29_avt_svid_EAD_1466572 (Патенты Деулина Е.А часть 2), страница 2

узлом при непрерывном потоке оправок с анодными узлами, воэможностью ввода центрирующих конусов второй гребенки модуля системы в отверстия нижней оправки при съеме собранного устрой- ства;и> в меньшей степени> необходи- мостью обеспечения рабочего хода, 522 6 прессового герметичного штока минимальным. После герметизации оправки с собранным прибором через шлюзовой затвор 8 транспортируются в модуль Э (камеру выгрузки). Описываемая последовательность технологического процесса является одной из возможных. При введении в устройство второй линии из дополнительных модулей, пристыкованной к системе модулей таким же способом как и первая, и второго механизма герметизации становится возможной последовательная сборка ЭВП из четырех узлов-и более.

Расширению технологических возможностей и гибкости устройстна также отвечает выполнение его в риде системы модулей, количество и назначение которых можно варьировать в широких пределах. формула изобретения Устройство для изготовления элект" ровакуумных приборов, содержащее систему последовательно расположенных н соединенных шлюзовыми затворами модулей, каждый нз которых выполнен в виде вакуумной камеры с жестко закрепленной в ней между отверстиями шлюзовых затворов первой горизонтальной гребенкой и второй горизонтальной гребенкой, выполненной с возможностью вертикального перемещения между зубьями первой гребенки' и горизонтального перемещения и снабженной посадочными гнездами для оправок с узлами электровакуумных приборов, образованными парами зубьев гребенок и центрнрующими конусами, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и расширения технологических возможностей, устройство снабжено дополнителЬными последовательно расположенными и соединенными шлюэовымн затворами модулями, пристыкованными перпендикулярно к системе модулей так, что верхняя плоскость первых гребенок системы модулей расположена относительно верхней плоскости первых гребенок дополнительных модулей с зазором для перемещения второй гребенки дополнительных модулей между первыми гребенками модулей> механизмом герметизации, выполненным в виде вертикального прессового штока, установленного на дне , 7 6466572 .

8 вакуумной камеры мсдуля системы между в плоскости первых гребенок дополнивертнкальными стойками, размещенными тельных модулей, выполненных с воэ-, ' с возможностью перемещения межцу ни- можностью горизонтального перемещения ми вторых гребенок этого мсдУла и , справок между этими зубьями, а на ' прнстыкованного к нему дополнитель- отверстиях шлюзовых затворов в ваку б ного модуля, фиксирующими опорную умной камере установлены заслонки плиту с установленной на ней парой с возможностью перемещения в верти" дополнительных зубьев, расположенных кальной плоскости.

Составитель В,Псаломщиков Редактор Н.Коган Текред Л.Сердюкова Корректор ВеГирйяк Заказ 390/ЛСП Тираж 329 Подписное ВНИИПИ Государственного коиитета по изобретенини н открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, 3-35, Рауиская наб., д. 4И Производственно-издательский коибииат "Патент"„ г. Ужгород, ул. Гагарина,101 в 6 о :О |3 л ".Я и 9 с ж И. 3 А у л о Л Б о о О о Ф Р .".$ ю Ы О. ф $ Х Х й~ а Г Х Л О Е 2 О с~ Х Б С О $ О И й ь о С о .4 и С й -т 4. '2 Р. Я 4 :~ в "Э + с~ ~ф .