2_Модель_Deal_Grove_Student_2012 (Лекции Цветкова)
Описание файла
Файл "2_Модель_Deal_Grove_Student_2012" внутри архива находится в следующих папках: Лекции Цветкова, задание 4. Документ из архива "Лекции Цветкова", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "2_Модель_Deal_Grove_Student_2012"
Текст из документа "2_Модель_Deal_Grove_Student_2012"
Модель роста оксида Дила-Гроува (Deal-Grove)
Выводы предыдущего раздела позволяют рассмотреть в процессе термического окисления три потока молекул кислорода (рис. ).
1. Поток молекул из газовой среды к внешней поверхности пластины, на которой в начальной стадии происходит реакция (кислорода с кремнием), а затем – адсорбция кислорода на формирующемся оксиде - поток F1
2. Поток молекул, диффундирующих через оксид SiO2 к кремнию Si - поток F2
3. Поток молекул O2, вступающих в реакцию с Si на границе раздела SiO2 /Si - поток F3
В равновесных условиях три рассмотренных потока равны между собой, при этом скорость формирования оксида определяется самым медленным из них.
Поток F1 определяется разностью между …………………………………………………………………….
…………………………………………………………………….……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………..…………………………………………………………………….…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
……………………………………………………………………………………………………………………………………………………….
2.