Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий
Описание файла
PDF-файл из архива "Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "основы наноэлектроники и нанотехнологии" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
ÁÐÄÂÓß 2009 Å.µ³±¦·ª ¶ª©ª¹¦³¬ª· ¯¡µ¬´ÑÏ 179, å 1°¢©°²½ ¡¬´µ¡¾¯½· ±²°¢¦®³ÕÓÖÍÕÖÓÂ Ë ÔÄÑÌÔÕÄ ÕÄÈÓÆÞØË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ¡.¥. ±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±. ºÒÂÍ, ¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®. ¢ÇÓÇÔÐÇÄ°ÃÔÖÉÆÂáÕÔâ ÓÂÊÎËÚÐÞÇ ÒÑÆØÑÆÞ Í ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËá ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ Ë ÔÄÇÓØÄÞÔÑÍÑÌÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä ÆËÂÒÂÊÑÐÇ ÑÕ 4 30 ÆÑ 100 ë 120 ¤±Â. °ÔÐÑÄÐÑÇ ÄÐËÏÂÐËÇ ÖÆÇÎâÇÕÔâ ÂÐÂÎËÊÖ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÕÑÐÍËØ (4 10 ÏÍÏ) ÒÑÍÓÞÕËâØ. ²ÂÔÔÏÑÕÓÇÐÑ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÄÂÓËÂÐÕÑÄ ÒÑÎÖÚÇÐËâÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÏÇÕÑÆÂÏË ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ, ËÑÐÐÑ-ÔÕËÏÖÎËÓÑÄÂÐÐÑÅÑ Ë ÄÂÍÖÖÏÐÑ-ÆÖÅÑÄÑÅÑ ÑÔÂÉÆÇÐËâ.
¥ÂÈÕÔâ ÍÎÂÔÔË×ËÍÂÙËâ ÕÄÈÓÆÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÔÄÞÔÑÍÑÌ ÕÇÓÏËÚÇÔÍÑÌ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕßá. ±ÑÍÂÊÂÐÞ ÄÑÊÏÑÉÐÞÇ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ë ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÓÂÊÄËÕËâ àÕÑÅÑ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâ.PACS numbers: 61.46. ± w, 62.20.Qp, 62.25. ± g³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ1.2.3.4.5.6.7.£ÄÇÆÇÐËÇ (35).¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá (36).2.1. ±ÑÄÞÛÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß. 2.2.
®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ. 2.3. ±ÑÄÇÆÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ. 2.4. £âÊÍÑÔÕß ÕÑÐÍËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ.¶ËÊËÚÇÔÍËÇ Ë ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÐÂÒÞÎÈÐÐÞØ ÒÎÈÐÑÍTa ë Si ë N Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇÏ (>40 ÂÕ.%) Si (40).3.1. ³ÍÑÓÑÔÕß ÑÔÂÉÆÇÐËâ ÏÇÕÑÆÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ.3.2. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ Ë ÏÂÍÓÑÐÂÒÓâÉÇÐËâ. 3.3.
³ÕÑÌÍÑÔÕß ÍÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá.³ÄâÊß ÖÒÓÖÅÑÐÂÒÓâÉÈÐÐÑÅÑ ÔÑÔÕÑâÐËâ Ô ÆÇ×ÇÍÕÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÕËÒ nc-TiN ë Cu Ë nc-AlN ë Cu (41).³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÞ (44).³ÓÂÄÐÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞØ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÑÌ, ÔÑÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË, ÕÇÓÏËÚÇÔÍË ÔÕÂÃËÎßÐÞÏË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂÏË(45).µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâ ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÒÑÎÐÑÌ ×ÂÊÑÄÑÌ ÔÇÅÓÇÅÂÙËËÒÓË ÐÂÐÇÔÇÐËË ÒÑÍÓÞÕËÌ (46).7.1. ³ÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ. 7.2. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇ ÆÎâÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ.¡.¥.
±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±. ºÒÂÍ. ªÐÔÕËÕÖÕ ÏÇÕÂÎÎÑ×ËÊËÍËËÏ. ¤.£. ¬ÖÓÆáÏÑÄ ¯¡¯ µÍÓÂËÐÞ,¢ÖÎßÄÂÓ ÂÍ. £ÇÓÐÂÆÔÍÑÅÑ 36, 252680 ¬ËÇÄ, µÍÓÂËÐÂ,´ÇÎ. +38(054) 278-39-86, +38(068) 160-69-89,E-mail: apogrebnjak@simp.sumy.ua, alexp@i.ua¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®. ¢ÇÓÇÔÐÇÄ. ·ÂÓßÍÑÄÔÍËÌ ÐÂÙËÑÐÂÎßÐÞÌÖÐËÄÇÓÔËÕÇÕ ËÏ. £.¯. ¬ÂÓÂÊËÐÂ,ÒÎ. ³ÄÑÃÑÆÞ 4, 61077 ·ÂÓßÍÑÄ, µÍÓÂËдÇÎ. +38(057) 720-32-52, +38(050) 641-60-35, +38(057) 706-33-35E-mail: scpt@bi.com.ua; azarenkov@univer.kharkov.ua³ÕÂÕßâ ÒÑÔÕÖÒËΠ14 ×ÇÄÓÂÎâ 2008 Å.,ÒÑÔÎÇ ÆÑÓÂÃÑÕÍË 3 ËáÎâ 2008 Å.3*DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.00358.9.³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá 80 ë 100 ¤±Â (49).³ÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ (50).9.1. ¥ÑÎÅÑÄÓÇÏÇÐÐÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ð ÄÑÊÆÖØÇ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ.
9.2. ´ÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß Ë "ÔÂÏÑÖÒÓÑÚÐÇÐËÇ" ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ. 9.3. ³ÕÑÌÍÑÔÕß Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá.9.4. ®ÑÓ×ÑÎÑÅËâ Ë ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÂ.10. ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ (55).11. ¡ÆÅÇÊËÑÐÐÂâ ÒÓÑÚÐÑÔÕß Ë ÓÂÊÓÖÛÇÐËÇ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÒÓË ÙÂÓÂÒÂÐËË (59).12. ±ÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ (60).13. ©ÂÍÎáÚÇÐËÇ (61).³ÒËÔÑÍ ÎËÕÇÓÂÕÖÓÞ (61).1. £ÄÇÆÇÐËÇ°ÆÐËÏ ËÊ ÒÓËÑÓËÕÇÕÐÞØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËÌ ÔÑÄÓÇÏÇÐÐÑÌÐÂÖÍË Ë ÕÇØÐËÍË âÄÎâÇÕÔâ ÓÂÊÓÂÃÑÕÍ ÐÑÄÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, Ä ÚÂÔÕÐÑÔÕË, ÔÑÊÆÂÐËÇ ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ô ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞÏ ÓÂÊÏÇÓÑÏ ÊÇÓÐÂÏÇÐÇÇ 100 ÐÏ. °ÉËÆÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÑÌÐÂÖÚÐÑ-ÕÇØÐËÚÇÔÍÑÅÑ ÓÂÊÄËÕËâ Í ÔÇÓÇÆËÐÇ XXI ÄÇÍÂÔÕÂÐÇÕ ÐÂÐÑÕÇØÐÑÎÑÅËâ.
³ÖÜÐÑÔÕß ÐÂÐÑÕÇØÐÑÎÑÅËÌÔÑÔÕÑËÕ Ä ËØ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕË ÓÂÃÑÕÂÕß Ð ÂÕÑÏÐÑÏ, ÏÑÎÇÍÖÎâÓÐÑÏ Ë ÐÂÆÏÑÎÇÍÖÎâÓÐÑÏ ÖÓÑÄÐâØ, Ä ËÐÕÇÓÄÂÎÇ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ÑÕ 1 ÆÑ 50 ÐÏ, ÆÎâ ÕÑÅÑ ÚÕÑÃÞ ÔÑÊÆÂÄÂÕß, ÑÃÓÂÃÂÕÞÄÂÕß Ë ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕß ÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÖÔÕÓÑÌÔÕÄ ËÔËÔÕÇÏÞ, ÑÃÎÂÆÂáÜËÇ ÐÑÄÞÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË Ë ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞÏË ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕâÏË ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÏÂÎÑÏÖ ÓÂÊÏÇÓÖàÎÇÏÇÐÕÑÄ ËØ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ [1 ë 5]. ³ ×ËÊËÚÇÔÍÑÌ ÕÑÚÍËÊÓÇÐËâ ÒÇÓÇØÑÆ Í ÐÂÐÑÔÑÔÕÑâÐËá ÔÄâÊÂÐ Ô ÒÑâÄÎÇÐËÇÏÓÂÊÏÇÓÐÞØ à××ÇÍÕÑÄ, ÒÑÆ ÍÑÕÑÓÞÏË ÔÎÇÆÖÇÕ ÒÑÐËÏÂÕßÍÑÏÒÎÇÍÔ âÄÎÇÐËÌ, ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÐÞØ ËÊÏÇÐÇÐËÇÏ ÔÄÑÌÔÕÄÄÇÜÇÔÕÄ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔÑÄÒÂÆÇÐËâ ÓÂÊÏÇÓ ÃÎÑÍ ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë ÐÇÍÑÕÑÓÑÌ ÍÓËÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÎËÐÞ, ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖáÜÇÌ ÆÂÐÐÑÇ âÄÎÇÐËÇ (ÆÎËРÔÄÑÃÑÆÐÑÅÑ ÒÓÑÃÇÅÂàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ë ×ÑÕÑÐÑÄ, ÕÑÎÜËРÔÕÇÐÍË ÆÑÏÇÐÑÄ, ÍÓËÕËÚÇÔÍËÌ ÓÂÆËÖÔ ÆËÔÎÑÍÂÙËÑÐÐÑÌ ÒÇÕÎË Ë ÆÓ.).# ¡.¥. ±ÑÅÓÇÃÐâÍ, ¡.±.
ºÒÂÍ, ¯.¡. ¡ÊÂÓÇÐÍÑÄ, £.®. ¢ÇÓÇÔÐÇÄ 200936¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£²ÂÊÏÇÓÐÞÇ à××ÇÍÕÞ ÒÓÑâÄÎâáÕÔâ, ÍÑÅÆ ÔÓÇÆÐËÌÓÂÊÏÇÓ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÊÈÓÇÐ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÏÇÐÇÇ 50 ÐÏ, ËÐÂËÃÑÎÇÇ ÑÕÚÇÕÎËÄÑ ÐÂÃÎáÆÂáÕÔâ, ÍÑÅÆ ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐÒÓËÃÎËÉÂÇÕÔâ Í ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÇÐÇÇ 10 ÐÏ. £ ÕÂÃÎËÙÇ 1ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÐÇÍÑÕÑÓÞÇ ÓÂÊÏÇÓÐÑ-ÊÂÄËÔËÏÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ [6 ë 10]. £ àÕÑÌ ÔÄâÊË ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÏÑÉÐÑÍÎÂÔÔË×ËÙËÓÑÄÂÕß ÒÑ ÅÇÑÏÇÕÓËÚÇÔÍÑÌ ×ÑÓÏÇ Ë ÓÂÊÏÇÓÖÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØ àÎÇÏÇÐÕÑÄ, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÐË ÔÑÔÕÑâÕ.
°ÔÐÑÄÐÞÏË ÕËÒÂÏË ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ ÒÑ ÓÂÊÏÇÓÖ ÊÈÓÇÐ âÄÎâáÕÔâ ÍÎÂÔÕÇÓÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÄÑÎÑÍÑÐÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ,ÒÎÈÐÍË Ë ÒÑÍÓÞÕËâ, ÏÐÑÅÑÔÎÑÌÐÞÇ (ÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞÇ) ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ,  ÕÂÍÉÇ ÑÃÝÈÏÐÞÇ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÇÏÂÕÇÓËÂÎÞ, ÊÇÓРÍÑÕÑÓÞØ ËÏÇáÕ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄÞÇ ÓÂÊÏÇÓÞ ÄÑ ÄÔÇØ ÕÓÈØ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËâØ [1 ë 19].±ÑÔÍÑÎßÍÖ Ä ÆÂÐÐÑÏ ÑÃÊÑÓÇ ÏÞ ÑÔÕÂÐÂÄÎËÄÂÇÏÔâ ÐÂÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá, ÕÑÒÓÇÉÆÇ ÄÔÇÅÑ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß ÖÐËÍÂÎßÐÑÔÕß àÕËØÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ Ë ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ,ÍÑÕÑÓÂâ ÊÂÍÎáÚÂÇÕÔâ Ä ÄÞÔÑÍÑÌ ÑÃÝÈÏÐÑÌ ÆÑÎÇ ÅÓÂÐËÙÓÂÊÆÇΠ×ÂÊ Ë ËØ ÒÓÑÚÐÑÔÕË, Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÆËÔÎÑÍÂÙËÌÄÐÖÕÓË ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ Ë ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ËÊÏÇÐÇÐËâ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâ ÑÃÝÈÏÐÞØ ÆÑÎÇÌ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ Ë ÂÏÑÓ×ÐÑÌ×ÂÊ,  ÕÂÍÉÇ ÄÊÂËÏÐÑÌ ÓÂÔÕÄÑÓËÏÑÔÕË ÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ËÐÇÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÄ [7 ë 12].
´ÂÍ, ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÐÂÎËÚËÇ ÃÑÎßÛÑÌ ÒÎÑÜÂÆË ÓÂÊÆÇΠ×ÂÊ (ÑÃÝÈÏÐÂâ ÆÑÎâÍÑÕÑÓÞØ ÏÑÉÇÕ ÆÑÔÕËÅÂÕß 4 50 %) Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØÒÑÍÓÞÕËâØ Ë ÒÎÈÐÍÂØ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ËÊÏÇÐâÕß ËØÔÄÑÌÔÕÄ ÍÂÍ ÒÖÕÇÏ ÏÑÆË×ËÍÂÙËË ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ë àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÔÕÓÑÇÐËâ, ÕÂÍ Ë Ê ÔÚÇÕ ÎÇÅËÓÑÄÂÐËâ ÓÂÊÎËÚÐÞÏËàÎÇÏÇÐÕÂÏË [1 ë 4, 7, 19]. ±ÓÑÚÐÑÔÕß ÅÓÂÐËÙ ÓÂÊÆÇÎÂÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖÇÕ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÔÕÑÌÍÑÔÕË ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÞØ (ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ) ÒÑÍÓÞÕËÌ Í ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË.°ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÄÐÖÕÓË ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕ ÖÒÓÖÅÑÔÕß ÒÑÍÓÞÕËÌ.
°ÕÏÇÚÇÐÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÑÊÄÑÎâáÕ ÒÑÎÖÚÂÕß Ð ÑÔÐÑÄÇ ÆÂÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÖÎÖÚÛÇÐÐÞÏË ×ËÊËÍÑ-ØËÏËÚÇÔÍËÏËË ×ËÊËÍÑ-ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË, ÕÂÍËÏË ÍÂÍ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß (H > 40 ¤±Â), ÖÒÓÖÅÑÇ ÄÑÔÔÕÂÐÑÄÎÇÐËÇ(We > 70 %), ÒÓÑÚÐÑÔÕß, ÉÂÓÑ- Ë ÍÑÓÓÑÊËÑÐÐÂâ ÔÕÑÌÍÑÔÕß [7, 12, 13 ë 17]. °ÚÇÐß ÄÂÉÐÑÌ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕßá ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ âÄÎâÇÕÔâ ÕÑ, ÚÕÑÏÂÕÇÓËÂÎÞ Ô ÑÆËÐÂÍÑÄÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÏÑÅÖÕ ÓÂÊÎËÚÂÕßÔâÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÑÆÖÎâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË (E ),  ÕÂÍÉÇ ÒÑ ÔÕÑÌÍÑÔÕËÍ ÖÒÓÖÅÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ (H=E ) Ë ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËá ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË (H 3 =E 2 ) (ÔÏ., ÐÂÒÓËÏÇÓ,ÓÂÃÑÕÞ [5 ë 12, 18]).´ÂÃÎËÙ 1.
²ÂÊÏÇÓÐÂâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ ÏÂÕÇÓËÂÎÑijÄÑÌÔÕÄ°ÕÍÎËÍ ÏÂÕÇÓËÂΠРÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÓÂÊÏÇÓ ÊÇÓдÇÓÏËÚÇÔÍËDZÑÐËÉÇÐËÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ×ÂÊÑÄÞØ ÒÇÓÇØÑÆÑÄ, ÄÕÑÏ ÚËÔÎÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÒÎÂÄÎÇÐËâ¬ËÐÇÕËÚÇÔÍËÇ¡ÐÑÏÂÎßÐÑ ÄÞÔÑÍËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÑÄÆË××ÖÊËË, ÔÐËÉÇÐËÇ ÕÇÒÎÑÒÓÑÄÑÆÐÑÔÕË¿ÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ¢ÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÂâ àÎÇÍÕÓÑÒÓÑÄÑÆÐÑÔÕß ÍÇÓÂÏËÍË,ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÏÇÕÂÎÎÑÄ®ÂÅÐËÕÐÞÇ£ÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÍÑàÓÙËÕËÄÐÑÌ ÔËÎÞ®ÇØÂÐËÚÇÔÍËdzÐËÉÇÐËÇ ÏÑÆÖÎÇÌ ÖÒÓÖÅÑÔÕË; ÒÑÄÞÛÇÐËÇ ÒÓÇÆÇΠÕÇÍÖÚÇÔÕË, ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÄâÊÍÑÔÕË ÒÓË ÓÂÊÓÖÛÇÐËË, ËÊÐÑÔÑÔÕÑÌÍÑÔÕË; ÒÓÑâÄÎÇÐËÇ ÔÄÇÓØÒÎÂÔÕËÚÐÑÔÕË ÒÓË ÄÞÔÑÍËØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ[µ¶¯ 2009nc-TiSi2ÃÂnc-TiN1ÿ2 ÐÏ3ÿ10 ÐÏ21a-Si3N4²ËÔ.
1. (Â) ªÆÇÂÎËÊËÓÑÄÂÐÐÑÇ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓËÓÑÄÂÐÐÑÇ ÒÑÍÓÞÕËÇ [7]ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÕÇÑÓËË £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ. Ë (Ã) ÔØÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ËÊÑÃÓÂÉÇÐËÇÔÕÓÑÇÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4/nc-TiSi2 [127].£ÇÒÓÇÍ Ô ÔÑÕÓÖÆÐËÍÂÏË [19] ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ÍÑÐÙÇÒÙËáÔÑÊÆÂÐËâ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ÔÑÅÎÂÔÐÑ ÍÑÕÑÓÑÌ ÕÂÍËÇ ÒÑÍÓÞÕËâÆÑÎÉÐÞ ÔÑÔÕÑâÕß ËÊ ÔÄÑÃÑÆÐÞØ ÑÕ ÆËÔÎÑÍÂÙËÌ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ (ÕÄÈÓÆÞØ ×ÂÊ) ÓÂÊÏÇÓÑÏ 3 ë 10 ÐÏ, ÓÂÊÆÇÎÇÐÐÞØÒÓÑÔÎÑÌÍÑÌ ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ×ÂÊÞ ÓÂÊÏÇÓÑÏ 1 ë 3 ÐÏ.
ªÆÇÂÎËÊËÓÑÄÂÐÐÂâ ÏÑÆÇÎß ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÅÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÑÅÑÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÍÂÊÂРРÓËÔ. 1 [7]; РÓËÔ. 1à ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÑÔØÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ËÊÑÃÓÂÉÇÐËÇ ÑÆÐÑÅÑ ËÊ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄÔËÔÕÇÏÞ Ti ë Si ë N (ÔÏ. ÔÔÞÎÍÖ Ä ÓÂÃÑÕÇ [9]).¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕ ÔÑÔÕÑËÕ ËÊ ÏÂÕÓËÙÞ ÂÏÑÓ×ÐÑÅÑ ÐËÕÓËÆ ÍÓÇÏÐËâ Si3N4 [19] Ô ÄÍÎáÚÇÐËâÏË ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ TiN Ë ÄÞÆÇÎÇÐËâÏË TiSi2 РÕÓÑÌÐÞØ ÔÕÞÍÂØ ÊÈÓÇÐÐËÕÓËÆ ÕËÕÂÐÂ, ÒÓË àÕÑÏ ÆÂÐÐÞÇ ÄÞÆÇÎÇÐËâ ÏÑÅÖÕ ÃÞÕßÍÂÍ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏË, ÕÂÍ Ë ÂÏÑÓ×ÐÞÏË [4, 7, 18,19]. ¯ÇÑÃØÑÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ Í ÐÂÐÑÏÂÕÇÓËÂÎÂÏ ÐÇÔÎÇÆÖÇÕ ÑÕÐÑÔËÕß ÕÓÂÆËÙËÑÐÐÞÇ ÆËÔÒÇÓÔÐÑ-ÖÒÓÑÚÐÈÐÐÞÇ ÔÒÎÂÄÞ, Ä ÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÍÑÕÑÓÞØ ËÏÇáÕÔâ ÏÇÎÍËÇÚÂÔÕËÙÞ ÐÂÐÑÏÇÕÓÑÄÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ, ÑÃÝÈÏÐÂâ ÆÑÎâ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÔÇÅÑ ÎËÛß 5 ë 20 % [15 ë 18].´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÙÇÎßá ÆÂÐÐÑÅÑ ÑÃÊÑÓ âÄÎâÇÕÔâÆÇÏÑÐÔÕÓÂÙËâ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÆØÑÆÑÄ Í ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËá ÕÄÈÓÆÞØ Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ, ËØ ÂÐÂÎËÊ Ô ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâÑÃÜËØ ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕÇÌ ÒÑÎÖÚÇÐËâ, ËÊÖÚÇÐËâ ×ËÊËÍÑØËÏËÚÇÔÍËØ Ë ×ËÊËÍÑ-ÏÇØÂÐËÚÇÔÍËØ ÔÄÑÌÔÕÄ,  ÕÂÍÉÇÄÑÊÏÑÉÐÑÌ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÞ ËØ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ.2.
¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâÔ ÒÑÄÞÛÇÐÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ÔÑÃÑÌ ÐÑÄÖáÅÇÐÇÓÂÙËá ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ. °ÐË ÔÑÔÕÑâÕ, ÍÂÍ ÏËÐËÏÖÏ, ËÊÆÄÖØ ×ÂÊ Ô ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ Ë/ËÎË ÂÏÑÓ×ÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÑÌ. ¯ÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÏÂÎÑÅÑ( 4 10 ÐÏ) ÓÂÊÏÇÓ ÊÈÓÇÐ, ËÊ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÐË ÔÑÔÕÑâÕ, ËÃÑÎÇÇ ÊÐÂÚËÏÑÌ ÓÑÎË ÅÓÂÐËÚÐÞØ ÊÑÐ, ÑÍÓÖÉÂáÜËØÑÕÆÇÎßÐÞÇ ÊÇÓÐÂ, ÄÇÆÖÕ ÔÇÃâ ÒÑ-ÓÂÊÐÑÏÖ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá ÔÑÃÞÚÐÞÏË ÏÂÕÇÓËÂÎÂÏË Ô ÓÂÊÏÇÓÂÏË ÊÈÓÇÐ ÃÑÎÇÇ 100 ÐÏË ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÔÑÄÇÓÛÇÐÐÑ ËÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂ. ¯ÑÄÞÇÖÐËÍÂÎßÐÞÇ ×ËÊËÚÇÔÍËÇ Ë ×ÖÐÍÙËÑÐÂÎßÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄÂÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ âÄÎâáÕÔâ ÆÄËÉÖÜÇÌ ÔËÎÑÌ ÃÖÓÐÑÅÑÓÂÊÄËÕËâ àÕËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ [20 ë 30]. £ ÐÂÔÕÑâÜÇÇ ÄÓÇÏâÒÓËÐâÕÑ ÔÚËÕÂÕß ÕÄÈÓÆÞÏË Ë ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÏË ÒÎÈÐÍË ÔÕÄÈÓÆÑÔÕßá H 4 40 ¤±Â Ë H 5 40 ¤±Â ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ.ªÊÄÇÔÕÐÑ, ÚÕÑ ÔÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÆÄÇ ÅÓÖÒÒÞ ÕÄÈÓÆÞØ ËÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ: nc-MeH/ÕÄÈÓÆÂâ ×ÂÊ Ënc-MeH/ÏâÅÍÂâ ×ÂÊÂ.
