сведения об оппоненте Быков (Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью)
Описание файла
Файл "сведения об оппоненте Быков" внутри архива находится в следующих папках: Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью, Документы. Документ из архива "Процессы формирования газовых кластерных ионов и их взаимодействия с поверхностью", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Онлайн просмотр документа "сведения об оппоненте Быков"
Текст из документа "сведения об оппоненте Быков"
Быков Виктор Александрович
Доктор технических наук (специальность 01.04.01 – приборы и методы экспериментальной физики, 05.27.01 – твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах)
Зам. директора по науке, ФГУП НИИ Физических проблем им. Ф.В.Лукина.
Ген. директор ОАО «НТ МДТ»
Список основных публикаций по теме диссертации за последние 5 лет:
-
В.Быков, К.Борисов, Ал.Быков, Ан.Быков, В.Котов, В.Поляков, В.Шиллер. Технологические комплексы наноэлектроники с использованием систем бесшаблонной литографии// ЭЛЕКТРОНИКА, наука, технология, бизнес, № 137, 2014, стр. 35 - 42
-
Быков В.А., Борисов К.Ю., Быков Ал.В., Быков Ан.В., Котов В.В., Шиллер В.А. Технологические комплексы наноэлектроники с использованием систем бесшаблонной литографии, Интеграл, №3 (71) стр.76-82, 2013
-
В. А. Быков, К.Ю. Борисов, Ан.В. Быков, Ал.В. Быков, В.В. Котов. Технологические комплексы для наноэлектроники и их метрологическое обеспечение, Комментарии к стандартам, ТУ, сертификатам, № 36, 2013
-
В.А. Быков, Возможности технологических линий для разработок, мелко- и среднесерийного производства СБИС наноэлектроники с использованием кластеров многолучевой электронной литографии. Одиннадцатый Всероссийский семинар «Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики», 28 мая – 30 мая 2013 г. Москва, Россия.
-
Возможности кластерного оборудования для создания и исследования приборов наноэлектроники. Симпозиум "Нанофизика и Наноэлектроника 2011". Россия, Нижний Новгород, Март, 14-18, 2011. КОНФ.
-
Кластерное технологическое оборудование для создания элементной базы наноэлектроники. «Наноиндустрия» №6, 2010.
-
Патент №2390070. 20.05.2010, Быков В.А., Нанотехнологический комплекс на основе эпитаксиальных и ионных технологий.
