2-1070-1401288613-posledovatelnost-postroeniya-krivoy-raspredeleniya-intensivnosti-izlucheniya-v-ploskosti-izobrazheniya (Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль)
Описание файла
Документ из архива "Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииЗадание:Рассчитать профиль", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "специальные предметы" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "2-1070-1401288613-posledovatelnost-postroeniya-krivoy-raspredeleniya-intensivnosti-izlucheniya-v-ploskosti-izobrazheniya"
Текст из документа "2-1070-1401288613-posledovatelnost-postroeniya-krivoy-raspredeleniya-intensivnosti-izlucheniya-v-ploskosti-izobrazheniya"
Последовательность построения кривой распределения интенсивности излучения в плоскости изображения:
-
Для двумерного случая будем исследовать зону подложки, отстоящую от вертикальной оси z на расстояние W в область положительных значений координаты x (рис.1). Ось z проходит через центр отверстия, поэтому распределение интенсивности в зоне отрицательных значений координаты x будет совпадать с распределением интенсивности в зоне положительных значений.
-
Разбиваем положительную область изображения на подложке на N отрезков, получаем N+1 точку, в которых будем определять интенсивность излучения.
Рекомендуется разбивать область на 20 отрезков.
Координаты точек:
Xi,n= n∙ ; где n – номер точки; n=0,...,N.
-
Вычисляем пределы интегрирования для каждой из точек:
-
По таблице 1 находим значения интегралов Френеля для каждой точки по найденным значениям пределов интегрирования.
Интегралы Френеля:
-
Рассчитываем значения интенсивности излучения в каждой из точек по формуле:
6. Строим график распределения интенсивности (рис.2).
Рис.1.
Пример расчета интенсивности излучения.
Исходные данные: W=50 мкм.; Z=100 мкм.
Результаты расчетов сведены в таблицу.
n | X0,n | ξ1 | ξ2 | C(ξ1) | C(ξ2) | S(ξ1) | S(ξ2) | I(X0,n) |
0 | 0 | -5,60 | 5,60 | -0,449 | 0,445 | -0,475 | 0,484 | 0,860 |
1 | 2,5 | -6,16 | 5,04 | -0,521 | 0,558 | -0,547 | 0,525 | 1,157 |
... | ... | ... | ... | ... | ... | ... | ... | ... |
N | 50,0 | -16,80 | -5,60 | -0,517 | -0,449 | -0,491 | -0,475 | 0,003 |
ξ | С(ξ) | S(ξ) | ξ | С(ξ) | S(ξ) | ξ | С(ξ) | S(ξ) | ξ | С(ξ) | S(ξ) |
-16,771 | -0,517 | -0,491 | -5,590 | -0,445 | -0,484 | -2,227 | -0,640 | -0,480 | 0,530 | 0,520 | 0,077 |
-16,211 | -0,491 | -0,518 | -5,534 | -0,456 | -0,537 | -2,147 | -0,613 | -0,406 | 0,537 | 0,525 | 0,080 |
-15,652 | -0,515 | -0,486 | -5,367 | -0,554 | -0,476 | -2,121 | -0,596 | -0,387 | 0,559 | 0,545 | 0,090 |
-15,093 | -0,482 | -0,489 | -5,311 | -0,513 | -0,441 | -2,015 | -0,501 | -0,344 | 0,559 | 0,545 | 0,090 |
-14,534 | -0,479 | -0,506 | -5,200 | -0,439 | -0,502 | -2,000 | -0,486 | -0,343 | 0,636 | 0,611 | 0,131 |
-13,975 | -0,477 | -0,503 | -5,188 | -0,440 | -0,514 | -1,976 | -0,463 | -0,345 | 0,716 | 0,670 | 0,183 |
-13,416 | -0,487 | -0,480 | -5,139 | -0,468 | -0,553 | -1,968 | -0,454 | -0,347 | 0,742 | 0,688 | 0,203 |
-12,857 | -0,525 | -0,499 | -5,031 | -0,558 | -0,525 | -1,957 | -0,443 | -0,350 | 0,791 | 0,717 | 0,241 |
-12,298 | -0,474 | -0,502 | -5,031 | -0,558 | -0,525 | -1,909 | -0,401 | -0,369 | 0,800 | 0,722 | 0,249 |
-12,000 | -0,488 | -0,476 | -5,009 | -0,564 | -0,503 | -1,803 | -0,334 | -0,450 | 0,839 | 0,741 | 0,282 |
-11,859 | -0,514 | -0,477 | -4,830 | -0,440 | -0,473 | -1,789 | -0,329 | -0,463 | 0,849 | 0,746 | 0,291 |
-11,739 | -0,518 | -0,520 | -4,800 | -0,434 | -0,502 | -1,697 | -0,325 | -0,554 | 0,894 | 0,763 | 0,334 |
-11,600 | -0,488 | -0,525 | -4,752 | -0,451 | -0,546 | -1,677 | -0,330 | -0,573 | 0,955 | 0,777 | 0,392 |
-11,463 | -0,473 | -0,494 | -4,743 | -0,457 | -0,551 | -1,677 | -0,330 | -0,573 | 1,061 | 0,774 | 0,497 |
-11,200 | -0,527 | -0,508 | -4,651 | -0,542 | -0,554 | -1,610 | -0,360 | -0,632 | 1,073 | 0,772 | 0,510 |
-11,180 | -0,526 | -0,489 | -4,472 | -0,494 | -0,429 | -1,600 | -0,366 | -0,640 | 1,118 | 0,758 | 0,552 |
-11,068 | -0,489 | -0,527 | -4,472 | -0,494 | -0,429 | -1,591 | -0,372 | -0,647 | 1,118 | 0,758 | 0,552 |
-10,800 | -0,518 | -0,476 | -4,472 | -0,494 | -0,429 | -1,581 | -0,379 | -0,654 | 1,186 | 0,725 | 0,611 |
-10,673 | -0,515 | -0,526 | -4,400 | -0,436 | -0,466 | -1,485 | -0,461 | -0,703 | 1,200 | 0,716 | 0,622 |
-10,621 | -0,524 | -0,482 | -4,348 | -0,429 | -0,516 | -1,431 | -0,513 | -0,713 | 1,252 | 0,679 | 0,659 |
-10,400 | -0,497 | -0,469 | -4,293 | -0,458 | -0,561 | -1,398 | -0,547 | -0,713 | 1,398 | 0,547 | 0,713 |
-10,277 | -0,525 | -0,519 | -4,193 | -0,551 | -0,556 | -1,379 | -0,565 | -0,711 | 1,431 | 0,513 | 0,713 |
-10,062 | -0,532 | -0,502 | -4,114 | -0,576 | -0,486 | -1,273 | -0,663 | -0,672 | 1,581 | 0,379 | 0,654 |
-10,000 | -0,490 | -0,470 | -4,000 | -0,494 | -0,421 | -1,252 | -0,679 | -0,659 | 1,600 | 0,366 | 0,640 |
-9,882 | -0,524 | -0,521 | -3,953 | -0,451 | -0,436 | -1,200 | -0,716 | -0,622 | 1,610 | 0,360 | 0,632 |
-9,600 | -0,499 | -0,467 | -3,935 | -0,438 | -0,448 | -1,186 | -0,725 | -0,611 | 1,677 | 0,330 | 0,573 |
-9,503 | -0,493 | -0,533 | -3,913 | -0,426 | -0,467 | -1,167 | -0,736 | -0,596 | 1,677 | 0,330 | 0,573 |
-9,487 | -0,509 | -0,532 | -3,913 | -0,426 | -0,467 | -1,118 | -0,758 | -0,552 | 1,789 | 0,329 | 0,463 |
-9,200 | -0,523 | -0,474 | -3,757 | -0,491 | -0,584 | -1,118 | -0,758 | -0,552 | 1,957 | 0,443 | 0,350 |
-9,092 | -0,476 | -0,525 | -3,634 | -0,585 | -0,522 | -1,073 | -0,772 | -0,510 | 1,976 | 0,463 | 0,345 |
-8,944 | -0,491 | -0,466 | -3,600 | -0,588 | -0,489 | -1,061 | -0,774 | -0,497 | 2,000 | 0,486 | 0,343 |
-8,800 | -0,533 | -0,516 | -3,578 | -0,583 | -0,467 | -0,955 | -0,777 | -0,392 | 2,236 | 0,641 | 0,489 |
-8,696 | -0,473 | -0,475 | -3,558 | -0,574 | -0,449 | -0,894 | -0,763 | -0,334 | 2,236 | 0,641 | 0,489 |
-8,400 | -0,477 | -0,530 | -3,399 | -0,435 | -0,433 | -0,849 | -0,746 | -0,291 | 2,372 | 0,582 | 0,605 |
-8,385 | -0,490 | -0,537 | -3,354 | -0,410 | -0,469 | -0,839 | -0,741 | -0,282 | 2,400 | 0,557 | 0,619 |
-8,385 | -0,490 | -0,537 | -3,354 | -0,410 | -0,469 | -0,800 | -0,722 | -0,249 | 2,516 | 0,446 | 0,614 |
-8,301 | -0,536 | -0,486 | -3,220 | -0,451 | -0,586 | -0,791 | -0,717 | -0,241 | 2,767 | 0,435 | 0,406 |
-8,106 | -0,525 | -0,531 | -3,200 | -0,469 | -0,594 | -0,742 | -0,688 | -0,203 | 2,795 | 0,460 | 0,394 |
-8,000 | -0,492 | -0,461 | -3,182 | -0,487 | -0,599 | -0,716 | -0,670 | -0,183 | 2,795 | 0,460 | 0,394 |
-7,906 | -0,478 | -0,534 | -3,162 | -0,506 | -0,600 | -0,636 | -0,611 | -0,131 | 2,800 | 0,465 | 0,392 |
-7,826 | -0,540 | -0,508 | -3,076 | -0,582 | -0,563 | -0,559 | -0,545 | -0,090 | 3,162 | 0,506 | 0,600 |
-7,826 | -0,540 | -0,508 | -3,075 | -0,582 | -0,562 | -0,559 | -0,545 | -0,090 | 3,200 | 0,469 | 0,594 |
-7,600 | -0,522 | -0,535 | -3,041 | -0,599 | -0,534 | -0,537 | -0,525 | -0,080 | 3,354 | 0,410 | 0,469 |
-7,547 | -0,541 | -0,489 | -2,970 | -0,601 | -0,464 | -0,530 | -0,520 | -0,077 | 3,558 | 0,574 | 0,449 |
-7,510 | -0,519 | -0,462 | -2,864 | -0,528 | -0,393 | -0,424 | -0,420 | -0,040 | 3,600 | 0,588 | 0,489 |
-7,267 | -0,539 | -0,480 | -2,862 | -0,526 | -0,392 | -0,400 | -0,397 | -0,033 | 3,913 | 0,426 | 0,467 |
-7,267 | -0,539 | -0,480 | -2,800 | -0,465 | -0,392 | -0,395 | -0,393 | -0,032 | 3,953 | 0,451 | 0,436 |
-7,200 | -0,482 | -0,460 | -2,795 | -0,460 | -0,394 | -0,358 | -0,356 | -0,024 | 4,000 | 0,494 | 0,421 |
-7,115 | -0,467 | -0,531 | -2,795 | -0,460 | -0,394 | -0,318 | -0,317 | -0,017 | 4,472 | 0,494 | 0,429 |
-6,988 | -0,541 | -0,481 | -2,767 | -0,435 | -0,406 | -0,280 | -0,279 | -0,011 | 5,031 | 0,558 | 0,525 |
-6,800 | -0,490 | -0,546 | -2,758 | -0,427 | -0,411 | -0,212 | -0,212 | -0,005 | 5,590 | 0,445 | 0,484 |
-6,720 | -0,547 | -0,505 | -2,683 | -0,385 | -0,471 | -0,179 | -0,179 | -0,003 | |||
-6,708 | -0,547 | -0,493 | -2,652 | -0,380 | -0,502 | -0,106 | -0,106 | -0,001 | |||
-6,708 | -0,547 | -0,493 | -2,546 | -0,421 | -0,596 | 0,000 | 0,000 | 0,000 | |||
-6,429 | -0,546 | -0,518 | -2,516 | -0,446 | -0,614 | 0,106 | 0,106 | 0,001 | |||
-6,400 | -0,549 | -0,490 | -2,504 | -0,456 | -0,618 | 0,179 | 0,179 | 0,003 | |||
-6,325 | -0,493 | -0,450 | -2,440 | -0,519 | -0,628 | 0,212 | 0,212 | 0,005 | |||
-6,149 | -0,521 | -0,547 | -2,400 | -0,557 | -0,619 | 0,280 | 0,279 | 0,011 | |||
-6,000 | -0,494 | -0,447 | -2,372 | -0,582 | -0,605 | 0,318 | 0,317 | 0,017 | |||
-5,929 | -0,447 | -0,493 | -2,333 | -0,610 | -0,579 | 0,358 | 0,356 | 0,024 | |||
-5,870 | -0,470 | -0,545 | -2,326 | -0,615 | -0,573 | 0,395 | 0,393 | 0,032 | |||
-5,600 | -0,449 | -0,475 | -2,236 | -0,641 | -0,489 | 0,400 | 0,397 | 0,033 | |||
-5,590 | -0,445 | -0,484 | -2,236 | -0,641 | -0,489 | 0,424 | 0,420 | 0,040 |