Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 10

±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£109876543210²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â5040302010200400 600 800 1000 1200 1400´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â60Ã5040302010´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â044424038363432302826200400600800 1000´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C12001098765432101400²ÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÂ, ÐÏ0Äd ˆ 7 ÐÏd ˆ 7 ÐÏ20 ÂÕ.

% Si3N4ÿ8ÿ6ÿ4d ˆ 12 ÐÏ7 ÂÕ. % Si3N4ÿ2d ˆ 25 ÐÏ0200600800400´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C100001200°ÔÕÂÕÑÚÐÑÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ, ¤±Â60²ËÔ. 15. ³ÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ Ë ÔÑÒÖÕÔÕÄÖáÜÇÇ ÇÏÖ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÆÑ 3 ë 4 ÐÏ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÂÐÑÔËÎË Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÆÂÎÈÍËØ ÑÕÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ (ÔÄÇÕÎÞÇ ÍÓÖÉÍË), ÚÕÑ ÒÓËÄÇÎÑ Í ÒÑÎÖÚÇÐËá ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ (Â) ÔÑ ÔÎËÛÍÑÏ ÃÑÎßÛËÏË ÓÂÊÏÇÓÂÏË (ÄÞÔÑÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ,ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍ ËÑÐÂÏË ÐËÊÍËØ àÐÇÓÅËÌ) ËÎË (Ã) ÔÑ ÔÎËÛÍÑÏ ÏÂÎÞÏËÓÂÊÏÇÓÂÏË (ÐËÊÍÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ Ë ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍ ËÑÐÂÏË ÏÂÎÞØàÐÇÓÅËÌ [101, 139]); ÕÇÏÐÞÇ ÍÓÖÉÑÚÍË Ð ÓËÔ.

15Â, à ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÕÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏ ÖÔÎÑÄËâÏ ÐÂÐÇÔÇÐËâ. (Ä) ±ÑÄÇÆÇÐËÇ ÒÓË ÑÕÉËÅÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÑÏ Ë ÆÓ. [102] ÏÇÕÑÆÑÏÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ. ´ÇÓÏËÐÑÎÑÅËâ "ÂÕ. % Si3N4" ÄÊâÕ ËÊÑÃÊÑÓ [102]; ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÔÎÇÆÖÇÕ ÚËÕÂÕß "ÏÑÎ. %".ÐÞØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ Ë ÐÂÒÓâÉÇÐËâØ ÔÏÇÜÇÐËâ РÒÑÆÎÑÉÍÇ[101, 139].

°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÐÇÊÂÄËÔËÏÑ ÑÕ ÒÇÓÄËÚÐÑÅÑÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕ ÒÑÔÎÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÒÑÍÓÞÕËÇ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ "ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÌ" ÕÑÎÜËÐÞ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ 3 ë 4 ÐÏ; àÕÑÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÆÎâ ÄÔÇØ ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-MeN/a-Si3N4,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD Ä ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÄÖÔÎÑÄËâØ, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÜËØ ÊÂÄÇÓÛÇÐËÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ä ÒÓÑÙÇÔÔÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ.±ÑàÕÑÏÖ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ ÕËÒËÚÐÑ ÆÎâ ÐÇÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, Ë, ÍÂÍ ÒÑÆÚÈÓÍËÄÂÎ ¬ÂÐ[140], ÑÐÑ âÄÎâÇÕÔâ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÏ ÊÂÄÇÓÛÇÐËâ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅÂ. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ[µ¶¯ 2009ÑÃÎÂÆÂáÕ ÕÂÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÕÑÅÑ, ÚÕÑ ÍÑÐÇÚÐÂâ, ÒÑÎÐÑÔÕßá ÔÇÅÓÇÅËÓÑÄÂÐÐÂâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ nc-TiN/a-Si3N4 ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ×ËÐÂÎßÐÑÌ ÔÕÂÆËË ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËË ÔÕÇØËÑÏÇÕÓËÚÇÔÍËØ ×ÂÊ.±ÓÑÔÕÑÌ ÕÇÓÏÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍËÌ ÒÑÆØÑÆ (ÔÏ.

[69, 63, 135])ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ àÕÑ ÉÇ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÔÒÓÂÄÇÆÎËÄÑ ÆÎâÓâÆ nc-MeN/a-Si3N4, nc-MeN/a-BN Ë ÆÓÖÅËØ ÔËÔÕÇÏ.±ÑàÕÑÏÖ ÍÑÐÙÇÒÙËâ ÆËÊÂÌР[68] ÔÑÅÎÂÔÐÑ àÕÑÏÖ ÒÑÆØÑÆÖ ËÏÇÇÕ ÑÔÐÑÄÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ.²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕËÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÃÞÎË ÑÒÖÃÎËÍÑÄÂÐÞ ÒÑÊÆÐÇÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËÏË ÅÓÖÒÒÂÏË ÂÄÕÑÓÑÄ. £ ÑÕÐÑÛÇÐËË ÔËÔÕÇÏÞ Ti ë B ë NÂÄÕÑÓÞ ÔÔÞÎÂáÕÔâ РÓËÔ. 14Ä Ë ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÓÂÃÑÕÞ®ÇÌÓØÑ×ÇÓÂ Ë ÆÓ. [66, 67] Ë ÔÔÞÎÍË Ä ÐËØ.

£ ÍÂÚÇÔÕÄÇÕËÒËÚÐÑÅÑ ÒÓËÏÇÓ ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N, ÍÑÕÑÓÞÇÐÂÐÑÔËÎË Ä ÐÇÐÂÆÎÇÉÂÜËØ ÖÔÎÑÄËâØ, ÒÓËÄÑÆËÕÔâ ÓËÔ. 15ÄËÊ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ±ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ Ë ÆÓ., ÔÏ. ÑÃÊÑÓ [102]. ¬ÂÍÄËÆÐÑ, ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si3N4 7 ÂÕ. % (ÄÇÓÑâÕÐÑ,ÔÎÇÆÖÇÕ ÚËÕÂÕß "ÏÑÎ % Si3N4" ËÎË "ÂÕ. % Si") ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ÔËÎßÐÑÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ÔÉËÏÂáÜÇÇ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ 5 500 C.

°ÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑÇ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ë ÔÉËÏÂáÜÇÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ (ÑÕ 5 ÿ 7 ÆÑ ÿ2 ¤±Â) Ë ÔÓÂÄÐÇÐËÇ Ô ÒÑÄÇÆÇÐËÇÏÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ(ÓËÔ. 13Â), ÒÓÇÆÒÑÎÂÅÂÇÕ, ÚÕÑ ÒÑÍÂÊÂÐÐÑÇ Ð ÓËÔ. 15ÄÔÓÇÆÐÇÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË 34 ¤±Â, ÄÇÓÑâÕÐÑ,âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË ÄÞÔÑÍÑàÐÇÓÅÇÕËÚÐÞÏË ËÑÐÂÏË. °ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÒÑ ÔÎÑÄÂÏ ÂÄÕÑÓÑÄ [19]ÑÐË ÐË ÓÂÊÖ ÐÇ ÐÂÃÎáÆÂÎË ÕÂÍÖá ÐËÊÍÖá ÕÇÓÏÑÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐË Ä ÑÆÐÑÏ ËÊ ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ËÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÜËØ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ.µÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N Ä [141, 142] ÐÇÑÒÓÇÆÇÎÇÐÞ,  ÆËÔÔÇÓÕÂÙËâ M.

¥ËÔÇÓÇÐÔ, РÍÑÕÑÓÖáÔÔÞÎÂáÕÔâ Ä ÑÃÊÑÓÇ [102] (ÔÏ. [30] Ä [102]), ÃÞΠÐÇÆÑÔÕÖÒРРÏÑÏÇÐÕ ÐÂÒËÔÂÐËâ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÑÃÊÑÓÂ. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ÏÑÉÐÑ ÕÑÎßÍÑ ÆÑÒÖÔÕËÕß, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ ÃÞÎËÒÑÆÑÃÐÞ ÕÇÏ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÞ Ä ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐÇÌ ÔÕÂÕßÇàÕËØ ÂÄÕÑÓÑÄ, Õ.Ç. ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ "ÐËÍÑÅÆ ÐÇ ÒÓÇÄÞÛÂÎÂ350 C", ÔÏÇÜÇÐËÇ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÍÑÎÇÃÂÎÑÔß ÏÇÉÆÖ ÿ100 Ëÿ125 £,  "ÄÂÓËÂÙËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍÓÇÏÐËâ (Ä ÒÑÍÓÞÕËË)ÆÑÔÕËÅÂÎËÔß ÒÓË ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËË ÓÂÊÎËÚÐÑÅÑ ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕÂ Ë ÍÑÎÇÃÂÎËÔß ÏÇÉÆÖ 8 10ÿ2 Ë1;2 10ÿ1 ±Â" (0,0008 ë 0,0012 ÏÃÂÓ) ÒÓË "ÑÔÐÑÄÐÑÏÆÂÄÎÇÐËË Ä ÓÇÂÍÕÑÓÇ ÐËÉÇ 2 10ÿ4 ±Â" (2 10ÿ6 ÏÃÂÓ,ÔÏ. [141]).

´ÂÍÖá ÉÇ ËÐ×ÑÓÏÂÙËá ÒÑ ÒÑÄÑÆÖ ÖÔÎÑÄËÌÐÂÐÇÔÇÐËâ ÏÑÉÐÑ ÐÂÌÕË Ë Ä ÆÓÖÅËØ ÓÂÃÑÕÂØ àÕÑÌ ÅÓÖÒÒÞ[73, 142 ë 144]. ³ÓÂÄÐËÄÂâ ÖÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ËÊ ÏÐÑÅËØÓÂÃÑÕ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ ÖÄÇÎËÚËÄÂÎÂÔß Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË, ÏÑÉÐÑÄËÆÇÕß, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ±ÂÕÛÂÌÆÇÓ ËÆÓ., ÃÞÎË ÕËÒËÚÐÞÏË ÆÎâ ÖÒÓÑÚÐÇÐËâ Ê ÔÚÈÕ ËÑÐÐÑÌÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍË.

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÒÑÐâÕÐÞÏ,ÒÑÚÇÏÖ ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë Si ë N Ö àÕËØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ ÄÇÎËÔÇÃâ ÒÑÚÕË ÑÆËÐÂÍÑÄÑ, Ä ÑÕÎËÚËÇ ÑÕ ÆÂÐÐÞØ £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.[69] ÆÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÂÐÂÎÑÅËÚÐÞÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si.¯ÇÃÑÎßÛÑÇ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÇ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ Si3N4 (ÒÑÓâÆÍ 20 ÂÕ. % (ÔÏ.ÓËÔ. 15)), ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÔÄâÊÂÐÑ Ô ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÑÌ ÄÞÛÇÔÇÅÓÇÅÂÙËÇÌ ×ÂÊ. £Ñ ÄÔÇØ ÒÑÍÓÞÕËâØ nc-MeN/a-Si3N4, ÄÍÑÕÑÓÞØ ÃÞΠÑÃÐÂÓÖÉÇРÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ËÍÑÕÑÓÞÇ ÑÔÕÂÎËÔß ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÆÑ 1100 C(ÓËÔ.

14Â, Ã), ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ Si3N4 ÃÞÎÑ ÃÎËÊÍÑ Í 20 ÂÕ. %.¿ÕÑ ÔÓÂÄÐÇÐËÇ ÄÐÑÄß ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÖÔÎÑÄËâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ53³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«9.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá£ÞÔÑÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÏ ÔÑÔÕÂÄÇ ËÕÄÈÓÆÑÔÕË 5 50 ¤±Â ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÎÂÔß Ä ÒÇÓÄÑÌ ÓÂÃÑÕÇ£ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ. [68]. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 16 ËÊ ÓÂÃÑÕÞ [94]ÔÓÂÄÐËÄÂÇÕÔâ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [68], ÔÑÏÐÑÅËÏË ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÍÂÍ ÔÑÑÃÜÂήáÐÙ Ä 1986 Å.

[146]. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎËÊÂÙËâ ÒÓËÏÇÐâÎÂÔß Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ (TiAl)N, ÎÇÅËÓÑÄÂÐÐÞØ ËÕÕÓËÇÏ [147,148]. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 16à ÒÑÍÂÊÂРÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÆÎâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN,ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD, Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ Ä ÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [99, 133].³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÔÕÂÃËÎßÐÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 Ô ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä 50 ¤±Â [68] ÔÓÂÄÐËÄÂÇÕÔâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßáÎÇÅËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ËÕÕÓËÇÏ …Al1ÿxÿy Tix Yy †N.

³ÕÂÃËÎßÐÑÔÕßÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÐÇÏÐÑÅÑÄÞÛÇ, ÚÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß TiN, ÐÑ ÐÇ ÐÂÏÐÑÅÑ ÎÖÚÛÇ, ÚÇÏÖ nc-TiN/a-Si3N4. £ÞÔÑÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÖÒÑÔÎÇÆÐËØ ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔËÎßÐÑÌ Ë ÒÎÑÕÐÑÌ ÅÓÂÐËÙÞÓÂÊÆÇΠSi3N4, ÍÑÕÑÓÂâ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ (ÑÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ËÕÕÓËÌ Ä…Al1ÿxÿy Tix Yy †N ÕÂÍÉÇ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÄÆÑÎß ÅÓÂÐËÙ ÊÈÓÇÐ). ¢ÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN ÇÔÕß ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÎÇÇ ÐËÊÍÑÌ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ×ÂÊÞ BN. ¿ÕÑ ÃÞÎѸÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÞÌÍÂÓÃËÆ WC8µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÇÔÂ, Å ÔÏÿ2ÒÑÍÓÞÕËÌ Ë ÓÇÊÖÎßÕËÓÖáÜÂâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓ ÒÑÍÓÞÕËÌTi ë Si ë N, Ñ ÍÑÕÑÓÑÌ ÔÑÑÃÜÂÎË ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË [19], ÃÞÎËÆÂÎÇÍË ÑÕ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÌ.

¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÐÂÏ ÕÓÖÆÐÑÑÃÔÖÉÆÂÕß ÄÑÊÏÑÉÐÞÇ ÒÓËÚËÐÞ ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ, ÕÂÍ ÍÂÍÏÞ ÐÇ ÓÂÔÒÑÎÂÅÂÇÏ ÒÑÎÐÞÏË ÆÂÐÐÞÏË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÔÑÔÕÂÄ (20 ÂÕ. % Si ËÎË ÏÑÎ % Si3N4?), ÖÔÎÑÄËÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÒÓËÏÇÔÇÌ Ë ÆÓ. ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ËÊ ÔÕÂÕÇ̱ÂÕÛÂÌÆÇÓÂ, ÍÑÕÑÓÞÌ Ä ÔÄÑËØ ÑÃÊÑÓÂØ [73, 102] ÆÂÉÇ ÐÇÔÔÞÎÂÇÕÔâ РÒÑØÑÉËÇ ËÎË ÃÑÎÇÇ ÕÑÚÐÞÇ ÓÂÐÐËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÆÓÖÅËØ ÂÄÕÑÓÑÄ.£ ÒÑÔÎÇÆÐÇÇ ÄÓÇÏâ ®ÇÌÓØÑ×ÇÓ Ë ÆÓ. [145] ÔÑÑÃÜÂÎË ÑÄÓÇÏÇÐÐÑÏ ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËË ÒÑÔÎÇ ÐÂÚÂÎßÐÑÌ ÔÕÂÆËËÓÂÊÎÑÉÇÐËâ …Ti1ÿx Alx †N, ÍÑÕÑÓÑÇ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÚÇÓÇÊ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÒÓÑÏÇÉÖÕÑÚÐÑÌ ÏÇÕÂÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÍÖÃËÚÇÔÍÑÌ×ÂÊÞ c-AlN ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÑÍÑÎÑ 800 ë 900 C. ¶ÂÊ cAlN ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÔÒËÐÑÆÂÎßÐÞÏ ÓÂÊÎÑÉÇÐËÇÏ ÒÇÓÇÐÂÔÞÜÇÐÐÑÅÑ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÓÂÔÕÄÑÓ …Ti1ÿx Alx †N РÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ ¤¸¬-TiN. ±ÑÔÎÇ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÑÕÉËÅ ÆÑ> 900 C ÓÂÔÕÄÑÓ ÓÂÊÓÖÛÂÇÕÔâ ÆÑ h-AlN Ë ÒÑÍÓÞÕËÇÓÂÊÏâÅÚÂÇÕÔâ.¬ÂÍ ÔÎÇÆÖÇÕ ËÊ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ÓÂÃÑÕÞ [111], ÔÎÑÌ Si3N4ÓÂÔÕÈÕ Ð ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË TiN ÒÑÚÕË ÅÇÕÇÓÑàÒËÕÂÍÔËÂÎßÐÑ.´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÑÉËÆÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÕÂÍÂâ ÍÑÐ×ËÅÖÓÂÙËâ ÃÖÆÇÕ ÑÃÎÂÆÂÕß ÄÞÔÑÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá [145]; àÕÑ âÄÎâÇÕÔâÐÂËÃÑÎÇÇ ÄÇÓÑâÕÐÑÌ ÒÓËÚËÐÑÌ ÚÓÇÊÏÇÓÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-(Al1ÿx Tix )N/a-Si3N4,ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ Ä ÓÂÃÑÕÇ [139].

±ÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 1200 CÓÇÍÓËÔÕÂÎÎËÊÂÙËâ Ë ÓÂÊÏâÅÚÇÐËÇ ÊÂÍÂÐÚËÄÂáÕÔâ Ë ÑÃÐÂÓÖÉËÄÂÇÕÔâ ÔËÎßÐÂâ ÆË××ÖÊËâ ÍÑÃÂÎßÕ ËÊ ÒÑÆÎÑÉÍËÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆ ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ [139]. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, ÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ËÊÆÇÎËÌ Ô ÒÑÍÓÞÕËâÏË ËÊ …Al1ÿx Tix †N ÑÅÓÂÐËÚÇРÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá ÙÇÏÇÐÕËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ ÍÂÓÃËÆÂ.6ÂTiND. Munz 1986D. Munz et al. 2001TiAlN4200,6µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÇÔÂ, Å ÔÏÿ2´. 179, å 1]0,50,40,3nc-TiN/a-Si3N4Veprek, Reiprich 1995nc-TiN/a-Si3N4200TiAlCrYN400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, CPVD TiN [Si] = 0 ÂÕ.%PVD TiSiN [Si] = 5,3 ÂÕ.%PVD TiSiN [Si] = 10,5 ÂÕ.%PCVD TiN [B] = 0 ÂÕ.%PCVD TiBN [B] = 2,5 ÂÕ.%PCVD TiBN [B] = 4 ÂÕ.%PCVD TiSiN [Si] = 9 ÂÕ.%1000ÃTiNnc-TiN/a-BNnc-TiN/a-Si3N40,20,10200400600800´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ, C1000²ËÔ. 16.

(Â) ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/aSi3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÇÕÑÆÑÏ PCVD [8], Ä ÔÓÂÄÐÇÐËË Ô ÆÓÖÅËÏËÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞÏË ÕÄÈÓÆÞÏË ÒÑÍÓÞÕËâÏË (ËÊ ÓÂÃÑÕ [19, 94]). ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÑÍÓÞÕËÌ WC, TiN Ë …Ti1ÿx Alx †N ÄÊâÕ ËÊ[146], ÆÎâ TiAlCrYN ì ËÊ [147, 148].

(Ã) ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËáÆÎâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-BN, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ PCVD[134, 137], Ë nc-TiN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏÄ ÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÃÇÔÒÇÚËÎË ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [99, 133].ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä ÓÂÃÑÕÂØ [136, 137], ÅÆÇ ÒÑÔÎÇ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâÃÑÓ ÃÞÎ ÒÑÕÇÓâÐ Ä ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ÓÇÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ Ë ÔÖÃÎËÏÂÙËË ÔÖÃÑÍÔËÆÑÄ BOx .¢ÑÎÇÇ ÐËÊÍÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö TiNËÊÄÇÔÕРËÊ ÓÂÃÑÕ ®áÐÙ [146 ë 148],  ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÂâÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá Ö Si3N4 ØÑÓÑÛÑ ËÊÄÇÔÕРËÊÖÚÇÃÐËÍÑÄ. ¬ÂÍ Ë Ä ÔÎÖÚÂÇ SiC, ÒÑÔÎÇ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ Si3N4×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÒÎÑÕÐÞÌ ÔÎÑÌ SiO2, ÍÑÕÑÓÞÌ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÄÒÎÑÕß ÆÑ ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ,ÃÎËÊÍËØ Í 1600 C.

³ ÆÓÖÅÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ, ËÊ-Ê ÐËÊÍÑÌ ÕÑÚÍËÒÎÂÄÎÇÐËâ B2O3, ÓÂÄÐÑÌ 450 C [138], ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ×ÂÊÞ BN ÐËÉÇ. ±ÑàÕÑÏÖ ÔÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÑÍÓÞÕËÌ nc-TiN/a-Si3N4 ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si3N4 ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ (ÐÑ ÊÂÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÄÞÛÇ 20 ÑÃ.