ДЗ №3 - Техническое задание на создание установки фотолитографии

Куликова Людмила МТ11-18 (М)

Техническое задание на создание установки фотолитографии

Рисунок 1 – внешний вид реальной установки ЭМ-5026

1. Разработать установку фотолитографии учитывая все необходимые параметры для конечного изделия:

   1. Максимальный размер образца – 2’ (Сапфир, Al2O3)

   2. Погрешность позиционирования – 0,5 мкм

   3. Толщина образца – 430 мкм

   4. Длина волны излучения – 350 нм

   5. Диапазон перемещений – 0,5 см

2. Разработать систему управления для выполнения следующих алгоритмов:

   1. Загрузки подложки из подающей кассеты.

   2. Загрузки подложки со стола ориентации.

   3. Калибровки.

   4. Совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине.

   5. Экспонирования, перенос изображения с фотошаблона на пластину экспонированием фоторезистивного слоя пластины при фотолитографических процессах изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

   6. Выгрузки подложки в приемную кассету.

3. Необходимо обеспечить безопасность работы с установкой в следующих категориях:

   1. Электробезопасность (необходима защита на блоке питания лампы, блоке управления, блоке экспонирования и контроля совмещения с помощью защитного заземления)

   2. Взрывобезопасность (нужна физическая защита оператора от возможного взрыва лампы)

   3. Опасность термических ожогов (необходимо сделать так, чтобы корпус установки и системы управления не нагревались выше допустимых температур по мерам безопасности; лампу необходимо поместить в специальный охлаждаемой водой корпус, который так же будет защищать от потенциального взрыва)

   4. Опасность облучения жёстким ультрафиолетовым излучением (необходимо создать специальный корпус, о котором говорилось выше, однако в этот раз, с точки зрения попадания лучей опасного излучения на оператора, в том числе и отражённого)

4. Инструктаж:

   1. Для установки необходимо написать инструкцию в трёх вариантах:

      1. Для наладчика (главный доступ с административными правами)

      2. Для инженера-технолога (с правами доступа для отработки процессов)

      3. Для оператор (без доступа ко многим функциям, чтобы человек мог заниматься исключительно своей работой)

   2. Необходимо написать технику безопасности по работе с установкой

   3. Необходимо написать инструкцию по подключению установки со всеми параметрами источников питания, воды и/или пневматики

   4. Необходимо написать инструкцию по первому запуску установки

5. Транспортировка

   1. Установка должна легко транспортироваться в разобранном состоянии

   2. Во время транспортировки все элементы, которые находятся вне корпуса, должны быть спрятаны под специальные заглушки

6. Испытания: перед доставкой установки желательно провести основные испытания и тесты для проверки основных систем