏÂÙËá, Ñ ÚÇÏ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖÇÕ ÔÎÂÃÞÌ ÒËÍ ÐÂÍÓËÄÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌ ÅÎÖÃËÐÞ hr ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË.±ÓÇÑÆÑÎÇÐËÇ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ ÑÃÓÂÊÑÄÂÄÛÇÅÑÔâ ÃÖÅÑÓÍÂÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÓÑÔÕÑÏ ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ.¯ÂÍÑÒÎÇÐËÇ Ë ÓÇÎÂÍÔÂÙËâ àÐÇÓÅËË ÖÒÓÖÅÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÒÓËÄÑÆâÕ Í ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËá ÕÓÇÜËÐ, ÏÑÏÇÐÕ ÒÑâÄÎÇÐËâÍÑÕÑÓÞØ ÑÕÏÇÚÇÐ ÒËÍÑÏ ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌ àÏËÔÔËË.

£ ÏÑÏÇÐÕÄÓÇÏÇÐË, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÌ ÎÑÍÂÎßÐÑÏÖ ÏÂÍÔËÏÖÏÖ ÐÂÍÓËÄÑÌ h…Pn †, ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÑÐËÉÇÐËÇ ÍÑà×××ËÙËÇÐÕÂÕÓÇÐËâ ÆÑ ÒÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ. ¥ÂÎÇÇ ÒÓÑÙÇÔÔÒÓÑÆÑÎÉÂÇÕÔâ Ô ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÐÑÌ ÙËÍÎËÚÐÑÔÕßá. ¬ÂÉÆÑÇÑÃÓÂÊÑÄÂÐËÇ ÜÇÎË (ÓËÔ. 21Ã) ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÏ ÒËÍÑÏ ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌ àÏËÔÔËË (ÓËÔ. 21Ä).´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÏÂÕÇÓËÂΠÒÑÆÎÑÉÍË Ð ÆÐÇ60¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÙÂÓÂÒËÐÞ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß ÎËÛß ÒÑÔÎÇ ÆÑÔÕËÉÇÐËâ ÐÂÅÓÖÊÍËLe3 5 50 ¯, ÚÕÑ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÑÄÂÎÑ Ñ ÄÞÔÑÍÑÌ ÂÆÅÇÊËÑÐÐÑÌ ÒÓÑÚÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ. ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÅÎÖÃËРÒÑÅÓÖÉÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓ ÒÓË ÐÂÅÓÖÊÍÇ 50 ¯ ÔÑÔÕÂÄÎâΠh ˆˆ 38;8 ÏÍÏ,  ÑÔÕÂÕÑÚÐÂâ ÅÎÖÃËРhr ˆ 6;2 ÏÍÏ, ÕÑ ÄÇÎËÚËРÖÒÓÖÅÑÅÑ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ ÒÑÔÎÇ ÔÐâÕËâ ÐÂÅÓÖÊÍËÆÑÔÕËÅÂΠ82,7 %.12. ±ÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ£Ôâ ÆÂÎßÐÇÌÛÂâ ÆÇâÕÇÎßÐÑÔÕß ÒÑ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËá ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ ÃÖÆÇÕ ÔÍÑÐÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÐÂ, ÄÑÔÐÑÄÐÑÏ, РÓÇÛÇÐËË ÔÎÇÆÖáÜËØ ÒÓÑÃÎÇÏ: 1) ÒÑÎÖÚÇÐËÇÒÎÈÐÑÍ Ô ÍÑÐÕÓÑÎËÓÖÇÏÞÏ ÓÂÊÏÇÓÑÏ ÊÈÓÇÐ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÑÕ1 ÆÑ 10 ÐÏ Ô ÙÇÎßá ÄÞâÄÎÇÐËâ ÓÂÊÏÇÓÐÞØ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕÇÌÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ,  ÕÂÍÉÇ ÒÑÎÖÚÇÐËÇ ÐÑÄÞØ ÖÎÖÚÛÇÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÖÐËÍÂÎßÐÞÏË×ËÊËÚÇÔÍËÏË Ë ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË; 2) ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ ËÊ ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ×ÂÊÞ; 3) ÒÇÓÇÐÑÔ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÊÂÓâÆ ÏÇÉÆÖ ÐÂÐÑÊÈÓÐÂÏË Ô ÓÂÊÎËÚÐÞÏ ØËÏËÚÇÔÍËÏ ÔÑÔÕÂÄÑÏ Ë ÓÂÊÎËÚÐÑÌ àÐÇÓÅËÇÌ ¶ÇÓÏË; 4) ÒÑÎÖÚÇÐËÇÐÑÄÞØ ÊÂÜËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÑ ÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá, ÒÓÇÄÞÛÂáÜÇÌ 2000 C Ë 5) ÓÂÊÓÂÃÑÕÍ ÐÑÄÞØÔËÔÕÇÏ ÆÎâ ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÏÇÕÑÆÑÄ ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ.

®ÑÉÐÑ ÑÉËÆÂÕß, ÚÕÑ ÑÚÇÐß ÔÍÑÓÑÕÑÐÍËÇ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞÇ ÒÎÈÐÍË ÃÖÆÖÕ ÔÎÖÉËÕßàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÏË ÏÑÆÇÎâÏË ÆÎâ ÔÑÊÆÂÐËâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÑÃÝÈÏÐÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ Ô ÊÂÆÂÐÐÞÏËÔÄÑÌÔÕÄÂÏË.£ ÐÂÔÕÑâÜÇÇ ÄÓÇÏâ ÐÂÛÎË ÛËÓÑÍÑÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËÇ ÄÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ËÊ TiN, TiNCr, TiZrN, ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ TiN/CrN, MoN/TiAlN Ë ÆÓ. ±ÓË[µ¶¯ 2009ÄÄÇÆÇÐËË Ä ÒÎÈÐÍË TiN ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÄ (ÐÂÒÓËÏÇÓ, Si ËÎË B) ÏÑÉÐÑ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÖÎÖÚÛËÕß ËØ ×ËÊËÍÑÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ Ë ÕÇÏ ÔÂÏÞÏ ÓÂÔÛËÓËÕß ÑÃÎÂÔÕßÒÓËÏÇÐÇÐËâ. ¯ÇÆÂÄÐÑ ÃÞÎ ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐ ÑÃÊÑÓ [7] ÒÑÒÓËÏÇÐÇÐËá ÏÐÑÅÑ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ØÑÓÑÛÑ ÑÒËÔÂÐÑËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÕÑÐÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. £ ÕÂÃÎËÙÇ 3 ÒÓËÄÇÆÇÐÑÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÓËÏÇÓÑÄ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËâ ÕÓËÃÑÎÑÅËÚÇÔÍËØÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÔÑÔÕÑâÜËØ ËÊ ÐÇÔÏÇÛËÄÂÇÏÞØ ×ÂÊ (ÔÏ.

ÕÂÍÉÇ ÔÔÞÎÍË ÄàÕÑÏ ÑÃÊÑÓÇ [33, 37 ë 45, 47]). ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ËÔÒÑÎßÊÖâÍÎÂÔÔËÚÇÔÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ËÊ TiN Ë ÄÄÑÆâ Ä ÐÇÅÑ ÕÂÍËÇÎÇÅËÓÖáÜËÇ àÎÇÏÇÐÕÞ, ÍÂÍ Si, B, Al, Cr, ÏÑÉÐÑ ÒÑÎÖÚËÕßÔÑÚÇÕÂÐËÇ ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ËÊÐÑÔÑÔÕÑÌÍÑÔÕË Ô ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÐËÊÍËÏ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÑÏ ÕÓÇÐËâ [174, 175].

´ÂÍËÇÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ËÒÎÈÐÍË ÏÑÅÖÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕßÔâ ÆÎâ ÊÂÜËÕÞ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕËÑÕÆÇÎßÐÞØ ÖÊÎÑÄ ËÊÆÇÎËÌ Ë ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕÂ, ÒÑÆÄÇÓÅÂáÜËØÔâ ÑÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑÏÖ ÄÑÊÆÇÌÔÕÄËá ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ, ÂÅÓÇÔÔËÄÐÞØ ÔÓÇÆ Ë ËÊÐÑÔÖ [182 ë 191] ì ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÓÇÉÖÜËÌ Ë ÛÕÂÏÒÑÄÞÌ ËÐÔÕÓÖÏÇÐÕ, ÒÓÑÍÂÕÐÞÇ ÄÂÎÍË,ÆÇÕÂÎË ÂÄËÂÙËÑÐÐÞØ ÆÄËÅÂÕÇÎÇÌ, ÅÂÊÑÄÞØ ÕÖÓÃËÐ Ë ÍÑÏÒÓÇÔÔÑÓÑÄ, ÒÑÆÛËÒÐËÍÑÄ ÔÍÑÎßÉÇÐËâ, ÔÑÒΠÆÎâ àÍÔÕÓÖÊËË ÔÕÇÍÎÂ Ë ÏËÐÇÓÂÎßÐÑÅÑ ÄÑÎÑÍÐÂ Ë ÏÐÑÅÑÇ ÆÓÖÅÑÇ [7].³ÓÇÆË ÆÓÖÅËØ ÑÃÎÂÔÕÇÌ ÄÑÊÏÑÉÐÑÅÑ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËâÕÂÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÏÑÉÐÑ ÐÂÊÄÂÕß ÏÂÅÐËÕÑÑÒÕËÍÖ, àÎÇÍÕÓÑÐËÍÖ, ÏÇÆËÙËÐÖ (ÒÑÎÖÚÇÐËÇ ¥¯¬) [200 ë 205]. ¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ,ÒÑÍÓÞÕËâ ÏÑÅÖÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕßÔâ ÒÓË ÔÑÊÆÂÐËË ÐÑÄÑÅÑÒÑÍÑÎÇÐËâ ÃËÑÔÑÄÏÇÔÕËÏÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ì ÑÓÕÑÒÇÆËÚÇÔÍËØ Ë ÆÇÐÕÂÎßÐÞØ ËÏÒÎÂÐÕÂÐÕÑÄ, ËÏÒÎÂÐÕÑÄ ÆÎâÚÇÓÇÒÐÑ- Ë ÚÇÎáÔÕÐÑ-ÎËÙÇÄÑÌ ØËÓÖÓÅËË, ×ËÍÔÂÙËË ÛÇÌÐÑÅÑ Ë ÒÑâÔÐËÚÐÑÅÑ ÑÕÆÇÎÑÄ ÒÑÊÄÑÐÑÚÐËÍÂ Ë ÏÐÑÅÑÅÑ´ÂÃÎËÙ 3.

±ÓËÏÇÓÞ ÕÓËÃÑÎÑÅËÚÇÔÍËØ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ, ÔÑÔÕÑâÜËØ ËÊ ÐÇÔÏÇÛËÄÂáÜËØÔâ ×ÂÊ ([7] Ë ÔÔÞÎÍË ÕÂÏ)±ÑÍÓÞÕËdzÑÔÕÂÄ ÏËÛÇÐ˶ÂÊÑÄÞÌ ÔÑÔÕÂÄ ÒÎÈÐÑÍ­ËÕÇÓÂÕÖÓÂ(ÔÔÞÎÍË ËÊ [7])Ti ë B ë C ë NTiB+Ti ËÎË TiB2+TiCnc-TiC+nc-TiB2+a-BN[37]Ti ë B ë NTiB2+TiN ËÎË TiB2+Tinc-TiN+nc-TiB2 (ËÎË a-TiB2)+a-BN[33, 36, 38]Ti ë Si ë NTi5Si3+Tinc-TiN+nc-TiSi2+a-Si3N4[39]nc-TiN+a-Si3N4[40][33]aTi ë Cr ë B ë NTiB+Ti9Cr4B+Cr2Tinc-TiN+CrB2+a-BN+a-TiB2Ti ë C ë BTiC+TiB2nc-TiB2+TiC+a-B4CTi ë Si ë B ë NTiB2+Ti5Si3+Si ËÎË TiB2+Sinc-TiB2+TiN+nc-TiSi2+a-Si3N4[35, 36]Ti ë Si ë C ë NTiC+Ti5Si3 ËÎË TiC+Ti5SiC2+TiSi2+SiCnc-TiC+nc-Ti2SiC2+nc-TiSi2+SiC+a-Si3N4[36, 42]Ti ë Al ë B ë NTiAlBNnc-TiB2+nc-(Tix Al1ÿx )N+a-BN+a-AlN[1]Ti ë Al ë C ë NTiAl+TiCnc-TiC+nc-(Tix Al1ÿx )N+a-AlN[36]WëCW+ÎÂÊÇÓÐÂâ ÂÃÎâÙËâ Cnc-WC+a-C[43]W ë Si ë NÃnc-W2N+a-Si3N4[44]Ti ë CTiC0,5nc-TiC+a-C[45]Ti ë Al ë Si ë NTiN+TiAlnc-(Tix Al1ÿx )N+a-Si3N4[46]Cr ë Si ë NCr+Sinc-CrN+a-Si3N4[47]Cr ë B ë NCrB2nc-CrB2+a-BN[33]±ÓËÏÇÚÂÐËÇ.

£ ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÔÎÖÚÂÇÄ ÒÎÈÐÍË ÒÑÎÖÚÇÐÞ ÏÇÕÑÆÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ ÏËÛÇÐÇÌ Ä ÔÓÇÆÇ Ar ËÎË N2/Ar. Â ì ±ÎÈÐÍËÒÑÎÖÚÇÐÞ ØËÏËÚÇÔÍËÏ ÑÔÂÉÆÇÐËÇÏ (CVD); à ì ÒÎÈÐÍË ÒÑÎÖÚÇÐÞ ÕÇÓÏËÚÇÔÍËÏ ÑÕÉËÅÑÏ ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÔÎÑÇÄ W ë Si ë N.´. 179, å 1]³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«ÆÓÖÅÑÅÑ, Ñ ÚÇÏ ÒÑÆÓÑÃÐÑ ÐÂÒËÔÂÐÑ Ä ÑÃÊÑÓÐÞØ ÔÕÂÕßâØ [7,201].13. ©ÂÍÎáÚÇÐËDzÂÔÔÏÑÕÓÇÐÑ ÑÆÐÑ ËÊ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËÌ Ä ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄÇÆÇÐËËì ÔÑÊÆÂÐËÇ ÐÑÄÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ,  ËÏÇÐÐÑ ÒÑÎÖÚÇÐËÇÕÄÈÓÆÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ Ë ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ; ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÖÒÓÂÄÎÇÐËâ ËØ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË Ë ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ.

¯ÂÎËÚËÇÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØ ÃÑÎßÛÑÌ ÒÎÑÜÂÆË ÓÂÊÆÇΠ×ÂÊ (ÑÃÝÈÏÐÂâ ÆÑÎâ ÍÑÕÑÓÞØ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ 50 %), ÒÓÑÚÐÑÔÕß ÅÓÂÐËÙ ÓÂÊÆÇΠÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖáÕ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË. °ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÄÐÖÕÓË ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÒÑÄÞÛÂÇÕ ÖÒÓÖÅÑÔÕß ÕÂÍËØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÚÕÑÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÙÇÎÇÐÂÒÓÂÄÎÇÐÐÑ ÏÇÐâÕß ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ Ë ÆÑÔÕËÚß ÄÞÔÑÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË H 4 40 ¤±Â,ÖÒÓÖÅÑÅÑ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ We 4 70 %, ÒÓÑÚÐÑÔÕË, ÉÂÓÑ- ËÍÑÓÓÑÊËÑÐÐÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕË. ±ÑÍÓÞÕËâ ÕÂÍÉÇ ÏÑÅÖÕ ÓÂÊÎËÚÂÕßÔâ ÊÐÂÚÇÐËÇÏ ÏÑÆÖÎâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË, ÔÕÑÌÍÑÔÕßá Í ÖÒÓÖÅÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ Ë ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË (H 3 =E 2 ).´ÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ ÂÄÕÑÓÞ ÔÚËÕÂáÕ ÔÄÑËÏ ÆÑÎÅÑÏ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÏÂÕÇÓËÂÎ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÌ Ä ÆÂÐÐÑÏ ÑÃÊÑÓÇ, ÐÇÏÑÉÇÕ ÒÓÇÕÇÐÆÑÄÂÕß Ð ÒÑÎÐÞÌ ÂÐÂÎËÊ ÄÔÇØ ÑÓËÅËÐÂÎßÐÞØ ÓÂÃÑÕ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ Ä àÕÑÏ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËË (ÕÑÎßÍÑ ÊÂÒÑÔÎÇÆÐËË 3,5 ÅÑÆ ÏÞ ÐÂÔÚËÕÂÎË ÕÂÍËØ ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÐÞØË ÒÓËÐâÕÞØ Ä ÒÇÚÂÕß ÓÂÃÑÕ ÔÄÞÛÇ 900), ËÊÆÂÐÐÞØ ÄÉÖÓÐÂÎÂØ, ÔÃÑÓÐËÍÂØ ÔÕÂÕÇÌ, ÕÓÖÆÂØ ÏÇÉÆÖÐÂÓÑÆÐÞØÍÑÐ×ÇÓÇÐÙËÌ, ÒÓÑÄÑÆËÏÞØ ÍÂÍ Ê ÓÖÃÇÉÑÏ, ÕÂÍ Ë ÐÂÕÇÓÓËÕÑÓËË ³¯¤.

°ÆÐÂÍÑ, ÒÑ ÏÐÇÐËá ÂÄÕÑÓÑÄ, ÃÞÎËÆÂÐÞ ÔÔÞÎÍË Ð ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÑ ÓÂÃÑÕ ÄÇÆÖÜËØ ÔÒÇÙËÂÎËÔÕÑÄ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ Ä àÕÑÌ ÑÃÎÂÔÕË; ÒÓÑÄÇÆÇÐ ÂÐÂÎËÊ àÕËØÓÂÃÑÕ Ë ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÞ ÔÑÄÓÇÏÇÐÐÞÇ ÍÑÐÙÇÒÙËË ×ËÊËÚÇÔÍÑÌ ÍÂÓÕËÐÞ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄ, ÒÓÑËÔØÑÆâÜËØ Ä ÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ËÒÓË ÒÑÎÖÚÇÐËË ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. £ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÍÓËÕËÚÇÔÍËØ ÊÂÏÇÚÂÐËÌ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß,ÚÕÑ ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÔÑÒÑÔÕÂÄËÏÞÇ ËÎËÒÓÇÄÞÛÂáÜËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓËÓÑÆÐÑÅÑ ÂÎÏÂÊ ËÍÖÃËÚÇÔÍÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÃÑÓÂ, ÄÞÊÞÄÂáÕ Ö ÐÂÔ ÐÇÍËÌ ÔÍÇÒÔËÔËÊ-Ê ÄÑÊÏÑÉÐÞØ ÏÇÕÑÆËÚÇÔÍËØ ÑÛËÃÑÍ (ÐÇ ÕÑÎßÍÑÄÞÃÓÂÐÐÑÌ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÎÈÐÑÍ Ë ÄÇÎËÚËÐÞ ÐÂÅÓÖÊÑÍ ÐÂËÐÆÇÐÕÑÓ, ÐÑ Ë ÔÄâÊÂÐÐÞØ Ô ÕÇÏ, ÚÕÑ ÄÔÇ ËÊÏÇÓÇÐËâ ÃÞÎËÒÓÑÄÇÆÇÐÞ Ô ÒÑÏÑÜßá ÂÎÏÂÊÐÞØ ÒËÓÂÏËÆÑÍ, ÍÑÕÑÓÞÇËÏÇáÕ ÍÑÐÇÚÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÑÕ 100 ÆÑ 120 ¤±Â).

±ÑàÕÑÏÖÐÇÑÃØÑÆËÏÞ ÐÑÄÞÇ ÏÇÕÑÆÞ ÑÒÓÇÆÇÎÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË,ÉÇÎÂÕÇÎßÐÑ ÐÇÓÂÊÓÖÛÂáÜËÇ, ÑÔÑÃÇÐÐÑ ÆÎâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ËÎË ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ.¥Îâ ÒÑÐËÏÂÐËâ ÒÑÎÐÑÌ ×ËÊËÚÇÔÍÑÌ ÍÂÓÕËÐÞ ÒÓÑÙÇÔÔÂ, ÒÓÑËÔØÑÆâÜÇÅÑ ÒÓË ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËË ËÎË ÐÇÒÑÎÐÑÌ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË, ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÒÓÑÄÇÆÇÐËÇ ÔÒÇÙËÂÎßÐÞØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ ÒÖÚÍ ÏÇÆÎÇÐÐÞØ ÒÑÊËÕÓÑÐÑÄ [177 ë 179] ËÎË ÎÖÚÛÇËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÓÂÔÕÓÑÄÞÌ ÒÑÊËÕÓÑÐÐÞÌ ÏËÍÓÑÔÍÑÒ [192,193] ÆÎâ ÂÐÂÎËÊ àÄÑÎáÙËË (ÆË××ÖÊËË) ÄÂÍÂÐÔËÑÐÐÞØÆÇ×ÇÍÕÑÄ: ÄÂÍÂÐÔËÌ, ÆËÄÂÍÂÐÔËÌ, ÍÎÂÔÕÇÓÑÄ ÄÂÍÂÐÔËÌ,ÍÑÏÒÎÇÍÔÑÄ "ÄÂÍÂÐÔËâ+ÒÓËÏÇÔÐÞÌ ÂÕÑÏ" Ë ÆÓ.

±ÓËÑÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑÏ ËÎË ÒÑÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑÏ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËËÏËÍÓÑÒÖÚÍ ÒÓÑÕÑÐÑÄ ËÎË ËÑÐÑÄ ÅÇÎËâ Ô ÒÓËÏÇÐÇÐËÇÏÏÇÕÑÆÑÄ ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÒÓÑÕÑÐÂÏË ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÅÑËÊÎÖÚÇÐËâ (PIXE), ÓÇÊÇÓ×ÑÓÆÑÄÔÍÑÅÑ ÑÃÓÂÕÐÑÅÑ ÓÂÔÔÇâÐËâ (RBS) [179 ë 181] Ë, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÂÐÂÎËÊÂ Ô ÒÑÏÑÜßáâÆÇÓÐÞØ ÓÇÂÍÙËÌ (NRA) ÏÑÉÐÑ ÒÓÑÔÎÇÆËÕß Ê ÆÄËÉÇÐËÇÏ ÂÕÑÏÑÄ Ð ÅÓÂÐËÙÂØ ÐÂÐÑÊÈÓÇÐ Ë ÒÓÑÙÇÔÔÂÏË61ÔÇÅÓÇÅÂÙËË Ä ÕÂÍËØ ÔÕÓÖÍÕÖÓÂØ, ÍÂÍ, ÐÂÒÓËÏÇÓ, ncTiN/a-Si3N4, Ta ë Si ë N, Ti ë B ë N. ±ÓË ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËËÑÚÇÐß ÕÑÐÍÑÌ ÒÓÑÔÎÑÌÍË Ä ÄËÆÇ ÑÆÐÑÅÑ ËÎË ÆÄÖØ ÏÑÐÑÔÎÑÇÄ ÏÑÉÐÑ ÃÖÆÇÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÐÂÐÑÒÖÚÍÑÄÖá àÎÇÍÕÓÑÐÐÖá ÔÒÇÍÕÓÑÔÍÑÒËá (ÔÏ.

ÔÔÞÎÍÖ Ä [194]). ¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ,ÑÔÑÃÑÇ ÄÐËÏÂÐËÇ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÖÆÇÎËÕß ÑÒÓÇÆÇÎÇÐËáÐËÉÐÇÅÑ ÒÓÇÆÇΠÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ë ÇÅÑ ÄÎËâÐËá РÕÇÓÏËÚÇÔÍÖá ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ë ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ËÎË ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ËÔÒÑÎßÊÖâ ÒÓË àÕÑÏ, ÐÂÒÓËÏÇÓ, ÖÒÓÖÅËÌ ÓÇÊÑÐÂÐÔ ÒÑ ÍËÔÎÑÓÑÆÖ(ËÎË ÏÇÕÑÆ âÆÇÓÐÞØ ÓÇÂÍÙËÌ), ÒÓËÏÇÐââ ÏËÍÓÑÒÖÚÑÍËÑÐÑÄ ËÎË ÐÂÐÑÒÖÚÑÍ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ [194]. ¹ÖÄÔÕÄËÕÇÎßÐÑÔÕß àÕÑÅÑ ÏÇÕÑÆ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ 10ÿ1 (Ä ÆÑÎâØ ÏÑÐÑÔÎÑâ)Ë ÒÑ ÕÑÎÜËÐÇ (à××ÇÍÕËÄÐÂâ ÅÎÖÃËРÂÐÂÎËÊÂ) 10 ë10000 A, ÃÇÊ ÕÓÂÄÎÇÐËâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÑÃÓÂÊÙÑÄ. £ ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÒÓËÏÇÓ ÏÑÉÐÑ ÔÑÔÎÂÕßÔâ РÓÂÃÑÕÞ [177 ë 181], ÅÆÇËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÏÇÆÎÇÐÐÞÌ ÒÖÚÑÍ ÒÑÊËÕÓÑÐÑÄ Ë ÏËÍÓÑÒÖÚÑÍ (ÒÓÑÕÑÐÑÄ Ë ËÑÐÑÄ ÅÇÎËâ) Ô ÏÇÕÑÆÂÏË PIXE, RBSÆÎâ ÂÐÂÎËÊ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË Ð ÅÓÂÐËÙÂØ ÊÈÓÇÐ ÄÉÇÎÇÊÇ ÒÓË ËÏÒÎÂÐÕÂÙËË ËÑÐÑÄ Al, C, Ti Ë àÄÑÎáÙËË(ÆË××ÖÊËË) ÄÂÍÂÐÔËÑÐÐÞØ ÆÇ×ÇÍÕÑÄ, Ä ÕÑÏ ÚËÔÎÇ Ë ÒÓËÑÕÉËÅÇ Ô ÒÑÏÑÜßá ÔËÎßÐÑÕÑÚÐÑÅÑ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÒÖÚÍÂ[180].¡ÄÕÑÓÞ ÔÚËÕÂáÕ ÒÓËâÕÐÞÏ ÆÑÎÅÑÏ ÄÞÓÂÊËÕß ÒÓËÊÐÂÕÇÎßÐÑÔÕß ÍÑÎÎÇÅÂÏ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÎáÃÇÊÐÑ ÒÓÇÆÑÔÕÂÄËÎËÑÕÕËÔÍË ÔÄÑËØ ÓÂÃÑÕ ÒÑ ÆÂÐÐÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÇ,  ÕÂÍÉÇ ÊÂÍÓËÕËÚÇÔÍËÇ ÄÞÔÍÂÊÞÄÂÐËâ Ë ÑÃÔÖÉÆÇÐËâ ÑÕÆÇÎßÐÞØÓÂÊÆÇÎÑÄ ÆÂÐÐÑÅÑ ÑÃÊÑÓ ².¡.