2-1069-1401283965-w-5_z-19533_l-0405-vord (Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииВариант 1: W = 5z = 1,95335295476376λ =)
Описание файла
Документ из архива "Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографииВариант 1: W = 5z = 1,95335295476376λ =", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "специальные предметы" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "2-1069-1401283965-w-5_z-19533_l-0405-vord"
Текст из документа "2-1069-1401283965-w-5_z-19533_l-0405-vord"
Домашнее задание №1
по курсу «Микро- и нанотехнологии»
Студент: Бабурин А.С.
Группа: МТ11-71
Преподаватель: Цветков Ю. Б.
-
Заданные условия
Вариант 1
W= 5 мкм - ширина окна на фотошаблоне,
Z=1,953353 мкм - микрозазор,
= 0,405 мкм- длина волны актиничного излучения.
-
Краткое описание последовательности выполняемых этапов. +
-
Математическое обеспечение основных этапов
Выражение для распределения интенсивности для одномерного случая, когда окно на шаблоне представляет собой узкую длинную щель:
Этапы:
а) Положительную область изображения — от нуля вправо —разделим на n=250 расчетных интервалов (n 20). Нулевая точка и 25 0точек в начале интервалов будут иметь координаты , где k = 0...250( учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном 0,5 W)
б)Для каждой из точек вычисляют значения пределов интегрирования
в) Далее находят интегралы Френеля, соответствующие вычисленным значениям
г) Затем рассчитывают значения интенсивности излучения в i-й точке по формуле:
-
Программное обеспечение
а) Microsoft Word 2007
б) Mathcad 15
-
Иллюстрации
-
Расчетная схема
-
-
Входное распределение интенсивности (на объекте)
-
Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.
Ниже приведен график распределения при делении на 25 отрезков