Таблица Тонкие пленки (Раздаточный материал)
Описание файла
Файл "Таблица Тонкие пленки" внутри архива находится в следующих папках: Раздаточный материал, БД_магистры_2016. Документ из архива "Раздаточный материал", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы технологии изделий наноинженерии" из 9 семестр (1 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "основы технологии изделий наноинженерии" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Таблица Тонкие пленки"
Текст из документа "Таблица Тонкие пленки"
Таблица Тонкие пленки
| Метод D00 | Материал пленки | Vо, нм/с | h, нм | Eо, эВ | p, Па | Tп, К | Uсм, В | Свойства пленки | Подложка | Установка | Назначение пленки | Дополнит. информация | [Л] |
D00 – код метода нанесения тонкой пленки (классификация методов)
Vо – скорость осаждения
h – толщина пленки
Eо – энергия частиц
p – давление (остаточное или рабочий газ)
Tп – температура подложки
Uсм – напряжение смещения
[Л] – источник информации
Материал пленки:
Bi2Te – теллурид висмута: Макарова, Мартыненко
SiC – карбид кремния
Ag – серебро и Au – золото: Яковлев, Ласен
AlN – нитрид алюминия: Колесник, Якушев
WSi – силицид вольфрама: Маркин, Малеванная, Поручиков
MoS2 – дисульфид молибдена:
α-C:H – алмазоподобный углерод
InSnO – ITO пленки – прозрачные электроды: Галкина, Лунякина
