Тест по оксидированию

Тест 12 ноября 2013г. Группа ___________ Фамилия, Имя_____________________________

1. При термическом оксидировании часть слоя SiO₂ врастает в исходную поверхность кремниевой пластины, а часть – нарастает над ней, следуя определенному соотношению. Получите аналитически это соотношение. 0,6

2. Используя первоисточник, дайте точное определение явлениям и параметрам, определяющим поток F₁:

• С какой стороны поверхности SiO₂ (внешней или внутренней по отношению к среде O₂) определена концентрация C*

• Какой процесс описывается в данном случае законом Генри – уравнение (3). Что здесь концентрация C* , где она имеет место, от чего зависит. Что такое Н и P_G в этом уравнении?

• Объясните физический смысл концентрации Сo и коэффициента h в уравнении (1). 1,0

3. При окислении кремния во влажном кислороде при 950 ^oC получена следующая зависимость толщины диоксида кремния от времени:

Покажите, как графически определить линейную и параболическую константы скорости из этих экспериментальных данных. Можно считать, что для окисления кремния во влажном кислороде τ = 0. 1,0

4. Кремниевая пластина покрыта окислом толщиной 0,3мкм. Какое время необходимо для увеличения этой толщины до 0,5мкм:

• во влажном кислороде (температура 1200^oC, A = 0.05 мкм and B = 0.72 мкм²/час)

• в сухом кислороде (температура 1200^oC, A = 0.04 мкм and B = 0.045 мкм²/час) 0,4

Тест 12 ноября 2013г. Группа ___________ Фамилия, Имя_____________________________

1. При термическом оксидировании часть слоя SiO₂ врастает в исходную поверхность кремниевой пластины, а часть – нарастает над ней, следуя определенному соотношению. Получите аналитически это соотношение. 0,6

2. Используя первоисточник, дайте точное определение явлениям и параметрам, определяющим поток F₁:

• С какой стороны поверхности SiO₂ (внешней или внутренней по отношению к среде O₂) определена концентрация C*

• Дайте определение адсорбции, имеющей место в рассматриваемом случае.

• Какой процесс описывается законом Генри – уравнение (3). Что такое Н и P_G в этом уравнении?

• Объясните физический смысл концентрации Сo и коэффициента h в уравнении(1). 1,0

3. При окислении кремния во влажном кислороде при 950 ^oC получена следующая зависимость толщины диоксида кремния от времени:

Покажите, как графически определить линейную и параболическую константы скорости из этих экспериментальных данных. Можно считать, что для окисления кремния во влажном кислороде τ = 0. 1,0

4. Кремниевая пластина покрыта окислом толщиной 0,3мкм. Какое время необходимо для увеличения этой толщины до 0,5мкм:

• во влажном кислороде (температура 1200^oC, A = 0.05 мкм and B = 0.72 мкм²/час)

• в сухом кислороде (температура 1200^oC, A = 0.04 мкм and B = 0.045 мкм²/час) 0,4

Тест 12 ноября 2013г. Группа ___________ Фамилия, Имя_____________________________

1. При термическом оксидировании часть слоя SiO₂ врастает в исходную поверхность кремниевой пластины, а часть – нарастает над ней, следуя определенному соотношению. Получите аналитически это соотношение. 0,6

2. Используя первоисточник, дайте точное определение явлениям и параметрам, определяющим поток F₁:

• С какой стороны поверхности SiO₂ (внешней или внутренней по отношению к среде O₂) определена концентрация C*

• Дайте определение адсорбции, имеющей место в рассматриваемом случае.

• Какой процесс описывается законом Генри – уравнение (3). Что такое Н и P_G в этом уравнении?

• Объясните физический смысл концентрации Сo и коэффициента h в уравнении(1). 1,0

3. При окислении кремния во влажном кислороде при 950 ^oC получена следующая зависимость толщины диоксида кремния от времени:

Покажите, как графически определить линейную и параболическую константы скорости из этих экспериментальных данных. Можно считать, что для окисления кремния во влажном кислороде τ = 0. 1,0

4. Кремниевая пластина покрыта окислом толщиной 0,3мкм. Какое время необходимо для увеличения этой толщины до 0,5мкм:

• во влажном кислороде (температура 1200^oC, A = 0.05 мкм and B = 0.72 мкм²/час)

• в сухом кислороде (температура 1200^oC, A = 0.04 мкм and B = 0.045 мкм²/час) 0,4