Реферат - правила составления
Описание файла
Документ из архива "Реферат - правила составления", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "конструкторско-технологический практикум (ктп)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "конструкторско-технологический практикум (ктп)" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Реферат - правила составления"
Текст из документа "Реферат - правила составления"
Реферат
на расчетно-пояснительную записку
по конструкторско-технологическому практикуму:
Обеспечение и контроль топологической точности многослойных структур
Записка содержит 45 стр., 50 рисунков, 1 таблица.
Фотолитография, топологические погрешности, зондовый контроль, погрешности размеров, прогнозирование, выход годных, Экспонирование, Оптические системы.
Объектом изучения являлся технологический процесс формирования многослойных микроструктур.
Целью работы является анализ проблем достижения требуемой топологической точности многослойных микроструктур и контроля параметров точности в реальных производственных условиях.
Оценены требования к топологической точности основных изделий микротехнологии - интегральных микросхем, печатных плат, изделий микросистемотехники, рассмотрены особенности формирования и совмещения их топологических слоев.
На основании анализа методов экспонирования (проекционное, контактное и экспонирование со сканированием) выявлены основные факторы, влияющие на качество формируемого изображения.
Проведен расчет профиля изображения для печатных плат и с помощью программного обеспечния подобраны режимы экспонирования.
Показано, что для контроля совмещаемости и точности размеров наиболее перспективен зондовый метод, обладающий высокой производительностью и универсальностью. Проведен анализ тестовых структур для этого метода контроля.
Рассмотрены основные узлы и составляющие установок экспонирования. Выбрана принципиальная схема устройства для контактного экспонирования и для него спроектирована оснастка.