25_avt_svid_EAD_1407199 (Патенты Деулина Е.А часть 2)

~ьв СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР НО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ еб'3 На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Государственный комитет СССР' по делам изобретений и открытий .л ал настояшее автпрское свидетельство на изобретение: Автор (авторы): доулин авганил Йжнсоовичв Волчнович Лаонип, Иванович, Онуириенко,Михаил аалйнноаович и Милов Анэголий АмиооовЖ' "'" " ' ~;,т"':, .я Заявитель: ьге Приоритет изобРетения 19 ноябри 1985 г Зарегистрировано в Государствеинои' реестре иеобретений СССР 1 маота 1988г.

Действие авторского свидетельства распространяется на всю территорию Союза ССР. Предоедатель таолаиаза9та9 ЕХааааЛЪН7979 ОтдЕЛа МВФ Гознака, !979. Зак. 79-3093. 1407199 Изобретение относится к вакуумной технике, а конкретнее к технологи- ческому оборудованию для обработки изделий В Высоком и сверхвысоком вакууме, например для термообработки, нанесения покрытий или сборки при- боров. Целью изобретения является повью~е- ние надежности вакуумной установки за 1О счет исключения трения скольжения в вакууме. На фиг. 1 представлена установка, общий вид; на фиг.

2 — разрез А-А на фиг. 1 (исходное положение внлооб- разных звахватов); на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 1 (расположение вилообраз- ных захватов с опранками над держа- телями);на фиг. 4 — узел ? на фиг. 1 (момент установки оправки с изделием на дополнительные держатели); на фиг.5. Узел Х на фиг. 1 (момент снятия оп- равки с иэделием с дополнительных держателей), Вакуумная установка содержит ваку- 25 умные камеры 1, разделенные вакуум- ными затворами 2, приводы 3 механиз-. мов перемещения оправок, оправки 4 с иэделиями, вилообразные захваты 5, соединенные с приводами 3, неподвиж- ные держатели 6 оправок 4 в виде виг лок, соориентированных с вилообразны- ми захватами 5, дополнительные держа- тели 7 оправок, установленные с обеих сторон затворов 2.

Вакуумная установка работает сле- дующим образом. Оправки 4 с изделиями загружаются оператором в крайнюю камеру установ- ки и устанавливаются на неподвижные держатели 6 оправок.Вакуумные затворы4О 2 закрываются и камеры 1 откачивают- ся до требуемого вакуума. Производит- ся первая технологическая операция в камере с загруженными изделиями (например, предварительное обезгажива- ние), затем вакуумный затвор 2 данной камеры открывается, вилообраэные зах- ваты 5, находящиеся ниже уровня дер- жателей 6, с помощью привода 3 пово- рачиваются относительно его оси (на- 50 пример, за счет принудительной упру- гой деформации исполнительного органа привода 3) н поднимают оправки 4 с изделиями над неподвижными держателя- ми 6, при этом вилообразные захваты 55 5 проходят в пазах держателей 6, вы- полненных в виде соориентированных вилок. Затем захваты 5 с оправками 4 пере.

мешаются вдоль оси камеры ! на величину шага вилок неподнижных захва!тов 5 с помощью привода 3 (герметичность привода 3 может быть обеспечена гибким герметизирующим элементом, например сильфоном). Вилообразные захваты 5 поворачиваются относительно осн привода 3 в обратном направлении, проходя сквозь пазы вилок держателей 6, и оказываются ниже уровня держателей 6, При этом оправки 4 уста- навливаются на держатели 6, а одна из оправок, которая оказывается в результате перемещения вдоль осн камеры 1 в завторе 2, устанавливается на дополнительные держатели 7. С помощью привода 3 захваты 5 возвращаются в исходное положение.

Далее с дополнительных' держателей 7 оправка 4 снимается вилообразным захватом 5, распо- ложенным в следующей вакуумной камере, при осуществлении аналогичной после« довательности действий. Таким образом, производится перегрузка всех оправок 4 с иэделиями в следующую вакуумную камеру. Здесь затвор 2 закрывается, производится следующая технологическая операция (например, высокотемпературное.обезгаживание). В зто время в первую камеру загружается новая партия оправок ' с изделиями и т,д. Количество вакуумных камер в установке может быть различным в зависимости от технологического процесса, т.е. обеспечивается гибкость технологического процесса.

Вакуумные камеры выполняют роль щпюэов, что позволяет постоянно поддерживать в установке требуемый вакуум и обеспечивать качество изделий. Иеханизм транспортирования оправок с иэделиями позволяет исключить пары трения в вакууме, т.е. исключить их эаклинивание иэ-за трения скольжения, за счет чего повышается надежность установки, 'При подъеме, переносе и установе оп", 'равок не происходит проскальзывания поверхностей оправок, держателей оправок и внлообразных захватов, т.е. в вакууме не возникает пар трения сколыкения, Все пары трения скольжения приводов перемещения расположены вне вакуумного объема, что позволяет обеспечить их смазку, тогда как в условиях вакуума, особенно сверхвысокого, коэффициенты трения мате- 3 140.7 1 риалов имеют аномально высокие зна-' чения.

Такое пошаговое перемещение оправок позволяет обеспечить их перемеще» ние без тРения скольжения на неогра- ' ниченно большое расстояние с воэможностью вакуумной изоляции„ отдельных лартнй оправок с изделиями. При этом элементы механизма транспортирова- щ пия целиком взаимозаменяемы, что обеспечивает высокую ремонтопригодность вакуумной установки. Формула изобретения!В Вакуумная установка, содержащая вакуумные камеры, разделенные шлюзовыми затворами, держатели оправок, установленные в каждой камере, и ме" зб 99 '4 ханиэмы перемещения оправок в каждой камере, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности установки при обеспечении качества обработки иэделий, она снабжена допол'нительными держателями, расположенными симметрично относительно оси каждого шлюзового затвора, механизмы перемещения справок выполнены в виде приводов поступательного и вращательного движений и випообраэных захватов, а держатели оправок - в виде вилок, сопряженных с вилообразными захватами, при этом приводы' размещены в шахматном порядке симметрично отно.сительно продольной оси установки> а размеры каждой пары' дополнительных держателей соответствуют размерам держателей.

1 1407199 Составитель Я. Кузовкина М.Ходанич Корректор П. Вутяга Редактор Г. Яковлева Техред . од Заказ 594/ЛСП Тираж '362 ВПИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытнй 113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д. / 4/5 4 ро зв ие г. Ужгород, ул, Проектна Производственно-полиграфическое предприят а Ф Н 4~ 'Я а> ~й о Л о > ж Ф Р о $ 8 Ф $" и 4 о й а 4 "д 4 й Я з' Я й~ Ф ~) Г л а О 4 $ Ф 4 О ( д~ а Е: х о Р, И о И, й й о 4 й 3 6" и М й б Ф э Ф о 3 Ф3 Ф 5 ~ а а э Й,~ д Ф б Ф ~ ю Ф йи 2 Х Х й~ Я О Е 2 О Ж О О о ж О~ О й о о га Я А и ж а 1- с~ О.

и Я Я 3 ~3 о Р Я й Ф в! О А ® .