29_avt_svid_EAD_1466572 (Патенты Деулина Е.А часть 2)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ О На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий выдал настоящее авторское свидетельство на изобретение: "Устройство,кж изготовлен ак ектрожкУУмщх нриб ор ов" Автор (авторы): Н Л Е д Алекс еевич, Кеменов Владимир Никокаевич Санеко Николай Николаев ич, Онунриенко Михаил Феликсович, Усов Андрей Борисови ч и ДемиК ов Сергей ГеннеКьевич Е.он -.- .,т Заявитель; Заявка № Приоритет изобретения 4257Ю9 4 ионн 1987г.' Варегиотрироиаио и Гооуларотвеииои рееотре изобретений СССР 15 нснбрк 1966г.

Действие авторского свидетельства распространяется иа всю террито ию Союза ССР, ХХредседазззелъ тзом9отезззо Ж.а ~ 7' МПФ Гознака. 1979. Зак. 79-3088. СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН !!9!ВО!П! (5!! 4 Н О1 Д 9/ОО ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н Авто сномм свидетельствм ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР (21) 4257109/24-21 (22) 04.06,87 (72) Л,И.Волчкевич, Е.А.Леулин, В.Н.Кеменов, Н.Н.Сапеко, И.Ф.Онуприенко, А,В.Усов и С,Г,Демидов (53) 621.385 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР У 397986, кл.

Н 01 3 9/38, 1973, Авторское свидетельство СССР Р 1375023, кл, Н 01 д 9/38, 1986, (54) УСТРОЙСТВО ЛЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫК ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к элект- ровакуумной технике и может быть ис- пользовано в устройствах для изго- товления фотоэлектронных ;приборов с микроканапьной пластиной нли дру- гих электровакуумных приборов.

Пель изобретения - повышение производи- тельности и расширение технологичес- ких возможностей устройства " дости- гается за счет выбора Формы и распо. ' ложения гребенок для перемещения Изобретение относится к электро- вакуумной технике, в частности к устройствам для изготовления Фото- электронных приборов (ФЭП) с микро-, канальной пластиной нли других злект- ровакуумных приборов (ЭВП), Белью изобретения является повышение произзодительяости и расшира ние технологических возможностей устройства за счет выбора формы и рас 10-89 лля служеь!юго пользовА$!ия >зкзйю.

ф справок> введения по крайней мере одного механизма герметизации с зак- репленным на нем дополнительным зве- ном гребенки„ установки в вакуумных ..камерах на отверстиях шлюзовых затво- ров заслонок с возможностью перемеще- ния в вертикальной плоскости и гнб,. ких герметизирующих элементов на пат- рубках> соединенных со шлюзовыми затворами. Устройство содер!кит систе- му модулей 1-3, дополнительные моду- ли 4 и 5, шлюзовые затворы 6-9,'ме- ханизм 10 герметизации. Каждый модуль содержит гребенки 11 н 12, вакуумную камеру 13, скпьфон 14, заслонки 15> систему 16 вакуумной откачки, привод 17 вертикального и горизонтального перемещения, Иеханизм 10 содержит шток 18, стойки 19, опорную житу 20, зубцы 2'1, оправки 22 и 23.

Расширение С технологнческих возможностей обеспе- чивается выполнением устройства в 3 виде системы модулей, назначение и количество которых может варьировать- ся в широких пределах, 4 ип, положения гребенок для перемещения оправок, введения по . крайней мере одного механизма герметизации с зак- репленным на. нем дополнительным зве- ном гребенки, Установки в вакуумных камерах на отверстиях шлюзовых затво- ров заслонок с воэможностью переме- щения в вертикальной плоскости и гиб- ких герметизирующих элементов на патрубках> .соединенных со шлюэоэымн затворами.

1466572 На Фиг.1 представлена структурнокомпановочная схема устройства для изготовления ЭВП; на Фиг.2 — конструктивная схема механизма герметизации (разрез А-А на Фнг.1); на Фиг.3 5 изображен механизм герметизации в положении возврата вт9рой гребенки дополнительного модуля (разрез Б-Б на Фиг.2); на Фиг,4 — схема съема оправок с механизма герметизации. 1О 'Устройство для изготовления ЗВП содержит систему модулей 1,2,3 и дополнительных модулей 4, 5 соединенных шлюзовыми затворами 6,7,8,9 и механизм герметизации 10, 15 Каждый модуль содержит первую 11 и вторую 12 гребенки, вакуумную камеру '13 с установленным на одном из ее патрубков сильФоном 14 и с заслонками 15 внутри камеры на отверстиях этих патрубков, систему 16 вакуумной откачки. Первая гребенка 11 жестко закреплена на боковой стенке камеры 13. Вторая гребенка 12 снабжена при- водом 17 вертикального н гоРизонталь- ного перемещения, Механизм герметизации 10 выполнен в виде прессового штока 18,' соеди- ненного с корпусом камеры гибким герметнзирующим элементом, например сильФоном, и установленного на ниж- нем Фланце кнмеры 13.

Вторая гребен- ка 12 снабжена приводом 17 вертикаль- ного и горизонтального перемещения, СильФон 14 имеет возможность деФорма- ции в осевом направлении на величину> 35 незначительно превышающую толщину уп- лотнения в разнимаемом стыке при за- мене какого-либо вакуумного модуля. Стойки 19 механизма герметизации жестко Фиксируют опорную плиту 20 с 40 парой дополнительных зубьев 21, зак- репленных на ней в плоскости первых гребенок дополнительных модулей 4, 5 ~ с шагом ,равным шагу зубьев этим гре- У 45 бенок.

Пара дополнительных зубьев 21 и пары зубьев гребенок с центрирующи- ми элементами образуют посадочные гнезда для транспортируемых оправок 22, 23. 50 Устройство работает следующим образом. Анодные узлы и корпуса с микроканальными пластинами (МКП) закрепляются в оправках 22 и помещаются в модуль 1 системы.

При этом между данными узлами выдерживается зазор в осевом направлении порядка нескольких мйллиметров для их качественного обезгаживания, который выбирается на позиции герметизации. Загрузка оправок в любой модуль осуществляется с использованием его гребенок 11, 12. Шлюзовой затвор 7 при этом закрыт. Затем модуль герметизируется затвором 6 и откачивается до давления порядка 10 -10 Па системой 16,Анод-' ные узлы и корпуса с МКП приборов подвергаются термическому и электронному обезгаживанню.

Параллельно загрузке анодных узлов производится загрузка катодных уз" лов, закрепленных в оправках 23, в дополнительный модуль 4, последующая -4 его откачка до давления 10 Пв, нанесение металлических покрытий на поверхности герметизации и обезгаживание. По окончании предварительной обработки катодные узлы через шлюзовой затвор 9 передаются в модуль 5 активироваиня катода.

При этом заслонки 15 поочередно открываются,по мере транспортирования через затвор оправок 23. , Транспортирование 'осуществляется путем многократного повторения следующих операций: подъема оправок второй гребенкой дополнительного модуля над его первой гршбенкой, переноса их на величину шага гребенок и установки в следукщие по ходу посадочные гнезда первой гребенки.

При этом крайняя оправка устанавливается на дополнительное звено первой гребенки в шлюзовом затворе 9. С дополнительного звена зта оправка снимается второй гребенкой следукщего модуля 5. Оправки 22 с анодными узлами аналогичным способом передаются в модуль 2, где производится активация газопоглотителя перед герметнзацией. Катодный узел после активирования и контроля его качества устанавливается второй гребенкой модуля 5 на пару дополнительных зубьев 21 опорной цпнты 20.

Соосно с катодным узлом на позиции герметизации устанавливается оправка 22 с вводным узлом и корпусом с МКП. Оправка 22 поднимается штоком 18 прессового устройства, центрируется с помощью оправок 22, 23 и прижимается'к опорной плите 20, Узлы приборов герметизируются прн прижиме к плите 20 с использованием индиевой прокладки. После возврйте прессового штокй 18 в исходное положение оправ- '5 1466 ки 22, 23 с готовым или подсобранным прибором (в занисимости от реализуе- мого техпроцесса) удерживаются на дополнительных зубьях 21, Второй гре- 6 бенкой 12 модуля 2 системы осуществ- ляется съем оправок и установка на соседнее посадочное гнездо первой гребенки 11 этого.

модуля,. Одновремен- но при этом на позицию герметизации 1О устанавливается следующий анодный узел. Затем над ним устанавливается катодный узел, вторая гребенка допол- нительного модуля возвращается в исходное положение и повторяется гер- 16 метизация, Относительное расположение первых гребенок модулей системы и дополни" тельных модулей, а именно, разность Уровней их верхних плоскостей Н выб- Рано из соотношения Н=А+В+(С+Е)созК+И зьп>с+К> +К где А и В - вертикальные габариты оправок между верхними плоскостями первых грабе- 26 нок (м); С>Е>>(, И вЂ” соответственно высота центрирующих конусов на зубьях, вертикальный габаритный р >амер зубьев, .

угол повор»та относитель" но' горизонтальной плоскости, расстояние от осей центрирующих конусов "до вершин зубьев второй гребенки дополнительного модуля (м)> (м) ° (град)> (м); К, и К~ - зазоры порядка 2 10 '- -5 10 ' (и) между второй гребенкой дополнительного модуля и соответственно нижней и верхней оправ" ками. Выполнение устройства с учетом данного соотношения обеспечивает его надежное функционирование и обусловлено несколькими требованиями~ необходимостью возврата в'горой гребенки дополнительного модуля после установ- бб ки на дополнитель>ш>е зубья механизма герметизации оправок с катодным.