Моделирование технологических процессов, страница 5

е., где.Каждой из вероятностей, P1 и P2 ставятся в соответствие значения величины X2(36)которые оцениваются по таблице [3]. Для числа степеней свободы всоответствующей строке таблицы находится два значения X2: одно для вероятности Р1,другое - для Р2. Далее из выражений нетрудно вычислить значения границ σ1 и σ2. Такимобразом, получим искомый доверительный интервал(37)С использованием полученных данных можно построить точностную диаграммутехнологического процесса, которая называется диаграммой доверительных интервалов(рис. 14).

Для этого по оси абсцисс откладывают номера выборок (или моменты времени),а по оси ординат - значения среднего и среднего квадратического отклонений в выборках.Кроме того, на диаграмму наносятся доверительные границы соответственно дляматематического ожидания и среднего квадратического отклонения, через которыепроводятся параллельно оси абсцисс линии, доверительная область затем штрихуется.Диаграмма доверительных интервалов дает возможность составить более точноесуждение об изменениях центра группирования и параметрах рассеяния технологическогопроцесса.

Так, если смежные доверительные интервалы не перекрываются можно сдостаточным основанием говорить о наличии изменения центров настройки илирассеивания.24Рис. 14. Диаграмма доверительных интерваловРабота №2 Исследование стабильности технологического процесса производствамикроэлектронной аппаратурыЦель работы - получение практических навыков по проведению контроля ианализа стабильности технологического процесса производства электронной аппаратуры.В процессе выполнения работы студенты решают следующие задачи:изучают понятие устойчивости и стабильности технологического процесса;изучают методики оценки стабильности технологического процесса и построенияточностных диаграмм процесса;изучают разновидности основной теоретической схемы возникновенияпроизводственных погрешностей;изучают особенности обработки статистического материала при ограниченномчисле опытов (наблюдений);экспериментально исследуют стабильность технологического процесса получениякомпонентов гибридной интегральной микросхемы то методу выборок.Содержание и порядок выполнения работыВ работе производится исследование стабильности технологического процессаизготовлениярезистивныхэлементовгибридныхинтегральныхмикросхем.Контролируемый параметр - электрическое сопротивление.Для выполнения работы требуется:1.Ознакомиться с описанием лабораторной работы и установки, Изучитьнеобходимые теоретические сведения.2.Провести измерения электрических сопротивлений по выбор» саммикросхем.Полученный статистический ряд преобразовать.

Для этого его необходиморазбить на 5 последовательных групп по 16 значений сопротивления в каждой группе.Каждая группа соответствует выборке, взятой в определенные моменты времени.253.Провести статистическую обработку каждой выборки, определив точечныеоценки математического ожидания и среднего квадратического отклоненияэлектрического сопротивления, по формулам (32),4.Построить доверительные интервалы для математического ожидания исреднего квадратического отклонения по ранее изложенной методике, используя данныетабл.

4,5. Доверительная вероятность задается преподавателем.Таблица 4Значения параметра tβ в зависимости от β для ν = 15Таблица 52Значения параметра Х в зависимости от Р для ν = 155.Все данные, полученные по результатам выполнения пп. 3, 4, занести в табл.6.Построить диаграмму доверительных интервалов ло методике, изложенной6.выше.7.Датьстабильности.заключениеохарактеретехнологическогопроцессаиегоТаблица 6Экспериментальные данныеСодержание отчета1.Название работы ж ее цель.2.Таблица экспериментальных и расчетных данных (табл.

6).3.Аналитические выражения для определения статистических характеристик(32) и построения доверительных интервалов (34), (37).4.Диаграмма доверительных интервалов.5.Выводы по работе.6.Описание лабораторной установкиЛабораторная установка состоит из макета и измерительного прибора.Внутри макета установлены исследуемые платы гибридных интегральныхмикросхем в количестве 80 штук, представляющие собой последовательные выборкиобъемом 16 штук. Измерительный прибор подключается к входным клеммам макета.Коммутация прибора и исследуемых изделий осуществляется с помощью двухгрупп переключателей, обозначенных соответственно А1-А1У и ВУ-ВУШ.В каждом из положений группового переключателя коммутация плат26осуществляется переключателями подгрупп соответственно A1-A1O к B1-B10. Вначалепроводятся измерения параметров резисторов на платах, подключаемых кизмерительному прибору с помощью переключателей А1-А1У и A1-A10, затем переключателей ВУ-ВУШ и B1-B10.Величина исследуемого параметра определяется по показаниям измерительногоприбора.27ЛИТЕРАТУРАГлудкин О.П., Черняев В.Н.

Анализ и контроль технологических процессовпроизводства РЭА: Учебн. пособие для вузов. - М.: Радио и связь, 1983. - 296 с.Львовский Е.Н. Статистические метода построения эмпирических формул: Учебн.пособие для вузов. - М.: Высшая школа, 1982. - 224 с.Вентцедь Е.С. Теория вероятностей: Учебник для вузов. - М.: Физматгиз, 1962. 564 с..