(испр) 1 Модуль Раздел 2 Технология пьезорезистивного микродатчика_Журнал (Лекции Цветкова), страница 2
Описание файла
Файл "(испр) 1 Модуль Раздел 2 Технология пьезорезистивного микродатчика_Журнал" внутри архива находится в папке "Лекции Цветкова". Документ из архива "Лекции Цветкова", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "(испр) 1 Модуль Раздел 2 Технология пьезорезистивного микродатчика_Журнал"
Текст 2 страницы из документа "(испр) 1 Модуль Раздел 2 Технология пьезорезистивного микродатчика_Журнал"
Рис. 2.8. Формирование контактов
а – фотошаблон, б – сечение подложки
2.4.6. Металлизация и формирование контактных площадок
На рабочую поверхность подложки наносится тонкий слой алюминия, который является материалом межсоединений пьезорезисторов. Операция может выполняться, например, термическим вакуумным напылением. Проводится фотолитография и локальное травление Al сквозь вскрытые в фоторезисте окна. При этом формируется топология металлической разводки на поверхности подложки, включая контактные площадки для последующего соединения с внешними выводами (рис. 2.9).
а б
Рис. 2.9. Напыление алюминия и формирование контактных площадок
а - фотошаблон, б - сечение подложки после завершения этапа
2.4.7. Анизотропное травление упругой диафрагмы
На слой нитрида кремния Si3N4 наносится фоторезист и проводится фотолитография. Через образующиеся окна в фоторезисте проводится плазменное травление Si3N4 , после чего фоторезист удаляется (рис. 2.10, а).
Далее следует операция анизотропного травления (рис. 2.10, б), основанная на том, что у кремния скорости травления разных кристаллографических плоскостей в щелочных растворах, например, KOH резко различаются. Так, скорость травления плоскости (100) в 400 раз выше, чем плоскости (111). Поэтому плоскости (100) удаляются при травлении, а плоскости (111) остаются, придавая профилю травления характерный вид с наклонными стенками.
Травление ведется до момента достижения требуемой толщины диафрагмы (рис. 2.10, б), которая в рассмотренном примере равна толщине эпитаксиального слоя.
Отметим, что на рабочей поверхности подложки формируется дополнительный алюминиевый контакт. Через него на слой n+ и, соответственно, на эпитаксиальный слой, подается потенциал, обеспечивающий самоостановку процесса травления при достижении фронтом травления эпитаксиального слоя.
Заметим также, что при анизотропном травлении в агрессивных жидких средах, например KOH при температуре 60-80 оС, оабочая сторона подложки должна быть надежно защищена.
После травления защитный слой Si3N4 удаляется, поскольку обратная сторона кремниевой подложки должна быть подготовлена для соединения со стеклянным основанием.
а б в
Рис. 2.10 . Формирование упругой диафрагмы
а – создание защитной маски в нитриде кремния, подложка после анизотропное травления (б) и снятия пленки нитрида кремния (в)
2.5. Монтаж кремниевого чувствительного элемента на стеклянное основание
Чувствительный элемент должен быть закреплен на стеклянной опоре так, чтобы обеспечить герметичность полости под диафрагмой и минимизировать в ней сборочные напряжения (рис. 2.1, б; 2.2, а). Наиболее часто для этого применяется анодная сварка кремния со стеклом, обеспечивающая соединение этих материалов в твердой фазе.
Приложение 2.1. Тензо- и пьезоэффект в кремнии
Принцип работы ряда чувствительных элементов измерительных устройств основан на эффекте изменения сопротивления тела в зависимости от возникающих в нем напряжений – тензоэффекте.
Сопротивление R резистора длиной l определяется известным выражением
(1)
где ρ - удельное сопротивление материала резистора;
S - площадь поперечного сечения резистора.
Тензоэффект характеризуется выходным сигналом, связанным с относительным изменением сопротивления резистора ΔR/R.
Отношение ΔR/R математически можно получить, дифференцируя (1),
предварительно прологарифмировав это выражение:
(2)
Учитывая, что зависимость относительного изменения сопротивления проводника при его продольной деформации в дифференциальной форме и при переходе к конечным разностям можно представить в виде:
(3)
где ΔR, Δρ, ΔL, ΔS - абсолютные приращения сопротивления, удельного сопротивления, длины и площади поперечного сечения проводника соответственно.
При нагружении твердого тела силой F величины продольных и поперечных упругих деформаций (рис. 2.11) связаны выражением
(4)
где - значение относительной продольной (longitudinal )деформации;
- значение относительной поперечной (transverse)деформации;
A – поперечный размер проводника;
Рис. 2.11. Продольные и поперечные деформации при нагружении твердого тела
Знак «минус» означает, что при удлинении проводника, его поперечный размер уменьшается и наоборот. В общем виде, безотносительно к прилагаемой нагрузке (растяжение или сжатие) можно записать:
(5)
Учитывая, что в выражении (3)
и переходя к конечным разностям получим:
|
Основным параметром тензоэлемента является коэффициент относительной тензочувствительности К, который равен относительному изменению сопротивления, приходящемуся на единицу деформаций:
(6)
Заметим, что относительное изменение электропроводности r материала определяется возникающими в нем напряжениями s и описывается выражением:
, (7)
где p - пьезорезистивный коэффициент.
Как известно, зависимость между деформациями e и напряжениями s в твердом теле описывается законом Гука:
, (8)
где Е - модуль Юнга.
Таким образом:
(9)
Тогда коэффициент тензочувствительности имеет вид:
(10)
Выражение для К наглядно показывает, что изменение сопротивления тела в зависимости от возникающих в нем напряжений определяется, во-первых, изменением его геометрических размеров, а во-вторых – изменением удельной проводимости материала резистора.
У большинства металлов значение p очень мало, а величина m лежит в диапазоне m £ 0,25…0,35, поэтому значение К изменяется в пределах 1,5…1,7.
Полупроводники имеют большие значения пьезокоэффициентов, поэтому приращение сопротивления за счет изменения удельного сопротивления может быть в несколько десятков и сотен раз больше, чем изменение за счет геометрии.
Пьезоэлектрические свойства кремния являются основой изготовления чувствительных элементов датчиков для измерения различных физических величин – силы, давления, ускорения и т.п. Именно поэтому кремниевые микродатчики с высокой чувствительностью в микроминиатюрном исполнении часто называют пьезорезистивными.
Пьезорезистивность – явление изменения электрического сопротивления полупроводника под действием механических напряжений, приложенных вдоль определенных кристаллических осей.