Готовое домашнее задание вариант №9

Московский Государственный технический Университет им. Н. Э. Баумана

РАСЧЕТ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Домашнее задание по курсу

"Вакуумные технологии"

Вариант №9.

Выполнил: студентка группы МТ11-51

Куликова Л. А.

Проверил: Моисеев К. М.

Москва

2014г.

Исходные данные:

Откачиваемый прибор: Камера (Ион. импл.)

Объем камеры: .

Рабочий вакуум:

Суммарный поток газовыделения:

Тип откачки: безмасляная

Производство: индивид.

Задание:

1. Рассчитать эффективную(требуемую) скорость откачки.

2. Выбрать и обосновать тип насоса окончательной откачки (с учетом типа вакуума)

3. Составить вакуумную схему с учетом выбранного типа высоковакуумного насоса.

БОНУС: предложить альтернативную схему с указанием достоинств и недостатков обоих схем.

1. Выбрать и обосновать типоразмер насоса окончательной откачки (с учетом коэффициента запаса)

2. Выбрать и обосновать типоразмер предварительной откачки (с учетом согласования насосов)

3. Выбрать и обосновать тип и типоразмер запорной арматуры (клапаны, затворы)

4. Выбрать и обосновать тип и типоразмер вакуумных датчиков.

5. Выбрать и обосновать тип и типоразмер дополнительных элементов вакуумной системы (ловушки, натекатели)

6. Выбрать и обосновать тип вакуумных соединений и уплотнений.

7. Составить перечень элементов, входящих в вакуумную схему с указанием типа, типоразмера, марки, производителя и количества.

Схема вакуумной системы

Определение и обоснование типоразмер окончательной высоковакуумной откачки:

Требуемая быстрота откачки:

Требуемая быстрота откачки с учетом коэффициента запаса (определение типоразмера окончательной откачки):

Предельное давление насоса рекомендуется брать хотя бы на один порядок больше рабочего давления т.е:

По данным параметрам ( ) и с учетом типа откачки (безмасляная) нам подходит только криогенный насос. Выбираем криогенный насос HSR VCP100.

P_{запуска} находим с помощью параметра “crossover” в каталоге компании HSR.

Определения и обоснование типоразмер форвакуумной откачки:

Рекомендуемая быстрота действия насоса при форвакуумной откачке:

Выбираем спиральный насос nXDS6i (для эффективности откачки и повышения производительность Высоковакуумного -насоса), нам требуется безмасляный вакуум, по нашим требуемым параметрам форвакуумного насоса этот вполне подходит):

Датчики (+по диапазону измерения ), клапаны, затворы, переходники, крестовины, тройники, уплотнители (материал рекомендуется: для СВВ – металлический, для ВВ- NBR) в основном выбираются по диаметру фланца.

+ Все датчики от одного производителя (Edwards), чтобы подключить их к одному контроллеру (Edwards).

Я выбрала электромагнитные (электропневматические) затворы и клапаны чтобы была возможность полностью автоматизировать процесс откачки без компрессора.

Натекателей в системе не должно быть, т.к. не используется рабочий газ. Ловушек тоже нет, т.к. выбранные насосы и так обеспечивают безмасляную откачку.

В некоторых случаях выбора элементов вакуумной системы я не учитывала экономический подход, т.к. производство у меня индивидуальное и этого не было в ТЗ.