Сергеев А.Г. - Введение в нанометрологию, страница 57
Описание файла
PDF-файл из архива "Сергеев А.Г. - Введение в нанометрологию", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "метрология, стандартизация и сертификация (мсис)" из 11 семестр (3 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "книги и методические указания", в предмете "метрологическое обеспечение инновационных технологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 57 страницы из PDF
Данилова [ и др.] // Измерительная техника. –2008. − № 8. – С. 20 – 23.33. Новиков, Ю. А, Классификация тест-объектов для калибровки растровых электронных микроскопов в нанометровом диапазоне / Ю. А. Новиков [и др.] // Измерительная техника. – 2009. − № 2. – С. 23 – 25.34. Волк, Ч.
П. Калибровка растрового электронного микроскопа по двумкоординатам с использованием одного аттестованного размера / Ч. П.Волк [и др.] // Измерительная техника. – 2008. − № 6. – С. 18 – 20.35. «Соглашение о взаимном признании результатов государственных испытаний и утверждения типа, метрологической аттестации, поверки икалибровки средств измерений, а также результатов аккредитации лабораторий, осуществляющих испытания, поверку и калибровку средствизмерений» (от 13 марта 1992 г.).36.
ПМГ 06-2001 «Порядок признания результатов испытаний и утверждения типа, поверки, метрологической аттестации средств измерений».37. Раков, А. И. Калибровка АСМ по трем координатам с использованиемодного аттестованного размера / А. И. Раков [и др.] // Измерительнаятехника.
– 2008. − № 5. – С. 13 – 15.38. Миронов, В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л.Миронов – Н. Новгород, ИФМ РАН. – 2004.39. Новиков, Ю. А. Нанотехнология и нанометрология / Ю. А. Новиков [идр.]. – М. : Труды ИОФ РАН – т. 62. – 2006.40. Лахов, В. И. Метрологическое обеспечение, стандартизация и оценкасоответствия нанотехнологий / В. И. Лахов // «Компетентность». – 2008. −№ 2. – С. 1012.41. Тодуа, П. А. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию.
Ч. 3 / П. А. Тодуа [и др.] // Микросистемная295техника. – 2004. − № 3. – С. 25 – 32.42. Красовский, П. А. Проблемы метрологического обеспечения измеренияпараметров наночастиц в технологических средах / П. А. Красовский [идр.] // Измерительная техника. – 2009. − № 5. – С. 8 – 14.43. Кузин, А. Ю. Исследование характеристик кантилеверов АСМ / А. Ю.Кузин [и др.] // Измерительная техника. – 2009. − № 7. – С. 17 – 19.44.
Волк, Ч. П. Изображение тест-объекта ширины линий в РЭМ при разных энергиях электронов зонда / Ч. П. Волк [и др.] // Измерительнаятехника. – 2009. − № 7. – С. 20 – 22.Учебное изданиеСЕРГЕЕВ Алексей ГеоргиевичВВЕДЕНИЕ В НАНОМЕТРОЛОГИЮУчебное пособиеПодписано в печать 27.01.10.Формат 60х84/16. Усл. печ. л. 17,2. Тираж 100 экзЗаказИздательствоВладимирского государственного университета600000, Владимир, ул.
Горького, 87.296.
