Электронные технологии в машиностроении (28.04.02 Наноинженерия)

.'е!н!шс ! срс! но обраио нанял и науки российской Феле раин н Фслерае!иное госуларсп!свисс бюлжетное оорнзонаеелиное учреждение высшего обрсоонанил н;ааосковский ! еасуларствеиньгй гекиический университет имени Н.Э. Баул!а!!а !ноннина.н пь!й исследовательскпй уннверсн!ет!!» (МГРУ ии. Н.'Э. Ьауаеаиа1 ЕЖДЛК) проректор— о учебной работе г!.'.3. Ьаупана Б В Инда!ки!! ПРОГРАММА ВСТУПИТЕЛЬНЫХ ИСПЫТАНИЙ В МАГИСТРАТУРУ !!О !!а!!р!!н!е!пе!о !!олго!оаки и м н наиненааанне иалраалення наагееяанн :т1анеииостроптельные техноло! ип (геРа) Радиоэегектропика н латернан техника (РЛ) ! Ь инне и янненюяянне фана нш ега (санная!енине аанненеаанне! ~ь ситро! ьее.гехногео! пи в ма!ппностроенпн (йП'11) 'Ретиво!о!.ип приборостроении (Р !16) !!а.шее яяянеиеяание ияфеаам (саина>неинее нанненеяанне! Ис))ечеиь 1)азлс.и)в и )см.!Испи!!лии, Вк!!и>чсииых в письме!!)!$)с ис!!Вг!ание ДИСЦИИ.'1ИИА 1.

Проеюпнрг)$$$)$)не н энснэ!уин)и!(нн нанон)ехноэ!огичесного одор)>доооння Ме!ОТ(1~! Ироск! ирОВаиия эсхиОло)'ичсск01 О Ооорудоваиия д)1я НОлучее! Ия с)бмик))0!и)ых и иаио))азмсриых сг!рук!ур. Сис>сыиый подход к выбору Оптимальиых техиичсских рси>си)!й. Осоощии)сти проектирования многомодульного (кластсриого) оборудоваиия. Системы кОигрО:,)я и )правления ироцсссами ОораООтки В тсхиОло!'ичсском Ооорудо>галии иаиесеиия и )рав щиия мсисрисоюв. ! 1роск гироваиис трапспортноп) и маци иуляциоиио) о оборуловаиия ио кри 1 сриям '$14ии'1*1 1ьи>>й $!ривносиы$>й:(с>рек)И$)сти. Мик))омсхйиика и к!Схзгроника и сос)авс $>рси>ги>$>$>и>>$ и Ооор)'.10вгии!я )лск)роииой '>схиики.

Методы ироектироваиия высокоиадеж!Ии о ооор)дов>ии)я иа основе и>люльзоваиия устройств иерсмсщсиия, ие содсржщцих пар грс!)ия: >лсктричсских. Магпитиых, с упругими силами и др. Ироб:>смы коми;>сксиой ав)омагизации производства иа совремеииоы уровие. Общие ирищ)щ>ы авэоматизапии обору:(овация, Автоматическис линии в производстве из;1с:>ий элсктроииой >ехиики. Обссисчсиие и ио,держаиие В чистых помещеииях среды с задаииыми иарамстрами. 11роб:>сма привносимой дсфектиости при производстве СВИС. '.)кола!ические аслск).ы субмикроииой и иаиогсхиологии.

Принципы оргаиизации чистых производственных помещений. 1'$:хио.и>гия и оборудовы)ис „щя получении тонких илеиок в вакууме: термическое 11010>рс>>ис. ')лск1(х)ш>0-:$) ">св0$." испарспия, высокОчастоти(эс распыэ!01)ис ди")э!Ск'1'рик>>в. ма> щ:>рои>>ос расиьщ>л>ис. рсактивиос и$>ииое распыление. Особсииости ироектироваш)я рас >с>а и модслироваиия узлов и систем 1>схио)!Огическо>$) Оборудования иаиссеиия илсиок. Методы и оборудование осаждсиия пленок сл$)жного состава, рсактивиос распыле!иге мг!тсриа.'$ОВ. (11)$>1),т(ов!И)ис дл>$ >юлучеиия >иитаксиальпых слоев. Приицицигс!ы!ыс схемы иро!>с!!си>>я и>итаксиальиых процессов.

11ргэыьцилеииые методы эиитаксиальиого иаращииаиия и виды иримепясмого оборудования. )Иитаксия при поиижеиных лавлеииях, молекулярно лучевая лиггаксия. Оборудование для создания р-и переходов, Методы иолучсиия р-и ис(эсх0,10в. 1111 роис)эсходОВ и $1срсхолов мсталл -1юлупровйдиик. Дифф)'зионныс мс !Оды лс> $>ро>$ $$>ия. Иошц>с лс> ир> кацис (имилаитация). Оборудование для процессов ионной имшщи гаиии.

Оборудование .гравлсиия микроструктур: ионное, реактивное ионное и плазмохимичсскос с использованием постоянного тока. ВЧ и СВЧ разрялов. Особеши)сти проектирования и молслироваиия процессов. узлов и систем оборуловаиия. Методы аиизо>рацио> о травлсиия 1$$>.>уир$>во)!пиков. ('оврсмсииое аналитическое ггакуумиое оборуловаиис. Вторичио-иоииыс массОжс-спек!роме)ры. 0001)у;1оваиис„использт)о>исе рсипс>ц)искос и $$)г)Ориг>с 111 В'Ыиис, Ли>0>рафичсское оборудоваиис в произволе гвс >и)луироволииковых ириборои, ( ю$(>$. $ >в>$ >с.>ь>$ь)Й аиа;>из $1рс„'1с.'$1*!!ых возмОжиОс)ей п)х)!ьсссОВ литОграфии, $>спОваииь>х $>а приз)сисиии ультрафиолс>ово! о., лазерного и реитгеиовского излучений, электроииых и иопиых пучков.

")Лсктроииая:штография, Классификация и принципиальные схемы элсктрошк>- лучевых и ироекциаииых установок электроииой литографии. Совремеииые проблсмь> и тенденции развития элск>роииой лито)рафии. Основные проблемы создаиия и висдрсиия (х.*и ! гси>и>ск$>г$) ли ! Ографи')сс>го>0 Оборуловаиия. Состав реит)еиолитгэграфическоЙ устаиовки.

Ис го'ии)ки рс!и гсиовскщ о и >лу' сипя. шаблоиы;щя рси п сиолитографии. И>>101!>-$>учев>)я им !и рафия (ИЛЛ), 11аправлеиия развития оборудования И)1)! и особсицости создания сис)см экспоиироваиия коллимировапиым ионным пучком (И1! ), острое'фокусироваииым ИП и систем модульной иоииой проекции изображения. Конструкции и сравии'$'ельиыс характеристики иОнных истОчникОВ. Отклон)иоп1их и скаииру)ои1их $:истсм.

си>псм )скорсиия и фокусировки. Иере чен ь аонросоа 1.;)!апы разрабонси гсхншсо!'Нческого Ооорудования. раоогы поискового, н«прети'!сско1'о и '.)кснсриментально!'О ха()ак'Гера; .')1ог!ул! Ная сис)ема нос цюсснгя технологического оборудования лля произволе!на и!Г!Слий микро и нацох!с!с!роники, ('.грукгура !схноло!Нческих модулей (кластеров). переходных мое(ус!сй или шлюзов. Кластерная платформа 1-1Л110ФА1) 100: базовый сос'! ав; Исходи)*1с 1ю;Ео)кения '1схц)пи нрОнзвОлитсл1«ность! ЫВН1ин. Ец)имсры прах) ичсс1О)Й рса.си !Лции морин.

показатели нроизволителыюсти тсхшшш.ичсских машин: фак)ичсская. НиклОВая и ГсхнолОГическая п$юизво«!Нте;Еьносгь, раООчис. и холос1ь!с холы (операции); совмс!Нешн,!с и нс совмсп!Йннью: .!. 11оказ ! ! схн! Егалсакнос н1 машин: ос)откатное гь, рех!Он ГО!Ери!Оле!Ос! ь.

1!Олговс«п!Ос! ь, ГерацяСМОСП. МС!«)ЛЫ раСЧЙГВ НОКаЗатеЛСЙ НадСЬХНОСЕИ (ГОСТ 27 ЗО1-ЧЗ) НЛИ Сб комн.1сксных показа1слей: 5. Особе)шосги построения кинсматичсских цепей, перелг Сочное отношение, уравнения ба)анс к звенья !шсц)ойкн (х.гулирус:мого п1)нвоца, песет)пенчатал !ЕастрОЙКВ: лви!спели. в!ц)иаГОрь1: 6. Мехсенизм),! Нс)ворота и с)шксацин карусельных ман!ин, кулачково-ро)!нковый механизм. мальтийский ьгсханизм, взаимосвязь геометрии механизма н параметров двихссния Ус'1'ЩЮВКН: 7. Мсхагронньп! з)!е!Ггрох)ехапи«!сский привод, струк!ура ысха!ронного модуля. Еиновыс «:хомы: 11О!(хенн!Ости кннсматических цепей.

приводы точных !щ()смснгснни'; к.щссифихания. сравни гольные характсрнс!ики. 1!рямая и обратпшя зала ш нрн онснкс ногрешносгсй кинсмшичсских цепей; м ~ (Ч .Еь си«гс'.м микро- и наноперсмснгсний В обласги нанотехнолц)! Нй и нх мс:сзо в соврсмсш)ой пауке и !Схникс; 1О. ()сновпые требования. Иредьявляемые к приводу точного позиционирования лля 1цхци')ИОННОГО исслсдова1сльскОГО и тсхнолоеичсскОГО Оборудоваегия," ! 1 «()!Гнсчсск!ес приншшь) работы основных тинов приводов точного позиционирования; 1'. Ь,"р)11срии нроск)ировгн!Их нриводогк погрешность позиционирования, долговечное!ь, прочное) ь и !синсмгг! !1«ссс!ссся ! Очность; 13.

'Г(1!Вссификация систем виброизоляции оборуцовашея н сугпествукнцие способы защиты от вибрации; !4, !)снспнп)с гиль! Ла!Чиков лля измерения положения„ускорения и скоросги Обьск!а !юзпннонирования нрсцизнонпьгх механизмов. а такекс хсспяы оорсчхпкн си!на:н)а с ля!чихов; 15. б х! и!«1 !юс трОсл!Ия приво !Ов. мпо! ОкоорлинаГньгс мс х«ши!мы !Н)с )с !Онатсльной и :1:.ц),! !. ГЛ1Ы1ОЙ кинсма1ики. мапипуля)Ор1«1; !б. 1)щн)вы Гсорни антомазнчсскшо ре1улирОВВИНЯ и ЯЦ)Явления, Щ)иннин)«! Нос!роения систсм управления прецизионным прнвоцом; !7. Динамика привода. Вьшу)клеш!ые колебания: параметрические и автоколебання, собспсснная часгога вр;нцак)пссгося вала, расчет но методу Рэлея, критическая частп)га вр)нцщ1ня в«ша; 1 8.

! па 811и лы1 ыс х11р 1к 1срнс гь!ки 1 ид1х)п!зивода н пнсвмоп)зив1зда разви вася!Ьк )си 1ня корос1 ь псрсме1 пения 11с1 ю. п1н1слы1о1 о устройства, время срабгп ы валия привода. Пблас1и применения приводов: !9. УС1РОйьчна ВнбрацИОНПОГО ГраНСПОртнрОВаиня, КаееетирОВаиня Н ЗаГруЗКИ микрокомпоцсп п1в 1;1ск гргнп1ых приборов на позиции сборочных авгомазт1в; 20. 11ланс1а)зные н поворо1пыс механизмы для внугрикамерных псреыепгеннй в вакуумных напьонтельпых установках. Типовые копсгрукции приводов и вакуумных ввссп1в ;1вигкспня в ввк) ум. Оеггаеаал учег)г1аа лаи1ература 1.

Магпипос1роспис, ')пциклопслия. Раздел П1. п1м Ш-8. Технология оборудования н системы управления в злектронном магпиносгроснии, — М.: Мап1нност!зоенис, 2000. — 744 с. Методы:пггографии в напоингкснерии; учебз. пособие ' В.В. Макарчук. И.Д. Родионов. К).Ь. 1!встков. М.: Изд-во МГТУ им. П.'Э. Ьаумана. 2011. — 176 с, 3. 13ысоковакумныс технологические процессы в наноннженерип: учеб.пособие ' 1О.В.Пан1рнл1~в„К.М.

Монс1..св, В.П. Михайлов. — М.: Изд-во М1"ГУ нм. П."), Ьаумана„2011. 4. Вакуумная 1схннка: справочник ' под обць ред. К.Е. Демихова. 10,В. Панфиловы. 3-с пзд., перерао. и;кнь М.: Магпиностроени. 2009, 590 с, ил.4. 5. Волчксвич Л.И. Автоматизация производственных процессовс Учеб. пособие. М.: Машпиностроени, 2005.

380 с. Дава.1 11 атель пал учеааан гштература ! Мапп1асгцппй '1'ссЬпо!орех Гог Мас!з1пея оГ 11тс Рцгпге.- Ьрг!щег 11сЫе1Ьсг8 Х!см Уог11„2003, 820 р, Л СЬар1сг 14. 1.'!есггоп1с Уасоцт 1..! Уо1с!Йет1сЬ. У.У.РапГ11ос,- Р.413-448 11ап[1н1.кн1 К).В.. Рябов !).Г., Цветков К).Ь. Ооорулование )1ля микросхем и промып1ленныс роботы, М.: Радио и связь, 1988.- 3. Во11чксвич )1.И., Панфилов К).В„Цветков 1О.Ь.