Вартанова Дарья Игоревна МТ11-18 (М)

Техническое задание на создание установки магнетронного напыления

1. Назначение: нанесение многослойных или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоёв, в том числе для формирования наноструктурированных каталитических слоёв (Fe, Ni, Co и других).

2. Разработать установку магнетронного напыления, учитывая все необходимые параметры:

   1. Обеспечить возможность нанесения многослойных структур за один процесс (до трёх материалов)

   2. Максимальный размер пластины – 100 мм

   3. Толщина пластин – до 3 мм

   4. Погрешность равномерности нанесения не более 5%

   5. Предельное давление до 10^-5 Па

   6. Рабочее давление – не выше 1 Па

   7. Обеспечить вращение подложки или магнетронов

   8. Обеспечить подачу реактивного газа, а также газа для химических реакций

   9. Обеспечить наличие устройства для очистки пластин непосредственно перед процессом

   10. Установка должна обладать шлюзовым механизмом для ускорения процессов

3. Автоматизация

   1. Установка должна иметь три режима:

      1. Ручной для наладчиков

      2. Полуавтоматический для отработки процессов

      3. Автоматический для производства

   2. Установка должна обладать автоматической диагностикой неполадок и аварийным отключением

   3. Необходимо обеспечить автоматическую защиту всех систем, которые подвергаются опасности (например, турбомолекулярный насос)

4. Безопасность:

   1. Установка должна соответствовать всем современным требованиям безопасности

   2. Уровень шума должен соответствовать ГОСТу

   3. Все возможные излучения должны быть экранированы, чтобы уровень защиты оператора от них соответствовал нормам

5. Инструкции:

   1. Для установки необходимо написать подробную инструкцию по эксплуатации операторами

   2. Необходим инструктаж по наладке

   3. Требуются указания для работы технолога при постановке процессов

6. Транспортировка:

   1. Установка должна проходить в здание через специальные ворота размером 2540х2100

   2. Во время транспортировки все элементы, которые находятся вне корпуса, должны быть спрятаны под специальные заглушки

7. Установка:

   1. Для установки необходимо написать все необходимые требования не раньше, чем за 3 недели до поставки оборудования

   2. Необходимы специалисты, которые правильно установят оборудование

8. Испытания:

   1. Перед доставкой установки желательно провести основные испытания и тесты для проверки основных систем

   2. После установки оборудования также необходимо провести все необходимые тесты для проверки работоспособности

2